為了獲得高性能的MEMS磁傳感器，首先要根據(jù)器件的應(yīng)用對(duì)象對(duì)器件進(jìn)行設(shè)計(jì)，由此確定器件的結(jié)構(gòu)、使用的材料、應(yīng)用的工作原理和感應(yīng)技術(shù)等。MEMS設(shè)計(jì)人員可以根據(jù)模擬和建模工具選擇制造傳感器的最佳工藝
2018-04-11 09:40:11
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進(jìn)行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過程是基本一致的，膜沉積的測(cè)量范圍從幾納米到一微米。
2022-10-11 09:12:591193 的核心器件——MEMS壓力傳感器，其市場(chǎng)應(yīng)用規(guī)模極大。但在MEMS壓力傳感器實(shí)際設(shè)計(jì)及制造過程中，能夠同時(shí)滿足最優(yōu)狀態(tài)的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)和工藝較難達(dá)到。因此，研究如何設(shè)計(jì)及制造高靈敏度和線性度的MEMS壓力傳感器具有重要意義。
2022-12-14 09:52:531579 MEMS傳感器在各類電子產(chǎn)品上快速普及，我們身邊的智能手機(jī)、平板電腦等幾乎所有電子設(shè)備無不包含，然而大部分人對(duì)MEMS技術(shù)還是比較陌生的。 MEMS技術(shù)的應(yīng)用主要有傳感器和執(zhí)行器兩部分，本文
2023-08-21 17:23:164251 
MEMS傳感器是當(dāng)今最炙手可熱的傳感器制造技術(shù)，也是傳感器小型化、智能化的重要推動(dòng)了，MEMS技術(shù)促進(jìn)了傳感器的極大發(fā)展。
2023-11-05 10:13:46633 
MEMS工藝的器件。RF SOI是現(xiàn)在服役的制造工藝?；赗F SOI工藝的器件可以滿足當(dāng)下的要求，但它們開始遇到一些技術(shù)問題。除此之外，市場(chǎng)還存在價(jià)格壓力，隨著器件從200mm遷移到300mm晶圓，也會(huì)
2017-07-13 08:50:15
層，該多晶硅層被圖案化為可移動(dòng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)，并通過犧牲性蝕刻下面的氧化物層來釋放。叉指式梳狀電極用于產(chǎn)生平面內(nèi)力并以電容方式檢測(cè)平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)。這種MEMS范例使制造低成本的加速度計(jì)成為可能適用于例如汽車
2021-01-05 10:33:12
從可穿戴設(shè)備到家庭助理，越來越多的設(shè)備利用麥克風(fēng)準(zhǔn)確捕捉幾乎任何聲音。麥克風(fēng)構(gòu)造中最常用的兩種技術(shù)是微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）麥克風(fēng)和駐極體電容式麥克風(fēng)（ECM），其中任何一種都有許多用例。本文將回
2019-02-23 14:05:47
的成本會(huì)非常高，甚至可能有危險(xiǎn)，因?yàn)榧夹g(shù)人員需要在高空作業(yè)。另外，如果該渦輪機(jī)接入到本地市政電網(wǎng)，計(jì)劃之外的停機(jī)可能引起能源生產(chǎn)損失，甚至電力服務(wù)中斷。一種新的工業(yè)檢測(cè)技術(shù)正在幫助制造商們優(yōu)化設(shè)備，它
2018-10-17 10:34:00
的成本會(huì)非常高，甚至可能有危險(xiǎn)，因?yàn)榧夹g(shù)人員需要在高空作業(yè)。另外，如果該渦輪機(jī)接入到本地市政電網(wǎng)，計(jì)劃之外的停機(jī)可能引起能源生產(chǎn)損失，甚至電力服務(wù)中斷。一種新的工業(yè)檢測(cè)技術(shù)正在幫助制造商們優(yōu)化設(shè)備，它
2018-10-18 11:35:34
的成本會(huì)非常高，甚至可能有危險(xiǎn)，因?yàn)榧夹g(shù)人員需要在高空作業(yè)。另外，如果該渦輪機(jī)接入到本地市政電網(wǎng)，計(jì)劃之外的停機(jī)可能引起能源生產(chǎn)損失，甚至電力服務(wù)中斷。一種新的工業(yè)檢測(cè)技術(shù)正在幫助制造商們優(yōu)化設(shè)備，它
2018-10-24 10:42:46
