MEMS器件目前主要應用于汽車和消費電子，未來在醫(yī)療、工業(yè)、航空航天市場也將逐漸普及。那么MEMS是什么？有什么特點？MEMS設計與制造面臨哪些困難？本文將會一一解答。
2016-11-01 10:46:17
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硅基MEMS加工技術主要包括體硅MEMS加工技術和表面MEMS加工技術。體硅MEMS加工技術的主要特點是對硅
2018-04-12 08:40:449594 
隨著便攜消費電子的走熱，MEMS器件得到了爆發(fā)式的增長。短短兩年時間MEMS器件成為消費電子領域炙手可熱的器件，近幾年都會保持高速增長趨勢。現(xiàn)在讓我們一起來了解下MEMS各器件的走勢吧。
2013-01-23 14:43:052334 
MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展十分迅速，但是人們常常忽視對其的早期測試。乍一看來，MEMS器件和傳統(tǒng)IC器件的制造十分相似，但是，由于MEMS器件具有額外的機械部分（大多是可活動的）和封裝，這些部分的成本通常占其總成本的大部分，因此MEMS器件的特性比傳統(tǒng)IC器件要復雜得多，而且各不相同。
2016-11-05 07:25:471377 為了獲得高性能的MEMS磁傳感器，首先要根據(jù)器件的應用對象對器件進行設計，由此確定器件的結構、使用的材料、應用的工作原理和感應技術等。MEMS設計人員可以根據(jù)模擬和建模工具選擇制造傳感器的最佳工藝
2018-04-11 09:40:118059 
據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS與傳感器研究報告，由于價格相對較高，以及在汽車、醫(yī)療與工業(yè)等領域的應用范圍不斷擴大，壓力傳感器到2014年將成為銷售額最高的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件。
2011-10-21 09:06:24947 
鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝，所以人們很自然會考慮用IC設計工具來創(chuàng)建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 11:44:16858 廣。 ? MEMS 重要類別——IMU ? 慣性測量單元一直是MEMS市場里重要的產(chǎn)品類型，主要包括加速度計、陀螺儀和磁力計。如今，由分立的慣性測量單元組合成的三軸、六軸、九軸IMU，將加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等MEMS器件集成在一起，以滿足生產(chǎn)
2023-08-01 00:08:001007 MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34:57
據(jù)麥姆斯咨詢介紹，物聯(lián)網(wǎng)（IoT）可以利用MEMS的幾個核心功能和優(yōu)勢，MEMS器件可以有效地滿足許多物聯(lián)網(wǎng)應用的要求：
2020-12-23 07:09:36
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:51 編輯
MEMS器件的封裝形式是把基于MEMS的系統(tǒng)方案推向市場的關鍵因素。研究發(fā)現(xiàn)，當今基于MEMS的典型產(chǎn)品中，封裝成本幾乎占去
2010-12-29 15:44:12
ＭＥＭＳ技術涉及到慣性器件如加速度計與陀螺、ＡＦＭ（原子力顯微鏡）、數(shù)據(jù)存儲、三維微型結構的制作、微型閥門、泵和微型噴口、流量器件、微型光學器件、各種執(zhí)行器、微型機電器件性能模擬、各種制造工藝、封裝鍵合、醫(yī)用器件、實驗表征器件、壓力傳感器、麥克風以及聲學器件等領域。并在軍事、民用范圍內(nèi)廣泛應用。
2019-06-20 06:03:09
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，以半導體制造技術為
2016-12-09 17:46:21
重要器件。傳感器發(fā)展到今天，小型化、智能化、集成化，已經(jīng)是升級換代的必由之路。今天，我們來為大家介紹一下傳感器家族的mini型產(chǎn)品——--MEMS傳感器。什么是MEMS傳感器？MEMS的全稱是微型電子機械
2018-11-12 10:51:35
傳感器曾經(jīng)被局限在汽車市場和工業(yè)應用領域；今天，隨著MEMS傳感器越來越小，價格越來越低，能效越來越高，設計和應用空間不斷擴大，它在消費類應用市場的普及率正在不斷提高?！ ≈圃爝@些器件所采用的微加工
