MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)（MicroelectroMechanicalSystems）在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)40多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。隨著物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代的逐步到來(lái)，傳感器現(xiàn)正被廣泛應(yīng)用于包括各類智能終端、智能汽車、生物醫(yī)療等在內(nèi)的眾多新興領(lǐng)域，需求量與日俱增。近幾年，我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展綜合增長(zhǎng)率達(dá)到了30%以上，充分體現(xiàn)了其強(qiáng)勁的發(fā)展勢(shì)頭。

　　物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)中的關(guān)鍵技術(shù)之一便是傳感器技術(shù)，MEMS傳感器已經(jīng)廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)中的各個(gè)領(lǐng)域。過(guò)去幾年中，MEMS傳感器的銷售額一直保持著穩(wěn)步的增長(zhǎng)。2017年，全球MEMS傳感器和執(zhí)行器總體市場(chǎng)規(guī)模為115億美元，其中MEMS傳感器為61億美元，增長(zhǎng)17.3%，預(yù)計(jì)2018年，全球MEMS傳感器銷售額將增長(zhǎng)10%以上，達(dá)到68億美元。目前，全球MEMS市場(chǎng)規(guī)模已經(jīng)逼近150億美元。

　　美國(guó)是MEMS產(chǎn)業(yè)、技術(shù)和產(chǎn)品的發(fā)源地，其發(fā)展水平世界領(lǐng)先。上世紀(jì)60年代，斯坦福等大學(xué)就從事MEMS領(lǐng)域的研究開發(fā)，佐治亞理工學(xué)院和美國(guó)加利福尼亞大學(xué)洛杉磯分校等眾多美國(guó)大學(xué)幾乎都建立有自己的MEMS晶圓生產(chǎn)線。現(xiàn)在，越來(lái)越多的MEMS傳感器被應(yīng)用到手機(jī)中來(lái)提高手機(jī)用戶體驗(yàn)。高端手機(jī)普遍裝配有加速度傳感器、壓力傳感器、陀螺儀、硅麥克風(fēng)、指紋傳感器、距離傳感器，環(huán)境光傳感器、磁傳感器等數(shù)種MEMS產(chǎn)品。在可穿戴產(chǎn)品中，MEMS器件的應(yīng)用也越來(lái)越廣泛，如測(cè)量運(yùn)動(dòng)記錄步數(shù)的加速度傳感器、進(jìn)行心率監(jiān)控的心率監(jiān)控傳感器、測(cè)量血氧值的血氧傳感器、感知海拔高度變化的氣壓傳感器等等?？梢哉f(shuō)，慣性傳感器已經(jīng)成為了智能手機(jī)、平板電腦和可穿戴設(shè)備的標(biāo)配，并且其他各種類型的MEMS傳感器在消費(fèi)電子領(lǐng)域的應(yīng)用也正逐步普及。

　　目前，美國(guó)主要的MEMS傳感器公司有德州儀器（TI）、模擬器件（ADI）、飛思卡爾、樓氏電子（Knowles）、SiTime、惠普、IMT、SiliconMicrostructures（SMI）、GEInfrastructureSensing等。大部分半導(dǎo)體制造公司同時(shí)具有MEMS生產(chǎn)加工的業(yè)務(wù)。根據(jù)數(shù)據(jù)2017年全球MEMS傳感器銷售規(guī)模為61億美元，其中美國(guó)占比23.8%，即為14.5億美元。隨著人們生活應(yīng)用的不斷豐富，傳感器感測(cè)多個(gè)物理信號(hào)的功能需求也變的越來(lái)越多，多種傳感集成的MEMS器件也應(yīng)運(yùn)而生。如今，慣性傳感器已經(jīng)出現(xiàn)了三軸、六軸、九軸甚至十軸的集成模塊，將MEMS加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等MEMS器件集成在一起，以滿足生產(chǎn)廠商更小體積、更低成本的要求，同時(shí)給予了用戶更加豐富的用戶體驗(yàn)。

　　2016年，法國(guó)知名市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)YoleDéveloppement提出了未來(lái)三大傳感器集成方向：密閉封裝集成傳感器、開放腔體集成傳感器和光學(xué)窗口集成傳感器。這三大集成方向無(wú)論從生產(chǎn)端還是用戶端，都在逐漸滿足越來(lái)越多新出現(xiàn)的需求，由此可見，多傳感集成已經(jīng)成為未來(lái)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一種必然趨勢(shì)。

　　在運(yùn)動(dòng)員的日常訓(xùn)練中，MEMS傳感器可以用來(lái)進(jìn)行3D人體運(yùn)動(dòng)測(cè)量，對(duì)每一個(gè)動(dòng)作進(jìn)行記錄，教練們對(duì)結(jié)果分析，反復(fù)比較，以便提高運(yùn)動(dòng)員的成績(jī)。隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，MEMS傳感器的價(jià)格也會(huì)隨著降低，這在大眾健身房中也可以廣泛應(yīng)用?！　≡诨┓矫?，3D運(yùn)動(dòng)追蹤中的壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力，除了可提供滑雪板的移動(dòng)數(shù)據(jù)外，還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此，安裝在沖浪板上的3D運(yùn)動(dòng)追蹤，可以記錄海浪高度、速度、沖浪時(shí)間、漿板距離、水溫以及消耗的熱量等信息。

　　由于我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)起步較晚，我國(guó)的MEMS傳感器產(chǎn)品多處于技術(shù)相對(duì)成熟、市場(chǎng)格局相對(duì)穩(wěn)定的傳統(tǒng)MEMS應(yīng)用領(lǐng)域，而新興領(lǐng)域的MEMS產(chǎn)品在測(cè)量精度、溫度特性、響應(yīng)時(shí)間、穩(wěn)定性、可靠性等方面與國(guó)外差距較大，尚未形成具有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力、較為完善的產(chǎn)品系列，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)略顯單薄。

　　CW-76S工地?fù)P塵傳感器（粉塵檢測(cè)儀）是賽納威環(huán)境科技自主研發(fā)的集空氣動(dòng)力學(xué)、數(shù)字信號(hào)處理、光電一體化的高科技產(chǎn)品，主要應(yīng)用于檢測(cè)大氣中的粉塵質(zhì)量濃度（PM值），適用于建筑工地、城市網(wǎng)格化監(jiān)測(cè)、移動(dòng)監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域和場(chǎng)合，是大氣質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)的核心模塊。