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，以半導(dǎo)體制造技術(shù)為
2016-12-09 17:46:21
關(guān)于MEMS傳感器的基礎(chǔ)知識(shí)，你了解多少？本文將從MEMS傳感器的概念、制造及工藝、MEMS傳感器與傳統(tǒng)傳感器的區(qū)別、MEMS傳感器的分類幾大部分詳解，幫助初識(shí)MEMS傳感器的讀者快速了解這一
2018-11-12 10:51:35
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對(duì)微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測(cè)量和控制的技術(shù)，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
受到相同的刺激，MEMS傳感器被粘附到PZT傳感器的外殼上。MEMS加速度計(jì)的單電源模擬輸出直接輸入到與PZT傳感器相同的數(shù)據(jù)記錄器的模擬輸入通道。數(shù)據(jù)采集??儀器（DAQ）被用作這些實(shí)驗(yàn)的采集系統(tǒng)
2018-10-29 17:11:46
運(yùn)算能力的應(yīng)用日益廣泛，可以運(yùn)行高級(jí)融合和傳感器誤差建模算法。新的精密慣性導(dǎo)航系統(tǒng)(INS)市場(chǎng)正在形成氣候，MEMS技術(shù)也在進(jìn)入以往被FOG技術(shù)主導(dǎo)的市場(chǎng)。從FOG到MEMS技術(shù)的一個(gè)明顯轉(zhuǎn)變
2018-10-18 10:55:34
設(shè)計(jì)工具匱乏，當(dāng)應(yīng)力或其他影響因素沒有被合理評(píng)估時(shí)，就使得設(shè)計(jì)失敗。新型開發(fā)工具當(dāng)前，用于封裝設(shè)計(jì)的新技術(shù)已經(jīng)接近了MEMS器件制造的水平。硅通孔（TSV）蝕刻技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)100多μm的晶圓蝕刻深度
2010-12-29 15:44:12
MEMS技術(shù)制造開關(guān)的四個(gè)主要步驟。開關(guān)建構(gòu)在一個(gè)高電阻率硅晶圓(1)上，晶圓上面沉積一層很厚的電介質(zhì)，以便提供與下方襯底的優(yōu)良電氣隔離。利用標(biāo)準(zhǔn)后端CMOS互連工藝實(shí)現(xiàn)到MEMS開關(guān)的互連。低電阻率
2018-10-17 10:52:05
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注，特別是MEMS開關(guān)構(gòu)建的移相器與天線，是實(shí)現(xiàn)上萬單元相控陣?yán)走_(dá)的關(guān)鍵技術(shù)，在軍事上有重要意義。在通信領(lǐng)域上亦憑借超低
2019-07-08 08:02:54
電系統(tǒng)（MEMS），在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術(shù)，或在日本被稱為微機(jī)械，是一類器件，其特點(diǎn)是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征長(zhǎng)度從1毫米到1微米——1微米可是要比人們頭發(fā)的直徑小很多?！ ?b class="flag-6" style="color: red">MEMS
2018-11-07 11:00:01
顯示應(yīng)用。使用MEMS技術(shù)的創(chuàng)新型顯示應(yīng)用MEMS中針對(duì)投影使用的技術(shù)進(jìn)步正在為全新應(yīng)用鋪路。從筆記本電腦到智能手機(jī)，再到平板電腦、個(gè)人計(jì)算設(shè)備等等，現(xiàn)在都配備有MEMS顯示技術(shù)。除了常見的個(gè)人計(jì)算任務(wù)
2018-09-06 14:58:52
哪位大佬可以詳細(xì)介紹下MEMS技術(shù)到底是什么
2020-11-25 07:23:59
要特性的能力高低直接相關(guān)。要評(píng)估特定MEMS加速度計(jì)在這方面的能力，首先必須從慣性運(yùn)動(dòng)角度對(duì)振動(dòng)有一個(gè)基本了解。圖1是振動(dòng)情況的物理示意圖，灰色部分表示中點(diǎn)，藍(lán)色部分表示一個(gè)方向的峰值位移，紅色部分表示
