近日,上海市公布了2021年重大建設(shè)項目清單,中芯國際的12英寸芯片SN1項目入選,目前處于在建狀態(tài)。
中芯國際的12英寸芯片SN1項目由中芯國際旗下的中芯南方負責,總投資額90.59億美元,其中生產(chǎn)設(shè)備購置和安裝費就有73.30億美元,規(guī)劃月產(chǎn)能3.5萬片晶圓。
這是中國內(nèi)地第一條FinFET工藝生產(chǎn)線,也是中芯國際14nm及以下先進工藝研發(fā)和量產(chǎn)的主要承載平臺,未來覆蓋工藝節(jié)點可直達7nm。
中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松此前曾披露,中芯國際的28nm、14nm、12nm、N+1等技術(shù)均已進入規(guī)模量產(chǎn),7nm技術(shù)開發(fā)已經(jīng)完成,今年4月可以進入風險量產(chǎn),5nm、3nm最關(guān)鍵也是最艱巨的8大項技術(shù)也已經(jīng)有序展開,只等EUV極紫外光刻機到來,就可以進入全面開發(fā)階段。
去年7月,中芯國際正式登陸科創(chuàng)板,發(fā)行總股本為71.3642億股,上市募集資金中40%用于12英寸芯片SN1項目,20%作為先進及成熟工藝研發(fā)項目的儲備資金,40%作為補充流動資金。
中芯國際12英寸芯片SN1、SN2廠房建設(shè)項目位于上海浦東新區(qū)張江高科技園區(qū),目前的主要建設(shè)內(nèi)容包括SN1生產(chǎn)廠房、CU8動力車間、SO8生產(chǎn)調(diào)度及研發(fā)樓三個大的單體建筑物,以及一些配套設(shè)施。
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