AMSL公布最先進(jìn)光刻機(jī)的最新進(jìn)程 生產(chǎn)率已提高18%
10月14日，荷蘭ASML（阿斯麥）公布了光刻機(jī)產(chǎn)品的最新進(jìn)展。
其中TWINSCAN NXE:3600D作為其目前研發(fā)中的最先進(jìn)光刻機(jī)系統(tǒng)，終于敲定最終規(guī)格。
具體來(lái)說(shuō)，30mJ/cm2的曝光速度達(dá)到每小時(shí)曝光160片晶圓，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至1.1nm。
3600D定于2021年中旬出貨交付，客戶還需要一定時(shí)間等待，價(jià)格應(yīng)該不會(huì)低于現(xiàn)款老型號(hào)的1.2億美元。
目前，ASML已經(jīng)投產(chǎn)的最先進(jìn)光刻機(jī)是3400C，但主力出貨型號(hào)是3400B。參數(shù)方面，3400B的套刻精度為2nm、曝光速度20mJ/cm2，每小時(shí)可曝光125片晶圓。
另外，ASML透露，3400B在三季度也完成了軟件升級(jí)。全新的DUV光刻機(jī)TWINSCAN NXT:2050i已經(jīng)在三季度結(jié)束驗(yàn)證，四季度早期開(kāi)始正式出貨。
據(jù)悉，在截止9月30日的單季度，ASML共獲得60臺(tái)光刻機(jī)收入，出貨了10臺(tái)EUV光刻機(jī)。
責(zé)編AJX
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