2017-08-16 09:06:31
微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設(shè)計(jì)和構(gòu)造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應(yīng)用，涉及各種細(xì)分市場(chǎng)。在眾多細(xì)分市場(chǎng)中，價(jià)格降低、準(zhǔn)確度要求提高和快速面市需求將對(duì)設(shè)計(jì)和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28
作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢(shì)。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對(duì)MEMS加速度計(jì)感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會(huì)有小型化的趨勢(shì)。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效，另一方面，日益發(fā)展的IC制造技術(shù)可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。MEMS
2019-06-24 06:27:01
進(jìn)行設(shè)計(jì)，由此確定器件的結(jié)構(gòu)、使用的材料、應(yīng)用的工作原理和感應(yīng)技術(shù)等。MEMS設(shè)計(jì)人員可以根據(jù)模擬和建模工具選擇制造傳感器的最佳工藝和材料，并預(yù)測(cè)MEMS磁傳感器的性能。同時(shí)設(shè)計(jì)人員必須考慮器件制作
2018-11-09 10:38:15
還有用于醫(yī)療(如藥品傳送)的微型泵和微型閥等，這些MEMS器件特別細(xì)小，甚至可以植入人體。目前MEMS并不都僅僅處于實(shí)驗(yàn)室階段，有的已進(jìn)入實(shí)用場(chǎng)合，例如已有制造廠商完成了MEMS光學(xué)系統(tǒng)的商品化，該系
2014-08-19 15:50:19
MEMS麥克風(fēng)制造的推薦焊接參數(shù)（即焊膏厚度）是多少？以上來自于谷歌翻譯以下為原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16:47
中國(guó)初創(chuàng)企業(yè)（芯奧微、敏芯），所以樓氏電子的市場(chǎng)份額將繼續(xù)下滑。MEMS麥克風(fēng)廠商們都在研發(fā)創(chuàng)新的技術(shù)和制造解決方案，并及時(shí)申請(qǐng)專利來保護(hù)自己的發(fā)明。蘋果iPhone6中的MEMS麥克風(fēng)在一項(xiàng)專利侵權(quán)
2015-05-15 15:17:00
的應(yīng)用，為新型麥克風(fēng)技術(shù)的發(fā)展創(chuàng)造了機(jī)會(huì)。新技術(shù)應(yīng)當(dāng)能改善上述缺點(diǎn)，讓制造商生產(chǎn)出更高質(zhì)量、更加可靠的設(shè)備。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是電容麥克風(fēng)變革的中堅(jiān)力量。MEMS麥克風(fēng)利用了過去數(shù)十年來硅技術(shù)
2019-11-05 08:00:00
/Spark大數(shù)據(jù)平臺(tái)之上。內(nèi)容包括 MATLAB 數(shù)據(jù)分析基礎(chǔ) 基于智能算法的嵌入式前端應(yīng)用 基于 MATLAB的預(yù)測(cè)性分析和案例分析 大數(shù)據(jù)應(yīng)用的發(fā)布和部署主題2: 從系統(tǒng)建模、算法設(shè)計(jì)到產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)
2017-09-29 09:32:09
模擬這些進(jìn)程，如何有效且迅速完成實(shí)物和模型之間的模擬，不但是現(xiàn)代工業(yè)面臨的問題，也是所有行業(yè)亟待解決問題?！ 澳M”在工業(yè)中的運(yùn)用 現(xiàn)階段，我們使用的模擬技術(shù)主要是3D建模技術(shù)。因?yàn)樵诂F(xiàn)代工業(yè)制造中
2017-03-17 10:21:34
