芯源微發(fā)布期接受機構調研的活動記錄表，芯源微表示，公司前道涂膠顯影機與國際***聯(lián)機的技術問題已經攻克并通過驗證，可以與包括ASML、佳能等國際品牌以及國內的上海微電子（SMEE）的***聯(lián)機應用。

天眼查信息顯示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所創(chuàng)建的國家高新技術企業(yè)，專業(yè)從事半導體生產設備的研發(fā)、生產、銷售與服務，致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。

在談及芯源微前道涂膠顯影機Track與國際***聯(lián)機是否還有技術壁壘時，芯源微稱，公司前道涂膠顯影機與國際***聯(lián)機的技術問題已經攻克并通過驗證，可以與包括ASML、佳能等國際品牌以及國內的上 海微電子（SMEE）的***聯(lián)機應用。

芯源微表示，涂膠顯影機的在Iline、KrF、向ArF等技術升級的過程中，主要技術難點在于涂膠顯影機結構復雜，運行部件多。研發(fā)升級在技術上有很大的跨度，主要體現(xiàn)在顆粒污染物的控制方面，例如烘烤精 度、多腔體的一致性及均勻性、不同光刻膠的涂膠顯影工藝精 細化控制，以及設備整體顆粒污染物控制等。

據(jù)悉，芯源微目前訂單比較飽滿，排產工時較往年有大幅增加。芯源微指出，公司現(xiàn)有的廠區(qū)已經是滿負荷運轉，同時新廠房也在建設當中，按照計劃將于2021年4季度投入使用，屆時對公司產能提升會起到 非常大的作用。

關于進口零部件的采購，芯源微相關人士表示，芯源微目前不存在卡脖子的情況。雖然由于國內國際市場需求旺盛導致了采購周期加長，但是芯源微根據(jù)訂單情況已經提前采取應對措施，進行了充足的備庫，能保證客戶訂單的正常生產、排產及交付。
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