中芯國際繼3月1日獲得美國成熟工藝設(shè)備供應(yīng)許可后，再次迎來好消息：中芯國際與ASML修訂了總額為12億美元（約合人民幣77.6億元）的光刻機(jī)批量采購協(xié)議。

12億美元，中芯國際訂購光刻機(jī)

3月3日晚間，中芯國際公告披露，公司于2月1日與阿斯麥（ASML）上海簽訂了經(jīng)修訂和重述的阿斯麥批量采購協(xié)議，將采購協(xié)議的期限延長一年至2021年12月31日。根據(jù)批量采購協(xié)議，公司已就購買用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥產(chǎn)品（即光刻機(jī)）與阿斯麥集團(tuán)簽訂購買單，訂單金額12億美元。

來源：中芯國際公告 中芯國際表示，本公司為中國內(nèi)地最先進(jìn)及最大的集成電路制造商。為應(yīng)對(duì)客戶的需要，本公司繼續(xù)擴(kuò)大其產(chǎn)能、把握市場商機(jī)及增長。批量采購協(xié)議及阿斯麥購買單乃于本公司正常業(yè)務(wù)過程中就購置用于生產(chǎn)晶圓（為本公司主要業(yè)務(wù)）的相關(guān)機(jī)器作出。由于阿斯麥批量采購協(xié)議的期限已到期，本公司簽訂經(jīng)修訂和重述的阿斯麥批量采購協(xié)議。 合約的另一方阿斯麥（ASML）即荷蘭阿斯麥，是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一，主要業(yè)務(wù)為光刻機(jī)的研發(fā)和生產(chǎn)，在全球處于絕對(duì)領(lǐng)先地位。具體來看，ASML在45nm以下制程的高端光刻機(jī)市場中占有85%的份額；在EUV（極紫外）光刻機(jī)領(lǐng)域則處于絕對(duì)壟斷地位，市場占有率100%。

業(yè)內(nèi)關(guān)注：是否包含EUV光刻機(jī)？

光刻機(jī)在芯片生產(chǎn)中極為關(guān)鍵。其中極紫外光刻機(jī)（EUV）僅有ASML能夠生產(chǎn)，這種設(shè)備主要用于生產(chǎn)7納米及更先進(jìn)制程的芯片。 中芯國際的芯片工藝目前已發(fā)展至14nm，若想將芯片工藝進(jìn)一步提升至7nm乃至3nm等先進(jìn)制程，EUV光刻機(jī)設(shè)備就必不可少。那么，中芯國際此次12億美元的采購協(xié)議都有哪些類型的光刻機(jī)，包含EUV光刻機(jī)嗎？ ASML的EUV光刻機(jī)當(dāng)前主力出貨型號(hào)是3400B，價(jià)格約1.2億美元，其最新款的3600D定于2021年出貨交付。 中芯國際本次公告并未就光刻機(jī)具體型號(hào)進(jìn)行披露，但本次修訂的訂單或并不包括EUV光刻機(jī)。在2020年年底，中芯國際被美國列入實(shí)體清單時(shí)，美國商務(wù)部就特別明確，將原則上拒絕向其出口EUV等支持先進(jìn)制程開發(fā)的技術(shù)。美國在2021年3月1日最新宣布的中芯國際設(shè)備的供應(yīng)許可并不包括EUV光刻機(jī)。 且有業(yè)內(nèi)資深人士透露，除了EUV光刻機(jī)，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號(hào)的光刻機(jī)，包括DUV（深紫外）光刻機(jī)。 此前，ASML的CFO在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪中表示：如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對(duì)AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國客戶（包括中芯國際）提供DUV光刻系統(tǒng)，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。 在DUV光刻機(jī)方面，ASML的最新一代產(chǎn)品型號(hào)是NXT 2050i。公開資料顯示，ASML于2020年第三季度對(duì)第一臺(tái)TWINSCAN NXT 2050i進(jìn)行了質(zhì)量認(rèn)證，并于第四季度初發(fā)貨。由于對(duì)掩模版工作臺(tái)、晶圓工作臺(tái)、投影物鏡和曝光激光器的技術(shù)改進(jìn)，NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制，具有更高的生產(chǎn)率。 公開報(bào)道顯示，ASML的上一代DUV產(chǎn)品NXT2000i光刻機(jī)，光刻精度可以達(dá)到1.9nm，遠(yuǎn)低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。 不過，考慮到EUV光刻機(jī)對(duì)于研發(fā)和生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片的重要性，傳言中芯國際也沒有就此放棄。此前業(yè)界有消息稱，中芯國際在新任副董事長蔣尚義的"牽線下"，已經(jīng)開始對(duì)EUV設(shè)備再次進(jìn)行洽談，但中芯國際并未對(duì)此作出官方回應(yīng)，具體情況如何尚不得知。可以確定的是目前美國芯片禁令雖已有所松綁，但對(duì)象僅針對(duì)成熟制程芯片技術(shù)（14納米及以上），EUV光刻機(jī)的獲取仍是敏感話題。