MEMS的工作原理和建模機(jī)制。典型MEMS傳感器的檢測(cè)部分行為就像是一個(gè)二階集總式質(zhì)量塊（阻尼器）彈簧機(jī)械系統(tǒng)，具有單一的諧振頻率，其傳遞函數(shù)如下： 其中Fin（s）是輸入的力（在使用陀螺儀時(shí)是科里奧利力
2018-12-05 15:12:05
近日，麻省理工學(xué)院微系統(tǒng)技術(shù)實(shí)驗(yàn)室的研究人員開發(fā)出了一種使用桌面型3D打印機(jī)制造高質(zhì)量微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)的方法。用這種方法制造MEMS，其成本僅有市場(chǎng)上現(xiàn)有技術(shù)的百分之一，而且質(zhì)量一點(diǎn)不差
2015-12-24 16:27:44
MEMS工藝的器件。RF SOI是現(xiàn)在服役的制造工藝?；赗F SOI工藝的器件可以滿足當(dāng)下的要求，但它們開始遇到一些技術(shù)問題。除此之外，市場(chǎng)還存在價(jià)格壓力，隨著器件從200mm遷移到300mm晶圓，也會(huì)
2017-07-13 09:14:06
作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢(shì)。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對(duì)MEMS加速度計(jì)感興趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
PCB板從電路設(shè)計(jì)到制造生產(chǎn)，其 可制造性設(shè)計(jì) （Design for Manufacturing，DFM）尤其不容忽略！
一、DFM，為中國(guó)PCB制造生產(chǎn)保駕護(hù)航
在電子制造領(lǐng)域，DFM是一個(gè)至關(guān)重要
2023-12-26 16:00:17
BSIMProPlus?是業(yè)界領(lǐng)先的半導(dǎo)體器件SPICE建模平臺(tái)，在其產(chǎn)品二十多年的歷史中一直為全球SPICE建模市場(chǎng)和技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者，被全球一百多家領(lǐng)先的集成電路制造和設(shè)計(jì)公司作為標(biāo)準(zhǔn)SPICE
2020-07-01 09:36:55
的技術(shù)，但涉及相當(dāng)復(fù)雜的制造過程，其中每個(gè)單獨(dú)的諧振器都被調(diào)諧到所需的頻率，通常是通過用離子束燒蝕金屬電極。 該步驟發(fā)生在封裝晶體之前，并導(dǎo)致諧振器容易受到污染。 這一過程以及其他石英制造的復(fù)雜性導(dǎo)致
2021-11-12 08:00:00
、制造、銷售與服務(wù)于一體的無源光通信器件OEM/ODM廠商，主要生產(chǎn)和銷售光纖連接類產(chǎn)品（光纖連接器、適配器、跳線），WDM波分復(fù)用器，PLC光分路器，MEMS光開關(guān)等核心光無源基礎(chǔ)器件，廣泛應(yīng)用于光纖到戶、4G/5G移動(dòng)通信、互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)中心、國(guó)防通信等領(lǐng)域。`
2020-05-12 17:27:14
盡管MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)在氣囊和汽車壓力傳感器中的應(yīng)用已有大約20年，但促使大眾認(rèn)識(shí)到慣性傳感器作用的是任天堂的 Wii?和Apple? iPhone?手機(jī)。然而，在一定程度上，流行的看法
2019-07-16 06:49:53
元件來最小化寄生電容。因此，MEMS可提供比所有傳統(tǒng)制造的慣性傳感器組合更多的優(yōu)勢(shì)。 First Sensor 傳感器在測(cè)量?jī)A斜度，加速度和振動(dòng)方面的優(yōu)勢(shì)： · 靈活的MEMS設(shè)計(jì)：測(cè)量范圍從1到
2020-07-07 09:36:40
設(shè)計(jì)與優(yōu)化時(shí)需要正確理解MEMS的工作原理和建模機(jī)制。典型MEMS傳感器的檢測(cè)部分行為就像是一個(gè)二階集總式質(zhì)量塊（阻尼器）彈簧機(jī)械系統(tǒng)，具有單一的諧振頻率，其傳遞函數(shù)如下： 其中Fin（s
2018-11-06 16:07:28