2018-10-31 16:56:44
MEMS傳感器，也就是我們常說的智能傳感器，是應用最廣泛的MEMS器件。它一般是把信號處理電路和敏感單元集成制作在一個芯片上，這樣能夠感知被測參數(shù)，并且還能對所得到的信號進行分析、處理和識別、判斷
2013-10-11 16:21:38
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術建立在微米/納米基礎上，是對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發(fā)展而發(fā)展起來的，目前MEMS加工技術還被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學等領域，從而進行生物化學等實驗室技術流程的芯片集成化
2018-09-07 15:24:09
mg或1.7%。圖2. PZT加速度計（上）和MEMS加速度計（下）的噪聲密度譜；在高達10 kHz時，結果幾乎相同；主要差別在MEMS加速度計的低頻響應。不同于PZT器件，MEMS器件具有低頻
2018-10-23 14:29:49
1. MEMS IMU配置(ADIS16485)可用帶寬及其與跨軸相位匹配能力的關系對于多軸設計也至關重要。有些陀螺儀結構帶寬有限，與總降噪有關，而有些結構帶寬有限(通常低于100 Hz)是由于反饋電子器件
2018-10-18 10:55:34
Eric Carty、Padraig Fitzgerald和Padraig McDaidADI公司簡介過去30年來，MEMS開關一直被標榜為性能有限的機電繼電器的出色替代器件，因為它易于使用，尺寸
2018-10-17 10:52:05
性能、更多功能(技術推動)與更具創(chuàng)新力的設計方法(設計推動的創(chuàng)新) ，使最終的MEMS器件更適合消費電子市場的需求[1]。
2019-11-05 06:19:06
MEMS器件目前主要應用于汽車和消費電子，未來在醫(yī)療、工業(yè)、航空航天市場也將逐漸普及。那么MEMS是什么？有什么特點？MEMS設計與制造面臨哪些困難？本文將會一一解答。 MEMS是什么？ 微機
2018-11-07 11:00:01
DMD電輸入-光輸出器件，使得開發(fā)人員能夠執(zhí)行高速、高效和可靠空間光調制，來生成一個投射圖像。MEMS技術所取得的進步基于MEMS的DMD的不斷創(chuàng)新正在為開發(fā)人員提供更多機會，將基于投影的顯示技術包含
2018-09-06 14:58:52
微機電系統(tǒng)（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）是指集微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。其尺寸
2018-10-15 10:47:43
微機電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設計和構造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應用，涉及各種細分市場。在眾多細分市場中，價格降低、準確度要求提高和快速面市需求將對設計和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來應對這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28
據(jù)麥姆斯咨詢報道，氣壓傳感器是一類非常有用的MEMS器件。它們在物聯(lián)網(wǎng)（IoT）中有非常廣泛的應用，從氣象監(jiān)測到室內(nèi)資產(chǎn)跟蹤。
2020-08-07 07:11:41
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
的主要設計、制作，傳感技術及器件性質進行綜述，并對其未來發(fā)展進行展望?！ ?、MEMS磁傳感器設計及制作 1.1 MEMS磁傳感器設計 為了獲得高性能的MEMS磁傳感器，首先要根據(jù)器件的應用對象對器件
2018-11-09 10:38:15
`作為一種新型封裝器件，微機電系統(tǒng)(MEMS)將成為21世紀電子領域的重要技術之一，但是對于如何在PCB上裝配MEMS，中國工程師仍知之甚少。要想在這一新興技術領域占有一席之地，除了開發(fā)設計外
2014-08-19 15:50:19
的巨大進步，包括超小型制造結構、出色的穩(wěn)定性和可重復性、低功耗，所有這些都已成為硅工業(yè)不折不扣的要求。迄今為止，MEMS麥克風的功耗和噪聲水平還是相當高，不宜用于助聽器，但滿足這兩項關鍵要求的新器件
