近六十年來(lái)，以硅為核心材料的半導(dǎo)體技術(shù)，特別是CMOS集成電路技術(shù)推動(dòng)了人類信息社會(huì)的深刻變革，但也逐漸接近其物理極限和工程極限，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)進(jìn)入后摩爾時(shí)代。半導(dǎo)體性碳納米管具有高遷移率、超薄體等諸多優(yōu)異的電學(xué)特性，因此成為后摩爾時(shí)代新型半導(dǎo)體材料的有力候選?；谔技{米管的碳基電子技術(shù)歷經(jīng)二十余年發(fā)展，在材料制備、器件物理和晶體管制備等基礎(chǔ)性問(wèn)題中也已經(jīng)取得了根本性突破，其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程從原理上看已經(jīng)沒(méi)有不可逾越的障礙。因此，本文將著重介紹碳基電子技術(shù)在后摩爾時(shí)代的本征優(yōu)勢(shì)，綜述碳基電子技術(shù)的基礎(chǔ)性問(wèn)題、進(jìn)展和下一步的優(yōu)化方向，及其在數(shù)字集成電路、射頻電子、傳感器、三維集成和特種芯片等領(lǐng)域的應(yīng)用前景。最后，本文還將分析碳基電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中的綜合性挑戰(zhàn)，并對(duì)其未來(lái)發(fā)展做出預(yù)測(cè)和展望。

1引言：碳基電子技術(shù)的發(fā)展背景與歷史機(jī)遇

20世紀(jì)40年代末，巴丁(Bardeen)、布拉頓(Brattain)和肖克利(Shockley)經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的研究后發(fā)明了點(diǎn)接觸型和結(jié)型晶體管，開(kāi)啟了半導(dǎo)體技術(shù)的研究浪潮;20世紀(jì)50年代末，基爾比(Kilby)和諾伊斯(Noyce)分別獨(dú)立設(shè)計(jì)并制作了最早的集成電路，芯片技術(shù)的雛形得以問(wèn)世;1960年左右，貝爾實(shí)驗(yàn)室和仙童半導(dǎo)體公司先后發(fā)明了硅基場(chǎng)效應(yīng)晶體管(Metal-Oxide-Semiconductor-Field-Effect-Transistor，MOSFET)和互補(bǔ)型金屬氧化物半導(dǎo)體技術(shù)(Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS)，MOSFET和CMOS隨后成為了集成電路的基礎(chǔ)單元并被使用至今。至此，歷經(jīng)二十余年的早期探索，以集成電路為核心的硅基半導(dǎo)體技術(shù)才終于步入正軌并開(kāi)始高速發(fā)展。依循摩爾定律和Dennard微縮定律這兩個(gè)半導(dǎo)體技術(shù)的商業(yè)規(guī)律和技術(shù)理論，硅基集成電路的集成度和性能每隔18~24個(gè)月就翻一番，五十余年來(lái)不斷推動(dòng)著人類信息技術(shù)的蓬勃發(fā)展與深刻變革。然而從2000年起，硅基晶體管的微縮難度不斷增大，人們雖然引入了各種復(fù)雜的技術(shù)解決方案如應(yīng)變硅(StrainedSi)技術(shù)、高k金屬柵(high-kmetalgate)技術(shù)、鰭式晶體管技術(shù)(FinFET)和深紫外(DUV)乃至極紫外(EUV)光刻技術(shù)等等。但硅基晶體管的微縮速度卻在持續(xù)降低、微縮收益也在逐漸收窄，硅基集成電路更是遇到了工藝上的瓶頸(頻率瓶頸或功耗墻問(wèn)題)和架構(gòu)上的瓶頸(馮諾依曼架構(gòu)的內(nèi)存墻問(wèn)題)。隨著先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的艱難推進(jìn)，硅基晶體管和集成電路也逐漸接近其物理極限和工程極限，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)步入后摩爾時(shí)代[1，2]。