隨著半導(dǎo)體工業(yè)的飛速發(fā)展，新型電力電子器件不斷涌現(xiàn)，用戶對(duì)器件建模的需求越來越迫切，對(duì)專用建模工具的開發(fā)提出了新的挑戰(zhàn)。設(shè)計(jì)射頻器件建模工具，我們具體該怎么做呢？
2019-08-20 06:20:17
Bob Scannell，ADI公司MEMS和傳感器技術(shù)部業(yè)務(wù)開發(fā)經(jīng)理運(yùn)動(dòng)是生命中不可或缺的重要組成部分。能夠移動(dòng)的人似乎在一刻不停地運(yùn)動(dòng)著，而不能移動(dòng)的人則可能需要借助某種形式的機(jī)械助力來幫助實(shí)現(xiàn)
2018-11-01 10:49:28
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)感測(cè)器制造技術(shù)邁入新里程碑。意法半導(dǎo)體(ST)宣布成功結(jié)合面型微加工(Surface-micromachining)和體型微加工(Bulk-micromachining)制程
2020-05-05 06:36:14
，從吉他擴(kuò)音器到腕表，從智能手機(jī)到叉車等，其中絕大多數(shù)都使用晶體或晶體振蕩器(XO)。由于電子市場(chǎng)每年要用到無數(shù)的晶體，龐大的規(guī)模經(jīng)濟(jì)促進(jìn)了石英晶體和石英振蕩器的制造精密程度達(dá)到了新高——提供了更小、更
2014-08-20 15:39:07
智能制造（smart manufacture）是當(dāng)下最熱門的話題。 預(yù)示著將是工業(yè)的未來。制造業(yè)如此之復(fù)雜，以至于給人一種瞎子摸象的感覺?；ヂ?lián)網(wǎng)公司更多地是從新的商業(yè)模式來理解智能制造，提出了從
2021-07-19 07:56:15
，從而才可加入編程實(shí)現(xiàn)智能制造或是3D打印，但木雕雕刻的紋理復(fù)雜精細(xì)，傳統(tǒng)三維建模存在兩大制約障礙：1、建模周期長(zhǎng)且人工成本高2、建模師很難對(duì)雕刻極為復(fù)雜的木雕精準(zhǔn)建模。因此，一種簡(jiǎn)單快速高效的三維建模
2017-07-31 11:49:49
嗨，我在模擬在布局中建模和模擬的組件時(shí)出錯(cuò)，并插回到ADS 2011.10的原理圖中。關(guān)于從布局到原理圖彼此不對(duì)應(yīng)的引腳，我收到錯(cuò)誤。我遵循了從ADS文檔插入組件的概述說明，但仍未找到解決方案。以下
2019-01-24 12:55:02
求劉勝編著的 微電子封裝組件的建模和仿真:制造、可靠性與測(cè)試:manufacturing, reliability and testing資源
2017-01-18 17:35:32
MEMS有各種尺寸和功能，從微型化的傳感器芯片，到獨(dú)特的微納米架構(gòu)，可以感知、測(cè)量、傳輸并控制幾乎所有傳感模式。MEMS實(shí)現(xiàn)了具有感知、控制和執(zhí)行能力的增強(qiáng)型微系統(tǒng)，這在十多年前幾乎無法想象。
2020-08-05 07:06:14
電子設(shè)備和通信系統(tǒng)設(shè)備的振蕩器選擇是影響系統(tǒng)性能的主要因素。目前振蕩器有兩種：石英晶體振蕩器是由石英晶體的基本結(jié)構(gòu)構(gòu)成，和一個(gè)簡(jiǎn)單的振蕩器電路。全硅MEMS諧振器，鎖向電路，溫度補(bǔ)償，以及制造校準(zhǔn)
2020-05-30 13:25:53
。這并沒有妨礙狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師在新產(chǎn)品中使用噪音性能優(yōu)良的MEMS。作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢(shì)。撇開性能因素，下面是狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對(duì)MEMS加速度計(jì)感興趣的主要原因。
2019-07-17 06:38:53
SPEA在MEMS半導(dǎo)體測(cè)試分類機(jī)、分選設(shè)備設(shè)計(jì)制造有數(shù)十年的歷史，公司推出的的H3560 - MEMS取放傳送裝置性能凸出，優(yōu)勢(shì)明顯。H3560 具有所有的接觸和界面被測(cè)器件所需
2022-09-23 11:18:36
論述了微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件縮減模型的建立是進(jìn)行MEMS系統(tǒng)級(jí)模擬的關(guān)鍵。論證了基于線性正交振型建立MEMS器件縮減模型是一種有效的方法，導(dǎo)出了MEMS器件動(dòng)態(tài)縮減模型的微分方