2019-11-05 08:00:00
模塊的線性度影響，而且C/V和A/D的動態(tài)范圍要求可能會更加嚴格。相反，將MEMS傳感器放在負反饋閉環(huán)中使用有許多好處，例如改進的帶寬、對MEMS器件的工藝和溫度變化具有較低的敏感性。另外，由于C/V
2018-12-05 15:12:05
我在原型中使用LPS331。除了可以選擇輸出數(shù)據(jù)速率之外，數(shù)據(jù)表不提供任何時序信息。 SPI的時序值是什么，例如最大時鐘頻率等。我搜索ST站點，找不到任何其他有用的信息。對于I2C，它表示它符合快速
2018-11-16 10:44:20
早在1979年，微電子機械開關就被用于轉換低頻電信號。從那時開始，開關設計就采用懸臂、旋轉和隔膜的布局來實現(xiàn)RF和微波頻率下的良好性能。RF MEMS表現(xiàn)出低損耗、低功耗和沒有互調失真。對于有微秒開關速度就足夠的應用來說，這些器件用于取代傳統(tǒng)FET或p-i-n二極管開關極有吸引力。
2019-10-21 07:38:31
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關注，特別是MEMS開關構建的移相器與天線，是實現(xiàn)上萬單元相控陣雷達的關鍵技術，在軍事上有重要意義。在通信領域上亦憑借超低
2019-07-29 08:31:54
ST是否為其MEMS器件提供特性數(shù)據(jù)？ #mems #characterization以上來自于谷歌翻譯以下為原文 Does ST provide characterization data for its MEMS devices? #mems #characterization
2018-11-09 09:46:51
作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因
2018-10-11 10:31:14
兩個橫隔（傳感器橫隔上部、傳感器下部）之間的間距變化，導致隔板之間的電容變化，據(jù)此可以測算出壓力大小。（2）MEMS加速度傳感器MEMS加速度傳感器，顧名思義，是一種能夠測量加速度的MEMS器件。加速度
2021-04-09 07:00:00
兩個橫隔（傳感器橫隔上部、傳感器下部）之間的間距變化，導致隔板之間的電容變化，據(jù)此可以測算出壓力大小。（2）MEMS加速度傳感器MEMS加速度傳感器，顧名思義，是一種能夠測量加速度的MEMS器件。加速度
2021-05-25 07:00:00
什么是RF MEMS？有哪些關鍵技術與器件？微電子機械系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem)，簡稱MEMS，是以微電子技術為基礎而興起發(fā)展的，以硅、砷化鎵、藍寶石等為襯底
2019-08-01 06:17:43
等，同時在機械結構上制備了電極，以便通過電子技術進行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一個可轉動的MEMS馬達于1988年誕生于加州大學伯克利分校，如圖1所示；之后于1989年，美國桑迪亞國家實驗室
2020-05-12 17:27:14
基于MEMS的TI TI DLP? Pico? 投影顯示技術的核心是一組高反射性鋁制微鏡，被稱為數(shù)字微鏡器件 (DMD)。一個DMD可以包含數(shù)百萬個單獨控制的微鏡，每個微鏡位于相關的補償金屬氧化物
2022-11-18 06:41:21
PZT加速度計（上）和MEMS加速度計（下）的噪聲密度譜；在高達10 kHz時，結果幾乎相同；主要差別在MEMS加速度計的低頻響應。不同于PZT器件，MEMS器件具有低頻響應性能（可測量0.1 Hz
2018-11-01 11:01:00
易譜科技有限公司代理 Radant MEMS 公司在中國區(qū)的產(chǎn)品銷售與技術支持服務。Radant 是一家專業(yè)設計、生產(chǎn)射頻/微波開關的廠商，目前產(chǎn)品已在美國以及亞洲市場有了廣泛的應用，與無線通信
2014-10-24 11:36:26
，壓力傳感器、加速度計、陀螺儀與流量傳感器四類器件合計占汽車MEMS系統(tǒng)的99%。MEMS壓力傳感器MEMS壓力傳感器是汽車中應用最多的傳感器， 至少18個汽車應用領域促進壓力傳感器的增長，包括：輪胎壓力，電子
2016-12-07 15:42:36
。這并沒有妨礙狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師在新產(chǎn)品中使用噪音性能優(yōu)良的MEMS。作為一項基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導體制造設施技術，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素，下面是狀態(tài)監(jiān)控領域的任何人都應對MEMS加速度計感興趣的主要原因。