在后摩爾時(shí)代，雖然信息技術(shù)的基石—半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨著巨大的技術(shù)挑戰(zhàn)和工程困難，但人類社會(huì)對(duì)數(shù)據(jù)計(jì)算能力和存儲(chǔ)能力的需求卻與日俱增。因此，半導(dǎo)體學(xué)界和業(yè)界在艱難發(fā)展硅基技術(shù)的同時(shí)，也越來(lái)越頻繁地將其目光和精力放到新材料和新器件的探索中來(lái)，以求從根本上延續(xù)和拓展摩爾定律。在眾多新型半導(dǎo)體材料中，碳納米管(Carbon-Nanotube，碳管或CNT)由于其獨(dú)特的準(zhǔn)一維結(jié)構(gòu)和優(yōu)異的電學(xué)性質(zhì)而受到了人們的高度重視。國(guó)際半導(dǎo)體路線圖委員會(huì)(ITRS)早在2009年就推薦碳納米管作為延續(xù)摩爾定律的未來(lái)集成電路材料選擇[2，3];美國(guó)國(guó)防部先進(jìn)研究計(jì)劃局(DARPA)在2018年啟動(dòng)的“電子復(fù)興計(jì)劃”(ERI)中，投入高達(dá)15億美元的經(jīng)費(fèi)，希望從系統(tǒng)架構(gòu)、電路設(shè)計(jì)和底層器件三個(gè)方面探索未來(lái)的集成電路技術(shù)，其中最大的項(xiàng)目就是支持相關(guān)學(xué)術(shù)團(tuán)隊(duì)和芯片制造企業(yè)開(kāi)展碳納米管集成電路技術(shù)的研究和產(chǎn)業(yè)化[4];國(guó)際商業(yè)機(jī)器公司(IBM)和臺(tái)積電(TSMC)等企業(yè)的半導(dǎo)體研發(fā)團(tuán)隊(duì)近年來(lái)也在持續(xù)跟進(jìn)碳納米管電子技術(shù)[5，6]。對(duì)碳納米管這一新型半導(dǎo)體材料的廣泛關(guān)注和看好根源于其電子學(xué)應(yīng)用上的材料器件本征優(yōu)勢(shì)，因而催生了一系列對(duì)材料、器件物理、加工工藝乃至集成技術(shù)的深入研究。

自從1991年碳納米管被發(fā)現(xiàn)以來(lái)[7]，人們就對(duì)這種天然的納米尺度準(zhǔn)一維導(dǎo)體充滿了興趣，并深入系統(tǒng)研究了其材料特點(diǎn)。首先，碳納米管可分為單壁碳納米管和多壁碳納米管，多壁碳管可視作由單壁碳管嵌套而成，由于單壁碳管與多壁碳管相比缺陷較少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可控性好，而且半導(dǎo)體性比例高，因此碳基電子技術(shù)主要基于單壁碳管發(fā)展，下文所述碳納米管一詞也均默認(rèn)為單壁碳納米管。其次，碳納米管可以看作由二維的單層石墨烯沿特定方向卷曲而成的空心圓柱狀準(zhǔn)一維晶體，其卷曲方向決定碳管的手性從而決定其晶格和能帶結(jié)構(gòu)，其表面碳原子間的成鍵方式為sp2雜化。根據(jù)手性不同，碳納米管還可分為半導(dǎo)體性和金屬性的，這種電子性質(zhì)的多樣性使碳納米管具有廣泛的應(yīng)用前景，包括晶體管、互聯(lián)和傳感等等，下文主要討論半導(dǎo)體性碳納米管。從碳納米管的基本特性出發(fā)，人們歸納了其主要的電子學(xué)材料優(yōu)勢(shì)：(1)碳納米管的準(zhǔn)一維結(jié)構(gòu)大幅減小了其載流子的散射相位空間，因此具有較低的散射概率、較高的載流子遷移率和較長(zhǎng)的平均自由程，是理想的低損耗甚至無(wú)損耗溝道材料;(2)碳納米管的sp2雜化碳原子表面沒(méi)有懸掛鍵，因此表面散射較弱，理論上可以兼容各種高k柵介質(zhì)材料;(3)常見(jiàn)的碳納米管直徑僅為1~2nm，與體型半導(dǎo)體材料相比更容易受柵極調(diào)控，因此對(duì)短溝道效應(yīng)的免疫能力較強(qiáng);(4)碳納米管的導(dǎo)帶與價(jià)帶在低能態(tài)下高度對(duì)稱，電子與空穴具有相同的有效質(zhì)量和遷移率，因此尤其適合用來(lái)制作CMOS集成電路。這些優(yōu)勢(shì)的具體表現(xiàn)將在下文深入討論。