2009-05-28 11:19:06
17 UML-OOPN 集成建模方法及其在柔性制造系統(tǒng)的應(yīng)用:針對(duì)柔性制造系統(tǒng)FMS（Flexible manufacturing system）建模特點(diǎn)，提出了UML—OOPN 集成建模方法。該方法是用UML（the Unified Modeling Language）建
2009-10-12 18:24:2722 MEMS規(guī)范概述
許多擁有晶圓廠的半導(dǎo)體制造商尋求通過為無晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產(chǎn)線的產(chǎn)能，但是若
2010-03-11 14:35:31530 MEMS 日益增加的復(fù)雜性需要設(shè)計(jì)流程允許工程師在構(gòu)造實(shí)際硅片之前模擬整個(gè)制造分布、所有環(huán)境和操作條件的整個(gè)多模系統(tǒng)。這使工程師能夠快速、積極
2010-07-01 11:27:12998 
MEMS及其應(yīng)用
MEMS技術(shù)是采用微制造技術(shù)，在一個(gè)公共硅片基礎(chǔ)上整合了傳感器、機(jī)械元件、致動(dòng)器（actuator）與電
2010-07-26 10:13:15471 基于可重用IP(Intellectual Property)的設(shè)計(jì)方法為微機(jī)電系統(tǒng)( MEMS )系統(tǒng)級(jí)建模與仿真技術(shù)提供了新的思路，有望成為未來的主流。它將MEMS分解為梁、質(zhì)量塊、可變電容器等多個(gè)功能結(jié)構(gòu)部件
2011-08-23 16:07:140 MEMS加速度計(jì)的溫度誤差建模及補(bǔ)償_秦麗
2017-01-12 18:09:582 MEMS制造中精確測(cè)量薄膜厚度的方法研究與比較_陳莉
2017-03-19 18:58:182 MEMS器件動(dòng)態(tài)特性的光學(xué)測(cè)量就是一種有效的測(cè)試手段。先進(jìn)的光學(xué)測(cè)量技術(shù)對(duì)MEMS器件在開發(fā)過程中了解其全視野動(dòng)態(tài)響應(yīng)，完成各種不同的物理特性的多種參數(shù)（尺寸、薄膜厚度、臺(tái)階高度、橫截面、粗糙度、壓力、靜摩擦、彈性模量、響應(yīng)時(shí)間、熱膨脹、諧振頻率，等等）的測(cè)量。
2018-07-13 14:40:0015577 公司實(shí)為MEMS 晶圓純代工廠前列，產(chǎn)能及利用率雙雙提升，充分受益行業(yè)景氣。Yole 統(tǒng)計(jì)，2017 年公司名列MEMS 晶圓代工廠第三名。當(dāng)前Silex MEMS 制造產(chǎn)能達(dá)4000
2018-07-25 11:08:002544 MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨(dú)立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨(dú)立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發(fā)展迅速
2018-07-31 09:24:002544 MEMS產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)潛力巨大，而MEMS制造是產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的瓶頸還是將潛力兌現(xiàn)成現(xiàn)實(shí)的關(guān)鍵路徑?據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，漫長(zhǎng)的開發(fā)周期、繁多的制造平臺(tái)、研發(fā)期間的用量少帶來的高報(bào)價(jià)是阻礙新產(chǎn)品快速研發(fā)的主要絆腳石。
2018-05-21 23:27:003239 
IMT公司專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金支持未來之才開展創(chuàng)新研究，推動(dòng)MEMS制造工藝技術(shù)快速發(fā)展。
2019-05-06 14:22:04809 MEMS系統(tǒng)在設(shè)計(jì)、制造與測(cè)試上都有難點(diǎn)，像模擬產(chǎn)品設(shè)計(jì)一樣，市場(chǎng)要求MEMS產(chǎn)品性能出色。