2019-07-17 06:38:53
是否可以使用Agilent 4284a LCR儀表檢查MEMS器件的動態(tài)性能？如果是的話，請轉到我的應用說明。謝謝。 以上來自于谷歌翻譯 以下為原文Is it possible to check
2019-07-12 10:33:33
本帖最后由 gk320830 于 2015-3-7 11:21 編輯
釋放MEMS機械結構的干法刻蝕技術濕法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統(tǒng)工藝，總部位于蘇格蘭的Point 35
2013-11-04 11:51:00
微機電系統(tǒng)(MEMS)運動IC在走向更高的集成度、更小的芯片尺寸、更低的成本以及更高的性能和可靠性。這些趨勢在最新的加速度計、陀螺儀和慣性測量單元(IMU)上得到了體現(xiàn)，使得MEMS器件得以滿足多種下一代電子產(chǎn)品，特別是消費電子產(chǎn)品的需求。
2019-10-29 07:52:04
隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應用的大規(guī)模落地，微機電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應的MEMS封裝也開始備受關注。
2020-05-12 10:23:29
論述了微機電系統(tǒng)(MEMS)器件縮減模型的建立是進行MEMS系統(tǒng)級模擬的關鍵。論證了基于線性正交振型建立MEMS器件縮減模型是一種有效的方法，導出了MEMS器件動態(tài)縮減模型的微分方
2009-05-28 11:19:06
17 微電子機械系統(tǒng)（MEMS）技術在通信領域中有著廣泛的應用前景，本文介紹了在無線通信和光通信中的MEMS 器件如MEMS 電感、電容、開關、濾波器、光檢測器等MEMS 器件的原理、結構
2009-11-16 16:41:3715 RF-MEMS 不僅在體積上小于傳統(tǒng)射頻器件，易于單片集成，且其性能也優(yōu)于傳統(tǒng)射頻器件，此外，RF-MEMS 還可以實現(xiàn)器件多功能配置，如可重構天線。因此，RF-MEMS近年來已成為全世
2009-11-26 15:59:3921 隨著MEMS 系統(tǒng)級設計成為研究的熱點，MEMS 系統(tǒng)級CAD 的開發(fā)日益重要。論文介紹了一種基于降階宏模型MEMS 系統(tǒng)級仿真平臺，通過有限元方法提取MEMS 器件幾何物理數(shù)據(jù)，建立MEMS 器件
2009-12-19 14:05:2914 MEMS規(guī)范概述
許多擁有晶圓廠的半導體制造商尋求通過為無晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產(chǎn)線的產(chǎn)能，但是若
2010-03-11 14:35:31530 MEMS器件的封裝形式是把基于MEMS的系統(tǒng)方案推向市場的關鍵因素。研究發(fā)現(xiàn)，當今基于MEMS的典型產(chǎn)品中，封裝成本幾
2010-11-29 09:23:131596 mems（微機電系統(tǒng)）傳感器;有三項MEMS技術產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
2012-12-11 14:31:37931 近年來，隨著消費電子領域的快速發(fā)展，MEMS器件正式進入了人們的視線。面對當前的MEMS器件熱，電子發(fā)燒友網(wǎng)在這里先為大家整理了ADI近年來發(fā)布的MEMS器件新品來供大家認識與了解。
2012-12-12 14:25:012394 
石英振蕩器與硅基MEMS技術（硅晶圓級封裝技術）結合的時鐘器件，該方案利用硅基MEMS技術真空封裝石英振蕩器。
2013-02-25 14:52:361239 
MEMS技術在THz無源器件中的應用
2017-02-07 18:05:378 近年來，MEMS 慣性器件取得了飛速發(fā)展，基于 MEMS 慣性器件的慣導系統(tǒng)也逐漸成熟，應用范圍越來越廣，特別是在航天和軍事上具有巨大的發(fā)展?jié)摿?。本文闡述了 MEMS 慣性器件特點、發(fā)展過程及在航天
2017-10-19 14:50:0616 MEMS器件動態(tài)特性的光學測量就是一種有效的測試手段。先進的光學測量技術對MEMS器件在開發(fā)過程中了解其全視野動態(tài)響應，完成各種不同的物理特性的多種參數(shù)（尺寸、薄膜厚度、臺階高度、橫截面、粗糙度、壓力、靜摩擦、彈性模量、響應時間、熱膨脹、諧振頻率，等等）的測量。