經(jīng)過(guò)大量的早期探索，代爾夫特理工大學(xué)的Dekker等人和IBM的Martel等人終于在1998年分別獨(dú)立制造出了第一個(gè)碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管(CNTFET)[8，9]。然而，最早的碳管器件性能尤其是開(kāi)態(tài)電流遠(yuǎn)遜于同時(shí)期的硅基晶體管，這是因?yàn)樘技{米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管本質(zhì)上是一種肖特基場(chǎng)效應(yīng)晶體管，當(dāng)溝道長(zhǎng)度小于其平均自由程時(shí)(即準(zhǔn)彈道甚至彈道輸運(yùn))，源漏電流主要受碳管和接觸電極之間的肖特基勢(shì)壘決定。而Dekker等人制造的碳管晶體管使用Pt或Au作為電極，接觸勢(shì)壘較大[8，9]。因此，2003年AliJavey和DaiHongjie等人經(jīng)過(guò)大量嘗試，發(fā)現(xiàn)可通過(guò)使用高功函數(shù)的金屬鈀(Pd)作為碳納米管的電極來(lái)得到無(wú)勢(shì)壘P型歐姆接觸的彈道晶體管，其室溫下開(kāi)態(tài)電導(dǎo)接近量子電導(dǎo)的理論極限，首次展現(xiàn)了碳納米管晶體管的高性能優(yōu)勢(shì)[10]。2007年，北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了以低功函數(shù)的金屬鈧(Sc)作為碳納米管電極的N型歐姆接觸彈道晶體管，其性能達(dá)到了P型碳納米管晶體管的最好水準(zhǔn)[11]。這兩個(gè)工作展示了碳納米管在場(chǎng)效應(yīng)晶體管和CMOS集成電路應(yīng)用上的巨大性能潛力，自此以后碳納米管電子學(xué)領(lǐng)域的主要研究工作也都集中在這兩方面。

經(jīng)過(guò)這些原始探索后，以碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管和CMOS技術(shù)為核心的碳基電子技術(shù)終于開(kāi)始迅速發(fā)展，在材料、器件結(jié)構(gòu)、加工工藝和系統(tǒng)集成方面不斷突破，并在數(shù)字電路、射頻電子、傳感探測(cè)、三維集成和特種芯片等電子學(xué)應(yīng)用中充分展現(xiàn)了其優(yōu)勢(shì)與特色。碳基電子技術(shù)正如硅基半導(dǎo)體技術(shù)一樣，已經(jīng)完成了豐富的早期探索、進(jìn)行了系統(tǒng)的技術(shù)積淀、得到了大量的資助支持，成為了后摩爾時(shí)代的重要技術(shù)方向，甚至在逐步走向?qū)嵱没彤a(chǎn)業(yè)化。有鑒于此，本文將介紹碳基電子技術(shù)在后摩爾時(shí)代的本征優(yōu)勢(shì)，重點(diǎn)討論碳基電子技術(shù)的基礎(chǔ)性問(wèn)題與進(jìn)展，梳理碳基電子技術(shù)的應(yīng)用場(chǎng)景與發(fā)展方向，最后分析碳基電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中的綜合性挑戰(zhàn)，并展望碳基電子技術(shù)的未來(lái)前途。

2碳基電子技術(shù)在后摩爾時(shí)代的本征優(yōu)勢(shì)

作為現(xiàn)代信息技術(shù)的硬件基礎(chǔ)，集成電路自二十世紀(jì)六十年代發(fā)展至今，已然成為了一個(gè)極其成熟又極其復(fù)雜的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)。對(duì)于集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的著名預(yù)測(cè)—摩爾定律，也因面臨芯片成本急劇上升的經(jīng)濟(jì)學(xué)阻礙和微納加工原子極限的物理學(xué)阻礙而開(kāi)始逐漸失效，集成電路產(chǎn)業(yè)進(jìn)入了后摩爾時(shí)代。后摩爾時(shí)代電子技術(shù)的核心需求主要分成三個(gè)方向：即more Moore、morethan Moore和beyond Moore或beyond CMOS。

