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為什么說(shuō),光刻機(jī)是整個(gè)芯片產(chǎn)業(yè)的命門呢?

Q4MP_gh_c472c21 ? 來(lái)源:得到、歐洲科技圈 ? 2020-09-20 10:41 ? 次閱讀

最近這段時(shí)間,媒體上就有一種說(shuō)法,說(shuō)歐洲早已經(jīng)不是全球創(chuàng)新的領(lǐng)袖了。之前有個(gè)數(shù)據(jù),說(shuō)在全球涉及到數(shù)字化的公司里,排名前15的,沒有一個(gè)是歐洲公司。

關(guān)于這背后的原因,有很多說(shuō)法,有說(shuō)因?yàn)闅W洲缺少風(fēng)險(xiǎn)投資基金的,有說(shuō)因?yàn)闅W洲市場(chǎng)分裂、規(guī)矩太多的??傊闆r就是歐洲沒有能讓科技公司長(zhǎng)大的沃土。但是,歐洲的科技行業(yè),難道真的就毫無(wú)可圈可點(diǎn)之處么?其實(shí)也不是。就拿現(xiàn)在最受關(guān)注的芯片行業(yè)來(lái)說(shuō)吧。你知道,芯片相當(dāng)于全球科技的基礎(chǔ)設(shè)施,牽一發(fā)而動(dòng)全身。

而對(duì)芯片行業(yè)本身來(lái)說(shuō),有一個(gè)制約它發(fā)展的重要環(huán)節(jié),相當(dāng)于“命門”就是一種叫做“***”的生產(chǎn)設(shè)備。

全球的***市場(chǎng),幾乎都被一家歐洲公司壟斷了,叫做阿斯麥,總部在荷蘭。我在微信公眾號(hào)遠(yuǎn)川科技評(píng)論上看到一篇文章,叫做《***大敗局》。這篇文章講的是,當(dāng)初不起眼的阿斯麥,是怎么挑落***行業(yè)原本的霸主,一步步走上產(chǎn)業(yè)巔峰的。

在今天這里分享一下這背后的故事。

阿斯麥這家公司有多牛呢?

在去年全球的***市場(chǎng)中,阿斯麥占據(jù)了74%的市場(chǎng)份額,是不折不扣的巨無(wú)霸。他們生產(chǎn)的***,有“印鈔機(jī)許可證”之稱,一臺(tái)就1.2億美元。那為什么說(shuō),***是整個(gè)芯片產(chǎn)業(yè)的命門呢?因?yàn)樵谛酒a(chǎn)的過(guò)程中,***相當(dāng)于雕刻刀,在硅片上雕刻出設(shè)計(jì)好的電路圖。

現(xiàn)在世界上最先進(jìn)的***,叫做EUV***,只有阿斯麥才能做得出來(lái)。也難怪阿斯麥的董事長(zhǎng)曾經(jīng)撂下過(guò)一句狠話:如果我們交不出EUV,摩爾定律就會(huì)從此停止。

不過(guò),阿斯麥可不是從創(chuàng)業(yè)之初,一路贏到現(xiàn)在。在上個(gè)世紀(jì)80年代,阿斯麥只是飛利浦旗下的一家小合資公司,全司上下算上老板只有31位員工,所有人在飛利浦總部旁邊臨時(shí)搭起的板房?jī)?nèi)辦公,十分窘迫。

當(dāng)時(shí)***市場(chǎng)如日中天的霸主,是日本的尼康公司。英特爾、IBM、AMD德州儀器這些大公司,每天都等著尼康的新產(chǎn)品發(fā)布。這和今天的三星、臺(tái)積電為了阿斯麥的***搶破頭,是一個(gè)陣仗。

但為什么在短短30年的時(shí)間里,阿斯麥就能反超尼康,將過(guò)去的老大挑落下馬呢?