2019-05-31 08:32:093342 深度反應(yīng)離子刻蝕或DRIE是一種相對(duì)較新的制造技術(shù)，已被MEMS社區(qū)廣泛采用。
2020-03-14 11:04:075187 
MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)是一種使產(chǎn)品集成化、微型化、智能化的微型機(jī)電系統(tǒng)。在半導(dǎo)體集成電路技術(shù)之上發(fā)展起來的硅基MEMS制造技術(shù)目前使用十分廣泛。 國(guó)外技術(shù)發(fā)展日趨成熟 上世紀(jì)80年代
2020-04-03 15:27:421773 深度反應(yīng)離子刻蝕或DRIE是一種相對(duì)較新的制造技術(shù)，已被MEMS社區(qū)廣泛采用。這項(xiàng)技術(shù)可以在硅基板上執(zhí)行非常高的縱橫比蝕刻。蝕刻的孔的側(cè)壁幾乎是垂直的，并且蝕刻深度可以是進(jìn)入硅襯底的數(shù)百甚至數(shù)千微米。
2020-04-12 17:24:002592 
敏芯股份稱，MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同，且一種MEMS芯片對(duì)應(yīng)一種制造工藝。芯片研發(fā)公司要想做出性能出色的MEMS芯片，首先要有自主開發(fā)生產(chǎn)工藝的能力。這是MEMS芯片企業(yè)創(chuàng)業(yè)艱難的核心所在，也是公司推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈全國(guó)產(chǎn)化的原因。
2020-05-30 11:08:1413787 MEMS器件利用半導(dǎo)體加工技術(shù)來制造三維機(jī)械結(jié)構(gòu)，三種最常用的MEMS制造技術(shù)包括體微加工（Bulk Micro Machining）、表面微加工（Surface Micro Machining）和LIGA。
2020-07-29 17:42:586928 MEMS器件和集成電路（IC）芯片是通過類似的過程制造的。兩者都始于基礎(chǔ)襯底晶圓（通常是硅或玻璃），然后通過后續(xù)步驟進(jìn)行構(gòu)建和雕刻。
2020-08-11 16:24:151603 
敏芯股份是全球領(lǐng)先的MEMS微傳感器制造商。經(jīng)過長(zhǎng)達(dá)十幾年的研發(fā)，我們擁有基于自主研發(fā)、自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS / ASIC芯片的MEMS硅麥克風(fēng)、壓力傳感器以及加速度傳感器產(chǎn)品線。同時(shí)，公司擁有基于中國(guó)大陸完整的本土化產(chǎn)業(yè)鏈。
2020-09-03 10:27:493069 蚌埠發(fā)布消息顯示，蚌埠與214所共同建設(shè)的8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設(shè)項(xiàng)目建設(shè)周期為2年、總投資10億元，建設(shè)目標(biāo)是打造國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的8英寸MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)，建成后將擁有年產(chǎn)5萬片的MEMS晶圓制造能力和每年4億顆MEMS芯片封測(cè)能力。
2020-12-04 14:27:553359 蚌埠市與中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)214所共同建設(shè)的8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設(shè)項(xiàng)目建設(shè)周期為2年，總投資10億元，建設(shè)目標(biāo)是打造國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的8英寸MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)，建成后將擁有年產(chǎn)5萬片的MEMS晶圓制造能力和每年4億顆MEMS芯片封測(cè)能力。