在more Moore方面，集成電路領(lǐng)域雖然有器件結(jié)構(gòu)、溝道材料、互聯(lián)導(dǎo)線、高k金屬柵、工藝設(shè)備等多個(gè)研究方向，但業(yè)界的核心需求仍是CMOS器件的性能提高、功耗下降，并對(duì)晶體管和電路進(jìn)行尺寸縮減。近20年來(lái)，人們?yōu)榱双@得更高的器件能效，設(shè)計(jì)了各式各樣的晶體管結(jié)構(gòu)，如鰭式晶體管(FinFET)、全耗盡型絕緣層上硅晶體管(FD-SOIFET)、GAA結(jié)構(gòu)的硅納米片晶體管(SiNanosheet FET or MBCFET)和硅納米線晶體管(SiNanotube FET)、二維材料晶體管(2DFET)，以及本文所討論的碳納米管晶體管。在晶體管層面，一種溝道材料是否具有應(yīng)用潛力、是否值得研究，首先需要考慮其在高性能和低功耗方面是否存在材料本征優(yōu)勢(shì)。而相關(guān)理論、仿真和實(shí)驗(yàn)研究表明，碳納米管具有較高的性能潛力，反映為其載流子的平均自由程較長(zhǎng)(不同散射機(jī)制對(duì)應(yīng)數(shù)十納米到微米量級(jí))、低場(chǎng)遷移率較高(1×105cm2/(Vs))、強(qiáng)場(chǎng)飽和速度是硅的四倍(4×107cm/s)、彈道注入速度超過(guò)硅的三倍(3×107~4×107cm/s)[14-16]。這些特點(diǎn)有利于提高器件性能和電路速度，最新實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明120nm柵長(zhǎng)的碳納米管晶體管電流密度在1V工作電壓下可達(dá)1.18mA/μm、環(huán)振電路門延時(shí)可低至11.3 ps[17]，該結(jié)果超過(guò)了同尺寸的硅基器件性能，充分展示了碳納米管的高性能潛力。其次，碳納米管作為直徑1nm左右的準(zhǔn)一維超薄體，其本征量子電容較小，容易被柵極調(diào)控，因此其載流子屏蔽自然長(zhǎng)度較小，有利于抑制晶體管的短溝道效應(yīng)。綜合來(lái)看，碳納米管相比于體型半導(dǎo)體更易于降低器件的工作電壓和能耗：實(shí)驗(yàn)研究表明碳納米管晶體管的工作電壓甚至可降低到0.6V以下[18]，動(dòng)態(tài)功耗隨之大幅降低;又由于碳納米管的開(kāi)態(tài)性能較高，在降低工作電壓時(shí)，不需要降低閾值電壓來(lái)彌補(bǔ)性能，理論上能有效抑制關(guān)態(tài)泄漏電流，降低靜態(tài)功耗。以上特點(diǎn)使碳納米管晶體管尤其符合現(xiàn)今集成電路產(chǎn)業(yè)功耗驅(qū)動(dòng)的制程進(jìn)化趨勢(shì)(Power-Driven Technology Transition)。綜上，碳納米管晶體管理論上是一種兼顧高性能低功耗特性的器件，實(shí)驗(yàn)和計(jì)算結(jié)果表明其與傳統(tǒng)晶體管相比具有5到10倍的綜合能效優(yōu)勢(shì)，這種能效優(yōu)勢(shì)甚至能在亞10nm的實(shí)際物理柵長(zhǎng)器件中得以保持[19]?？梢哉f(shuō)，碳納米管晶體管完全具備延續(xù)摩爾定律所要求的材料器件本征優(yōu)勢(shì)以及微縮潛力，是后摩爾時(shí)代moreMoore方向的重要技術(shù)路線。在morethanMoore方面，集成電路的發(fā)展不再是一味的縮減晶體管尺寸和單元面積或提高單元器件能效，而是在系統(tǒng)層面上關(guān)注功能集成、集成效率和綜合算力，研究重點(diǎn)包括但不限于應(yīng)用導(dǎo)向的功能器件和三維系統(tǒng)集成技術(shù)(先進(jìn)封裝、三維異質(zhì)集成、Monolithic三維集成)，而基于碳納米管材料的碳基電子技術(shù)恰好在功能器件和三維集成方向上具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。由于碳納米管具備載流子遷移率高(速度快)、比表面積大(高靈敏度)、碳-碳鍵強(qiáng)度高且溝道體積小(輻照抗性好)、工作溫區(qū)寬、襯底兼容性強(qiáng)等材料特性，近年來(lái)研究者們基于碳納米管實(shí)現(xiàn)了多種功能器件，如高速射頻器件和電路、超靈敏生物和氣體傳感器、自修復(fù)抗輻照芯片、柔性器件和電路等等[20-25]。整體而言，碳基電子技術(shù)不僅可以提供多種多樣的功能器件，還能在多種器件的性能指標(biāo)上具有一定優(yōu)勢(shì)或特色，這些具體進(jìn)展將在下文展開(kāi)討論。在三維集成方面，研究者們希望在計(jì)算單元與存儲(chǔ)單元乃至信息獲取單元(傳感器或探測(cè)器等)之間快速傳遞數(shù)據(jù)，從而提高內(nèi)存訪問(wèn)帶寬并突破內(nèi)存墻、降低系統(tǒng)能耗并提高計(jì)算效率。要想實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，我們需要實(shí)現(xiàn)高密度、高速的數(shù)據(jù)傳輸通道(I/O接點(diǎn))，而業(yè)界基于硅基集成電路所嘗試的主要是三維封裝技術(shù)和TSV三維集成技術(shù)，前者技術(shù)難度和成本較低，但I(xiàn)/O接點(diǎn)密度低、寄生效應(yīng)強(qiáng)，后者I/O接點(diǎn)密度有所提高但每個(gè)通孔尺寸仍然在數(shù)十至百微米，只能提供有限的數(shù)據(jù)傳輸帶寬。硅基集成電路因其工藝熱預(yù)算有限(如后道工藝不能超過(guò)400攝氏度)，難以在同一硅片上制造多層電路并對(duì)準(zhǔn)層間高密度I/O通孔，因此其三維集成能力有限[26]。而碳納米管技術(shù)由于其低溫加工潛力，理論上可以在制造第一層晶體管及互聯(lián)后，繼續(xù)制造高密度、精細(xì)化(百納米尺寸)的數(shù)據(jù)通孔和第二層乃至多層電路，從而有望實(shí)現(xiàn)單片(Monolithic)三維集成[27]。理論計(jì)算表明這種基于碳納米管器件的三維集成系統(tǒng)相比于傳統(tǒng)計(jì)算系統(tǒng)具有1000倍的能效優(yōu)勢(shì)[28]，結(jié)合碳納米管的功能器件多樣性和三維集成潛力，未來(lái)或許可以實(shí)現(xiàn)豐富多樣的超高能效碳基三維片上系統(tǒng)(3D Systemon Chip)。

