芯片制程已經(jīng)推進(jìn)到了7nm以下,這其中最關(guān)鍵的核心設(shè)備就要數(shù)EUV光刻機(jī)了,目前全世界只有荷蘭ASML(阿斯麥)可以制造。
來自Digitimes的報道稱,臺積電打算在2021年底前購置55臺EUV光刻機(jī),以加快EUV相關(guān)工藝制程的發(fā)展。
實際上,當(dāng)前全球一半投入使用的EUV光刻機(jī)都在臺積電手中,而截止今年二季度結(jié)束,ASML累計出貨了大概71臺光刻機(jī),也就是臺積電安裝(注意,從獲取零件到校準(zhǔn)機(jī)器使用還需要小半年時間)了30臺左右,還有25臺的缺口。
ASML今年下半年計劃出貨22臺光刻機(jī),明年全年最多50臺,換言之,臺積電打算搶下這其中超過1/3的供貨。
更關(guān)鍵的是,一臺EUV光刻機(jī)的價格大概是1.2億美元(約合8億元人民幣),也就是在2020年底前,臺積電買EUV機(jī)器就要花超過440億元人民幣,大約相當(dāng)于臺積電當(dāng)前兩個月的總收入了。
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