2020-12-23 16:05:472430 MEMS是一種制造技術(shù)，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動(dòng)機(jī)甚至蒸汽機(jī)都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來越被普通人熟知，而與芯片采用相同工藝的MEMS技術(shù)顯得有些神秘。什么是MEMS？ MEMS
2021-02-20 11:05:316656 MEMS工藝——半導(dǎo)體制造技術(shù)說明。
2021-04-08 09:30:41237 贊助商廣告展示 原文標(biāo)題：MEMS芯片制造工藝流程詳解 文章出處：【微信公眾號(hào)：今日半導(dǎo)體】歡迎添加關(guān)注！文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。 ? ? ? 審核編輯：彭靜
2022-07-11 16:20:185860 MEMS技術(shù)日益成熟，并已在在各類電子產(chǎn)品上快速普及，從產(chǎn)值來看，有數(shù)據(jù)顯示目前MEMS傳感器約占整體傳感器市場(chǎng)一半以上產(chǎn)值。MEMS傳感器如此重要，然而大部分人，包括技術(shù)人員對(duì)MEMS技術(shù)還是比較
2022-10-25 10:14:19976 隨著微加工技術(shù)的發(fā)展，基于MEMS微橋結(jié)構(gòu)技術(shù)制造的微測(cè)輻射熱計(jì)器件，具備與半導(dǎo)體讀出電路單芯片集成并實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的能力，逐漸成為非制冷紅外探測(cè)器的主流制造技術(shù)。
2023-02-21 17:10:221213 提出了一種利用飛秒激光誘導(dǎo)化學(xué)蝕刻（FLICE）制造壓電致動(dòng)的石英晶體MEMS諧振器的方法。
2023-04-20 09:10:46878 在電子醫(yī)療器械領(lǐng)域，MEMS傳感器正被用于不同功能的醫(yī)療設(shè)備。雖然MEMS技術(shù)仍存在瑕疵，如制造成本較高，精度不夠……但是這些問題都會(huì)隨著制造及MEMS測(cè)試技術(shù)的進(jìn)步而改善?？梢灶A(yù)見，MEMS將有
2022-09-09 15:51:17580 
MEMS 器件通常使用兩個(gè)芯片制造：一個(gè)來自 CMOS 晶圓，另一個(gè)來自 MEMS 晶圓。這種兩芯片制造工藝給制造商帶來了一些挑戰(zhàn)。為 MEMS 和 CMOS 生產(chǎn)單獨(dú)的晶圓成本高昂，會(huì)延長(zhǎng)上市時(shí)間，而且只能生產(chǎn)小批量（特別是在硅短缺的情況下）。
2023-08-15 16:14:40550 
本文整理自公眾號(hào)芯生活SEMI Businessweek中關(guān)于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容，全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況，推薦！ ? 作為現(xiàn)代傳感器重要的制造技術(shù)，MEMS
2023-10-20 16:10:351408 
MEMS傳感器是當(dāng)今最炙手可熱的傳感器制造技術(shù)，也是傳感器小型化、智能化的重要推動(dòng)了，MEMS技術(shù)促進(jìn)了傳感器的極大發(fā)展。 MEMS主要采用微電子技術(shù)，在微納米的體積下塑造傳感器的機(jī)械結(jié)構(gòu)。本文
2023-11-02 08:37:09777 
和封裝成本。本文討論不同的半導(dǎo)體 MEMS 制造方法及其進(jìn)展。 半導(dǎo)體 MEMS 的重要性 MEMS 主要是傳感器系統(tǒng)，可以控制或感測(cè)化學(xué)、光學(xué)或物理量，例如流體、加速度或輻射。MEMS 設(shè)備/傳感器擁有與外界的電氣接口，通常通過 IC 實(shí)現(xiàn)，IC 提供必要的智能，使設(shè)備能
2023-11-24 09:19:31287 膜厚測(cè)試在MEMS制造工藝中至關(guān)重要，它不僅關(guān)乎工藝質(zhì)量，更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質(zhì)，精確測(cè)量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
2024-01-08 09:40:54262 
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