保持盈利，中芯國際積極擴(kuò)產(chǎn)

眼下正值全球芯片緊缺之際，中芯國際在積極擴(kuò)張產(chǎn)能。此前，中芯國際聯(lián)合CEO趙海軍在業(yè)績會(huì)上表示：“中芯國際會(huì)繼續(xù)滿載運(yùn)行，預(yù)計(jì)一季度營收會(huì)回到10億美元以上，同時(shí)是繼續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，12英寸增加1萬片，8英寸增加不少于4萬5千片，但由于設(shè)備采購的等待時(shí)間越來越長，大部分設(shè)備都是在下半年才能到位，所以對(duì)今年的營收貢獻(xiàn)不大，全年?duì)I收成長預(yù)計(jì)在中到高個(gè)位數(shù)。我們希望公司28納米及以上產(chǎn)能，在未來的幾年能夠穩(wěn)步增長，在擴(kuò)大產(chǎn)能的同時(shí)，保持一定的盈利水平?！?中芯國際預(yù)測，上半年收入目標(biāo)約21億美元；全年毛利率目標(biāo)為10%到20%的中部。趙海軍還說道：“如果沒有這些（外部制裁）影響，今年本應(yīng)可以保持去年一樣的快速成長態(tài)勢。但我們一定會(huì)在危機(jī)中遇新機(jī)，繼續(xù)全力自救，以服務(wù)全球客戶為我們的目標(biāo)?！? 此外，根據(jù)中芯國際最新資本開支計(jì)劃，2021年，公司計(jì)劃資本支出進(jìn)一步下降至43億美元，其中大部分用于成熟工藝的擴(kuò)產(chǎn)，小部分用于先進(jìn)工藝（14納米及以下工藝）、北京新合資項(xiàng)目的土建等。 在此前中芯國際發(fā)布的2020年第四季度和全年財(cái)報(bào)中，中芯國際季內(nèi)收入為9.81億美元，環(huán)比下降9.4%，同比上升16.9%。期內(nèi)歸母利潤為2.57億美元，環(huán)、同比分別增長0.3%、189.7%，達(dá)到歷史新高。公司CFO高永崗當(dāng)時(shí)解釋稱，收入下降主要是因?yàn)橄冗M(jìn)工藝出貨下降以及整體產(chǎn)能利用率下降。 對(duì)比中芯國際在列入美國實(shí)體清單后的困境，現(xiàn)在全球芯片進(jìn)一步緊缺，各晶圓廠幾乎都滿載運(yùn)行，中芯國際喜迎美國14納米及以上（14納米及28等成熟工藝）設(shè)備的供應(yīng)許可后，又重新確定了與ASML的新設(shè)備訂單，中芯國際的運(yùn)營前景在進(jìn)一步明朗。

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