光刻機(jī)干啥用的
光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一。目前有用于生產(chǎn)的光刻機(jī)，有用于LED制造領(lǐng)域的光刻機(jī)，還有用于封裝的光刻機(jī)。光刻機(jī)是采用類似照片沖印的技術(shù)，然后把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。
在加工芯片的過(guò)程中，光刻機(jī)通過(guò)一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過(guò)畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。
光刻機(jī)也是芯片產(chǎn)業(yè)中寶貴且技術(shù)難度最大的機(jī)器，制造一臺(tái)高端的光刻機(jī)達(dá)上億元。
審核編輯：姚遠(yuǎn)
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