在半導(dǎo)體制造業(yè)中，薄膜的厚度對(duì)器件的性能和質(zhì)量有重要影響。薄膜的厚度決定了許多重要的物理和化學(xué)性質(zhì)，對(duì)其折射、反射和透射的光學(xué)性質(zhì)有直接影響，可以導(dǎo)致顯著的量子尺寸效應(yīng)，從而改變材料的電子、光學(xué)和磁性等。

準(zhǔn)確測(cè)量和控制薄膜厚度對(duì)于優(yōu)化器件性能、提高生產(chǎn)效率、確保器件可靠性等都具有重要的作用。

? 四探針?lè)?四探針?lè)ǎ‵our-point probe method），又可以被稱作四點(diǎn)共線探針?lè)?，是一種用于測(cè)量薄膜方塊電阻率的技術(shù)。四點(diǎn)共線探針技術(shù)是將四個(gè)等距的探針與未知電阻的材料接觸。安裝在探頭中的探針被輕輕地放置在晶圓的中心，兩個(gè)外部探針用于提供電流。兩個(gè)內(nèi)部探針用于測(cè)量樣品表面產(chǎn)生的電壓降。

? 得到薄膜的方塊電阻率后，通過(guò)公式反推，就可以得到薄膜厚度t,?????

????

ρ = 體積電阻率 (Ω-cm) V = 測(cè)量的電壓（V） I = 測(cè)量的電流(I) t = 樣品厚度 (cm) k = 校正因子 作用：測(cè)量不透明導(dǎo)電膜的厚度 橢偏儀 橢偏儀（Ellipsometry）是一種非接觸、非破壞性的光學(xué)測(cè)量技術(shù)，它通過(guò)測(cè)量偏振光在被測(cè)物體表面反射后偏振狀態(tài)的變化，從而推斷出待測(cè)物質(zhì)的性質(zhì)。

? 橢圓偏振儀通常由三部分組成：

光源：提供單色的線性偏振光。激光或者單色燈可用作光源。

分析器：在光線經(jīng)過(guò)樣品反射后，分析器用于測(cè)量反射光的偏振狀態(tài)。通常是一個(gè)偏振片或者一種能夠測(cè)量光的偏振狀態(tài)的裝置。

探測(cè)器：記錄從分析器傳來(lái)的光強(qiáng)度信息。

當(dāng)線性偏振光照射到被測(cè)物體表面時(shí)，由于物體表面的光學(xué)性質(zhì)（如折射指數(shù)和消光系數(shù)），反射光的偏振狀態(tài)會(huì)從線性偏振變?yōu)闄E圓偏振。

通過(guò)測(cè)量并比較反射光和入射光的光強(qiáng)度，通過(guò)對(duì)測(cè)量結(jié)果的解析，可以推斷出薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)。

作用：測(cè)量透明薄膜與50nm以下的金屬薄膜 X射線熒光光譜法

? X射線熒光光譜法（XRF）是一種用于元素分析的無(wú)損檢測(cè)技術(shù)，它能測(cè)量從硼（元素周期表上的第5個(gè)元素）到鈾（第92個(gè)元素）的幾乎所有元素。

XRF 分析儀通過(guò)測(cè)量樣品被初級(jí) X 射線源激發(fā)時(shí)發(fā)出的熒光X 射線來(lái)確定樣品的化學(xué)成分。

樣品中存在的每種元素都會(huì)產(chǎn)生一組對(duì)該特定元素來(lái)說(shuō)是唯一的特征熒光 X 射線，通過(guò)比對(duì) XRF 光譜，可以用于材料成分定性和定量分析。

? 作用：可識(shí)別合金、檢測(cè)雜質(zhì)元素，分析貴金屬并確定膜層重量和膜層厚度。?





審核編輯：劉清