在beyond CMOS方面，電子開(kāi)關(guān)被研究人員重新定義，誕生了眾多與傳統(tǒng)CMOS工作機(jī)理不同的器件(亞60器件、自旋電子器件、谷電子學(xué)器件等)，以期望解決CMOS器件在增加密度、提高性能、降低能耗時(shí)所遇到的原理性問(wèn)題。其中，亞60器件由于其低功耗潛力受到了人們的廣泛關(guān)注，重點(diǎn)包括兩種器件：隧穿晶體管和負(fù)電容晶體管。雖然它們都可以實(shí)現(xiàn)亞60特性，但前者電流密度過(guò)低，后者工作機(jī)理不明確，因此實(shí)用化難度較高、概率較低[29]。與這兩種器件相比，基于碳納米管實(shí)現(xiàn)的狄拉克冷源晶體管可以在室溫下同時(shí)實(shí)現(xiàn)小于40mV/decade的亞閾值擺幅和接近1mA/μm的開(kāi)態(tài)電流密度，突破了傳統(tǒng)CMOS器件亞閾值擺幅的玻爾茲曼極限，其工作電壓可低至0.5V，是一種同時(shí)具備高性能和低功耗特性的新型晶體管，其應(yīng)用潛力受到了業(yè)界的高度重視[30]。

綜合來(lái)看，碳基電子技術(shù)在后摩爾時(shí)代的不同發(fā)展方向中均具有很好的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和特色，究其原因是碳納米管作為半導(dǎo)體溝道材料具有較強(qiáng)的電子學(xué)本征優(yōu)勢(shì)。

3碳基電子技術(shù)的基礎(chǔ)性問(wèn)題與進(jìn)展

碳納米管作為直徑只有1~2nm的準(zhǔn)一維半導(dǎo)體，其獨(dú)特的低維特性決定了其材料特性和器件物理都與傳統(tǒng)半導(dǎo)體有所不同。本章將圍繞著碳納米管的材料制備，和碳納米管晶體管的金半接觸、柵極工程、雙極性抑制技術(shù)，以及碳納米管器件的集成工藝進(jìn)行討論，重點(diǎn)分析其中的基礎(chǔ)性問(wèn)題和技術(shù)挑戰(zhàn)，最后回顧近年來(lái)碳納米管晶體管的尺寸縮減和綜合性能提升。