2018-07-13 14:40:0015577 MEMS是一種結合微電子和微機械的半導體技術，在計算機和智能手機中可以找到，包括傳感器、執(zhí)行器和微齒輪等機械微結構。MEMS現(xiàn)在幾乎無處不在，從智能手機到汽車安全氣囊、生物傳感器件以及光學器件等，MEMS可以借助典型計算機芯片中的半導體技術完成制造。
2018-03-12 15:29:001623 MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發(fā)展迅速
2018-07-31 09:24:002544 MEMS器件，尤其是MEMS傳感器已成為智能手機中的標準配置。同時，智能手機應用軟件日益龐大的生態(tài)系統(tǒng)很大程度上要歸功于MEMS傳感器。蘋果iPhone和Research in Motion
2018-04-28 15:24:001543 
即便您要重新設計傳動電機的MEMS傳感器，目標也是讓工作盡可能輕松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS庫，您可以從大量MEMS器件不同的基本單元中進行選擇，然后迅速裝配出您的MEMS版圖。
2018-05-09 14:48:114669 
MEMS器件的封裝形式是把基于MEMS的系統(tǒng)方案推向市場的關鍵因素。研究發(fā)現(xiàn)，當今基于MEMS的典型產(chǎn)品中，封裝成本幾乎占去了所有物料和組裝成本的20%～40%。由于生產(chǎn)因素的影響，使得封裝之后的測試成本比器件級的測試成本更高，這就使MEMS產(chǎn)品的封裝選擇和設計更加重要。
2018-06-12 14:33:005752 
可能大部分對MEMS還是比較陌生，但其實MEMS在生活中早已無處不在了，智能手機、手環(huán)、汽車、無人機、VR/AR頭戴式設備等，都應用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40:2421882 創(chuàng)建基于傳感器的物聯(lián)網(wǎng)（IoT）邊緣器件會涉及多個設計領域，因此極具挑戰(zhàn)性（圖1）。但是，在同一硅片上創(chuàng)建一個既有采用傳統(tǒng)CMOS IC流程制作的電子器件，又有MEMS傳感器的邊緣器件似乎不大現(xiàn)實
2018-08-02 18:55:164557 據(jù)麥姆斯咨詢報道，加拿大魁北克Universite de Sherbrooke（舍布魯克大學）的研究人員已經(jīng)成功地在MEMS（微機電系統(tǒng)）器件中設計了一種AI（人工智能）技術，這標志著MEMS器件
2018-11-18 10:30:00992 據(jù)麥姆斯咨詢報道，MEMS器件領先供應商Sensera將其MEMS技術應用到了生物工程領域的新應用。該公司的MEMS技術被Harvard University（美國哈佛大學）用于“打造”微流控器件，以模仿人體器官的功能，包括肺、腸、腎、皮膚、骨髓和血腦屏障。
2019-01-23 14:41:08997 MEMS器件以硅為主要材料。硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當。密度類似于鋁，熱傳導率接近銅和鎢，因此MEMS器件機械電氣性能優(yōu)良。它集中了當今科學技術發(fā)展的許多尖端成果。通過微型化、集成化可以探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng)，將開辟一個新技術領域。
2019-02-12 15:12:1512525 MEMS器件的行為模式通常與尺寸較大的器件類似，但有一些明顯的差異。能夠將大量MEMS器件裝進智能手機等尺寸稍大的設備中，絕對是一個很關鍵的差異化優(yōu)勢。一系列傳感器和其他MEMS器件都可以集成到僅有口袋大小的智能手機中。
2019-05-17 09:35:37865 MEMS生物傳感器目前處于發(fā)展初期。MEMS生物傳感器是利用生物分子探測生物反應信息的器件。
2019-07-25 14:19:253567 
隨著光通信網(wǎng)絡的快速發(fā)展，傳統(tǒng)以電為核心的通信器件已經(jīng)不能滿足高速大容量的光通信需求，MEMS光開關由于其體積小，易集成，容量大等特點，已成為全光通信網(wǎng)中的重要器件之一。 MEMS光開關是基于微機
2020-03-24 15:36:567880 自從蘋果手機使用了MEMS器件以來，市場上掀起了一股MEMS熱，同時也激活了我們的全硅設計的MEMS振蕩器。MEMS振蕩器因其可以實現(xiàn)更小的體積，和較低的功耗，成本上跟石英晶振基本相當，所以有很多有這些相關要求的產(chǎn)品開始選用MEMS產(chǎn)品來替代石英晶振。