我來(lái)和你說(shuō)一下這個(gè)過(guò)程。阿斯麥贏下的第一手棋,其實(shí)是有運(yùn)氣的成分,那就是他們?cè)诩夹g(shù)迭代這件事上,押對(duì)了寶。摩爾定律你肯定很熟悉,說(shuō)的是在一個(gè)集成電路上,能排列下的元器件數(shù)量,差不多每?jī)赡昃鸵槐丁?/p>

芯片的體積會(huì)越來(lái)越小,但是功能卻會(huì)越來(lái)越強(qiáng)大。這條定律,對(duì)于***生產(chǎn)商有很大影響。它就像是一條鞭子,讓他們必須時(shí)刻加快腳步,跑在摩爾定律前面,提前交付出合格的硬件設(shè)備。畢竟沒人會(huì)用舊的工具,生產(chǎn)新的產(chǎn)品。

剛好,阿斯麥進(jìn)軍***的時(shí)候,這個(gè)領(lǐng)域的門檻還不是很高。這也是為什么這個(gè)30人的小公司,也可以干起***。但是,因?yàn)槟柖刹粩嗌В@讓***制造的難度越來(lái)越高。在上個(gè)世紀(jì)90年代,***產(chǎn)業(yè)迎來(lái)了自己的一個(gè)難關(guān)。

***的光源波長(zhǎng)被卡死在了193nm。光源是什么概念呢?前面我們說(shuō),***是一把雕刻刀,光源就相當(dāng)于是刀尖兒。需要雕刻的芯片越精細(xì),刀尖兒也得磨得越細(xì)。而波長(zhǎng)越短,就相當(dāng)于,刀尖兒越鋒利。

所以,誰(shuí)能把光源波長(zhǎng)變短,誰(shuí)就能在摩爾定律生效的下一個(gè)周期吃盡紅利。為了突破這個(gè)難關(guān),各大公司都有自己的策略。比如尼康等公司決定走穩(wěn)健路線,也就是在之前技術(shù)的基礎(chǔ)上,采用157nm的F2激光,一步步來(lái)。阿斯麥作為***領(lǐng)域的小玩家,并沒有選擇跟著大公司走。

他們選擇賭一把。賭什么呢?

當(dāng)時(shí)的臺(tái)積電,有一位叫做林本堅(jiān)的工程師。這位工程師提出了一個(gè)特別開腦洞的想法,說(shuō)在***的透鏡和硅片之間,加上一層水,就可以通過(guò)光的折射原理,讓原有的激光波長(zhǎng),從193nm,縮短到132nm。這個(gè)方法被稱為“沉浸式光刻”。

這個(gè)點(diǎn)子聽起來(lái)挺好,但當(dāng)時(shí)的大公司可并不買賬。主要原因有兩個(gè),一個(gè)是大家覺得芯片生產(chǎn)是個(gè)精細(xì)活,加入水這個(gè)變量,容易污染設(shè)備,太冒險(xiǎn)。另一個(gè)是在這些廠商眼中, “沉浸式光刻”只是一個(gè)權(quán)宜之計(jì),不是正道,就算他們靠著“沉浸式光刻”領(lǐng)先一時(shí),在未來(lái)也會(huì)被別的對(duì)手反超。

不過(guò)年輕的阿斯麥沒有這方面的顧慮,它選擇押注“沉浸式光刻”。

在和林本堅(jiān)的合作中,只用了一年的時(shí)間,阿斯麥在2004年就造出了第一臺(tái)樣機(jī),然后拿下了IBM、臺(tái)積電這樣大客戶的訂單。

尼康在這場(chǎng)比賽中落伍了,在半年之后,他們按照自己的研發(fā)思路,研發(fā)出了157nm的***,但是被阿斯麥打了個(gè)先手,再加上它的***在精度上,還落后于阿斯麥,這也讓尼康的市場(chǎng)份額,第一次被反超。

但是問題來(lái)了,你想,尼康畢竟在***領(lǐng)域耕耘多年,無(wú)論是財(cái)力還是技術(shù)底蘊(yùn),肯定都領(lǐng)先于阿斯麥。為什么它在被反超之后,就一直落后,沒有把領(lǐng)導(dǎo)權(quán)奪回來(lái)呢?這就要說(shuō)到阿斯麥贏下的第二手棋,也就是它成功成為美國(guó)的“政治盟友”。

和你介紹一下,上世紀(jì)90年代,為了突破193nm這個(gè)天塹,英特爾等一系列公司,主張采用EUV,也就是極紫外光刻方案。EUV到現(xiàn)在都是世界上頂尖的技術(shù),那在20多年前,肯定英特爾也沒法一人搞定,于是在1997年,它攢起了一個(gè)叫EUV LLC的聯(lián)盟。