3.1碳納米管材料的制備：生長(zhǎng)、提純和自組裝

要兌現(xiàn)碳基電子技術(shù)在后摩爾時(shí)代的種種優(yōu)勢(shì)，首先需要合適的半導(dǎo)體性碳納米管材料。而根據(jù)用途不同，半導(dǎo)體性碳納米管材料主要可分成三類：?jiǎn)胃技{米管、網(wǎng)絡(luò)狀碳納米管薄膜和碳納米管平行陣列。其中，單根半導(dǎo)體性碳納米管主要用于早期的理論研究和原型器件展示;中高純度、低密度的網(wǎng)絡(luò)狀碳納米管薄膜可用于制造性能要求不高的電路(如顯示驅(qū)動(dòng)電路、柔性傳感電路等);超高純度、高密度的碳納米管平行陣列則是高性能晶體管和集成電路的理想材料(圖2)。根據(jù)理論分析，理想的陣列碳納米管密度為100~200根/μm、均勻間距為5~10nm、半導(dǎo)體性純度至少大于99.9999%(“6個(gè)9”)、管徑為1.2~1.7nm，并且需滿足晶圓級(jí)覆蓋面積[31-33]。為了得到這種理想的碳納米管材料，目前主要有兩種思路：CVD法直接生長(zhǎng)、基于溶液法的提純和自組裝，本小節(jié)將結(jié)合半導(dǎo)體性純度、手性與管徑、排列密度與可控性、可擴(kuò)展性等指標(biāo)分別討論不同技術(shù)路線的發(fā)展現(xiàn)狀和未來(lái)挑戰(zhàn)。

CVD直接生長(zhǎng)法最明顯的優(yōu)勢(shì)就是可以在絕緣襯底上直接得到平行排列、表面潔凈、缺陷較少的碳納米管陣列，因此受到了學(xué)界的廣泛關(guān)注，進(jìn)行了大量嘗試。比如在定向排列方面，CVD法通過(guò)生長(zhǎng)過(guò)程中的氣流誘導(dǎo)、基底晶格邊界誘導(dǎo)或其他誘導(dǎo)手段，可以獲得天然平行的陣列碳管[35，36]。在半導(dǎo)體性純度方面，CVD法通過(guò)設(shè)計(jì)特定結(jié)構(gòu)的催化劑來(lái)調(diào)控生長(zhǎng)碳管的手性，如利用(1010)晶面富集的Co6W7作為催化劑可得到最高占比98.6%的(14，4)手性碳管和99.8%的半導(dǎo)體性碳管[37]。在碳管密度方面，有研究者同樣基于特殊結(jié)構(gòu)的催化劑設(shè)計(jì)來(lái)克服高溫下催化劑的聚集和失活現(xiàn)象，從而實(shí)現(xiàn)了密度高達(dá)130根/μm的陣列碳管生長(zhǎng)[38]。然而，這些基于CVD法直接生長(zhǎng)的陣列碳管大都只具備高密度、高純度或定向排列中的某一個(gè)指標(biāo)[35-38]，遠(yuǎn)無(wú)法滿足集成電路應(yīng)用的綜合需求。因此研究者們提出了另一種思路：即用CVD法生長(zhǎng)定向排列的中高密度陣列碳管，再通過(guò)各種后處理方法去除金屬性碳管，從而得到高純度的碳管陣列。其中后處理方法最潔凈、對(duì)碳納米管損傷最小的是2013年Jin等人提出的一種熱燒蝕法。這種方法通過(guò)在CVD法生長(zhǎng)的陣列碳管上覆蓋一層有機(jī)物熱敏材料，然后施加合適的柵壓來(lái)“關(guān)閉”半導(dǎo)體性碳管、施加合適的源漏偏壓來(lái)使金屬管產(chǎn)生大電流，從而使金屬管發(fā)熱并蒸發(fā)熱敏膠，最后用氧等離子體刻蝕掉裸露出的金屬性碳管[39]。該方法對(duì)碳管的損傷較小且選擇性也較好，但受到熱敏材料的種類和厚度限制，只適用于較低密度的碳管陣列。此外，CVD法直接生長(zhǎng)再通過(guò)后處理去除金屬性碳管的技術(shù)方案存在一個(gè)本征缺陷：即無(wú)法保證碳管間距的均一性。在早期研究中，單個(gè)碳納米管器件內(nèi)碳管間距和數(shù)量的隨機(jī)性并不會(huì)產(chǎn)生顯著影響。但在大規(guī)模集成電路等實(shí)際應(yīng)用中，由于器件實(shí)際尺寸較小，每個(gè)器件中的碳管總數(shù)并不多，碳管間距波動(dòng)造成的碳管數(shù)量波動(dòng)會(huì)產(chǎn)生較明顯的器件性能波動(dòng)，從而損害電路均一性。整體來(lái)說(shuō)，目前采用CVD法直接生長(zhǎng)的陣列碳納米管材料在半導(dǎo)體純度和密度等方面都與理想指標(biāo)相差甚遠(yuǎn)，需要進(jìn)一步研究探索。