2020-04-20 16:58:042653 隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應用的大規(guī)模落地，微機電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應的MEMS封裝也開始備受關注。
2020-05-11 17:27:55988 
那MEMS傳感器又是什么？MEMS傳感器就是把一顆MEMS芯片和一顆專用集成電路芯片（ASIC芯片）封裝在一塊后形成的器件。左圖是一張典型的MEMS麥克風內(nèi)部構造的放大圖，圖內(nèi)右邊的芯片是MEMS芯片，左邊的芯片是ASIC芯片。右圖是封裝后的MEMS麥克風。
2020-06-12 09:42:2275919 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術使用半導體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機械和機電元件。MEMS設備可以從沒有運動元件的相對簡單的結構到具有多個運動元件的復雜的機電系統(tǒng)。
2020-07-22 18:06:094553 
實際上，許多IoT邊緣器件會在單個封裝中集成多個芯片，將電子器件與MEMS設計分開。Tanner AMS IC設計流程支持單芯片或多芯片技術，因而有助于成功實現(xiàn)IoT邊緣器件的設計和驗證。
2020-12-26 00:45:04269 美泰電子科技有限公司 美泰電子科技有限公司是中國MEMS行業(yè)協(xié)會理事長單位。專門致力于MEMS（微電子機械系統(tǒng)）器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。是國內(nèi)最大的MEMS高端核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應商
2021-05-13 13:50:202230 測試MEMS器件需要不同的方法，因為有些MEMS芯片包含可動作的機械器件，測試時需要搖動器件來測試移動范圍與結構的一致性，但是這種測試各自有相應的問題，例如成本。 “用大型ATE設備測試成本敏感
2021-07-19 17:36:522253 許多MEMS器件需要保護，以免受到外部環(huán)境的影響，或者只能在受控氣氛或真空下運行。當今MEMS器件與CMOS芯片的高度集成，還需要專門用于MEMS器件的先進晶圓級封裝解決方案。
2022-07-15 12:36:013396 
MEMS器件具有重量輕、體積小、成本低、功耗小等優(yōu)點，非常有利于MEMS器件在電信和消費電子等行業(yè)中的應用。近年來，MEMS技術在汽車行業(yè)尤其是包括安全氣囊系統(tǒng)在內(nèi)的車輛安全系統(tǒng)中越來越受到青睞。
2022-09-07 09:16:181536 微機電系統(tǒng)（MEMS）器件，例如MEMS加速度計，廣泛應用于汽車電子、消費電子和生物醫(yī)療等行業(yè)。利用半導體制造技術可有效地大批量生產(chǎn)MEMS器件，但對于具有成本效益的專用MEMS器件的中小
2022-10-19 17:30:121148 隨著微加工技術的發(fā)展，基于MEMS微橋結構技術制造的微測輻射熱計器件，具備與半導體讀出電路單芯片集成并實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的能力，逐漸成為非制冷紅外探測器的主流制造技術。
2023-02-21 17:10:221213 隨著微電子技術的飛速發(fā)展，微電子機械系統(tǒng)（MEMS）逐漸成為眾多領域的研究熱點。MEMS器件在諸如傳感器、執(zhí)行器等方面表現(xiàn)出卓越的性能，但要實現(xiàn)這些優(yōu)越特性，對其封裝結構和制造工藝要求極高。本文將詳細介紹MEMS器件真空封裝結構及其制造工藝。
2023-04-21 14:18:181042 
最新消息！知芯傳感，作為國產(chǎn)MEMS器件領域的踐行者，于2023年8月18日發(fā)布了令人振奮的搬遷公告。這一重要舉措意味著知芯傳感邁向了新的征程，進一步鞏固其在國內(nèi)MEMS市場踐行者的地位。
2023-08-25 17:20:52416 
傳輸?shù)阮I域得到了廣泛應用。 MEMS交換的原理是利用微機電系統(tǒng)中的微結構來實現(xiàn)光路的開關。該系統(tǒng)由一個微型光學器件和一個驅動電路組成。光學器件包括多個微型反射鏡或折射器，它們能夠通過機械運動來改變光路的傳輸方向。驅動電路則負責控制
2024-02-02 14:41:31119
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