這個(gè)聯(lián)盟的成員,那真是芯片行業(yè)的全明星陣容。這個(gè)聯(lián)盟不僅有摩托羅拉、AMD、IBM等等公司,還有美國(guó)能源部下屬的三大國(guó)家實(shí)驗(yàn)室。這些實(shí)驗(yàn)室就很厲害了,遠(yuǎn)川科技研究的文章寫道,它們之前的研究成果,覆蓋物理、化學(xué)、半導(dǎo)體、超級(jí)計(jì)算機(jī)等等各種前沿的領(lǐng)域。

但別看這個(gè)聯(lián)盟陣容強(qiáng)大,有一件事很尷尬,那就是他們的理論成果,沒法落地。

因?yàn)榇饲?,在和尼康的?jìng)爭(zhēng)中,美國(guó)的***企業(yè)被打得落花流水,不堪大用。對(duì)于組建聯(lián)盟的英特爾來(lái)說(shuō),要想讓理論產(chǎn)出實(shí)際成果,只能選擇國(guó)外的幫手,可選擇的幫手只有兩家,一個(gè)是尼康,一個(gè)是阿斯麥。在這兩家企業(yè)之中,美國(guó)選擇了阿斯麥。原因是,尼康是日本公司,美國(guó)擔(dān)心,如果日本獲得新技術(shù),會(huì)反過(guò)來(lái)扼住美國(guó)的咽喉。

相比之下,阿斯麥?zhǔn)莻€(gè)更容易被“調(diào)教”好的合作對(duì)象。加入EUV聯(lián)盟,給阿斯麥帶來(lái)了很多好處,比如在2009年的時(shí)候,美國(guó)一家叫做Cymer的公司,研發(fā)出了EUV技術(shù)所需要的光源,這家公司就順勢(shì)成為了阿斯麥的供應(yīng)商。

在四年之后,Cymer公司更是被阿斯麥用25億美元的價(jià)格并購(gòu)。

你要知道,Cymer公司所擁有的頂尖技術(shù),在全球范圍內(nèi)也不超過(guò)三家。所以有人評(píng)價(jià),在這起并購(gòu)案中,美國(guó)其實(shí)是幫助阿斯麥公司走了個(gè)后門。

反過(guò)來(lái),我們?cè)倏幢籈UV聯(lián)盟拋棄的尼康呢?可以說(shuō),阿斯麥和尼康之間迅速拉開了差距。咱們就看一個(gè)細(xì)節(jié)。有一個(gè)工業(yè)名詞,我想和你分享,叫做稼動(dòng)率。你可以把它簡(jiǎn)單理解為,一家公司制造出來(lái)的設(shè)備,有多大概率能發(fā)揮出它的最高產(chǎn)能。

本來(lái),尼康和阿斯麥的***,理論上來(lái)說(shuō),每小時(shí)能加工的芯片數(shù)量其實(shí)差不多,彼此拉不開差距。但是在稼動(dòng)率,也就是實(shí)際表現(xiàn)上,這兩家公司差別可大了。

阿斯麥的***,稼動(dòng)率可以維持在95%左右,十分靠譜。而尼康的***雖然價(jià)格便宜,但是稼動(dòng)率只有50%,這對(duì)于芯片制造商來(lái)說(shuō),自然是個(gè)不可接受的數(shù)字。也正是因?yàn)樵谫|(zhì)量上被遠(yuǎn)遠(yuǎn)地超越,尼康***慢慢地退出了高端***市場(chǎng)。

而在2015年,阿斯麥發(fā)布了第一臺(tái)可以量產(chǎn)的EUV樣機(jī),這讓阿斯麥在***領(lǐng)域,徹底奠定了自己的壟斷地位,宣告了對(duì)尼康的勝利。

那設(shè)計(jì)一臺(tái)***,究竟有多難?

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原文標(biāo)題:ASML如何成為光刻機(jī)霸主,設(shè)計(jì)一臺(tái)光刻機(jī)到底有多難?

文章出處:【微信號(hào):gh_c472c2199c88,微信公眾號(hào):嵌入式微處理器】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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