基于溶液法的提純和自組裝技術(shù)則是理想碳納米管材料制備的另一有效路徑。該技術(shù)的核心思想是：先對(duì)電弧放電法或CVD法生長(zhǎng)得到的原始碳納米管進(jìn)行多次溶液分散和分離提純，從而得到超高純度甚至手性富集的半導(dǎo)體性碳納米管溶液(圖3)，然后再進(jìn)行自組裝使其排列到目標(biāo)基底上去。這一技術(shù)經(jīng)過(guò)二十余年發(fā)展至今，獲得了較好的成果，能初步滿足高性能集成電路應(yīng)用對(duì)碳納米管材料的各種要求[34]，因此接下來(lái)本文將分環(huán)節(jié)簡(jiǎn)要討論該技術(shù)的原理、進(jìn)展和現(xiàn)存問(wèn)題。

就分散提純方法而言，根據(jù)分散劑與碳納米管的作用方式不同可分為共價(jià)分離和非共價(jià)分離。其中，共價(jià)分離法需要對(duì)碳納米管表面進(jìn)行官能團(tuán)化，這破壞了碳納米管的完美晶格結(jié)構(gòu)，從而在器件中引入散射位點(diǎn)并降低電學(xué)性能，因此不是一個(gè)很好的選擇。非共價(jià)分離則以特定的表面活性劑、共軛小分子、共軛聚合物或DNA羥基鏈等材料作為分散劑，分散劑通過(guò)范德華力選擇性地包覆在半導(dǎo)體性或金屬性碳納米管表面，從而造成半導(dǎo)體性和金屬性碳管與分離介質(zhì)之間的相互作用出現(xiàn)明顯差異，最后再用柱色譜法、密度梯度離心法等方法進(jìn)行分離[40-46]。需要注意的是，在分散過(guò)程中長(zhǎng)時(shí)間的超聲會(huì)大幅縮短碳管長(zhǎng)度并產(chǎn)生表面缺陷，因此我們需要進(jìn)行分子設(shè)計(jì)以加強(qiáng)分散劑與碳管之間的相互作用強(qiáng)度，從而減少分散所需的時(shí)間;要想獲得超高純度(>99.9%)的半導(dǎo)體性碳管，分散劑和分離方法還需要對(duì)半導(dǎo)體性碳管具備盡可能強(qiáng)的選擇性?；谶@兩點(diǎn)考慮，共軛聚合物這種與碳管范德華力相互作用較強(qiáng)的分散劑材料受到了研究者們的重點(diǎn)關(guān)注[34，44-47]。共軛聚合物中的共軛骨架可與碳納米管表面形成π-π電子云相互作用，從而緊密纏繞在碳管表面，有助于分散和分離過(guò)程;共軛聚合物上的烷基鏈則幫助半導(dǎo)體性碳管在有機(jī)溶劑中懸浮，懸浮能力的強(qiáng)弱會(huì)直接影響分離過(guò)程的有效產(chǎn)率;共軛聚合物的分子量也會(huì)影響選擇性和產(chǎn)率，一般認(rèn)為分子量越大則產(chǎn)率越高、管徑更小?；谝陨显恚ㄟ^(guò)共軛聚合物的分子設(shè)計(jì)，研究者們利用噻吩[44]、聯(lián)吡啶[45]、咔唑[46]、聚咔唑[47]等聚合物作為分散劑，得到了半導(dǎo)體性純度可超過(guò)99.99%的碳納米管溶液，相比CVD法具有明顯優(yōu)勢(shì)。通過(guò)分子設(shè)計(jì)和工藝優(yōu)化，基于溶液法的分散提純技術(shù)理論上能獲得超高純度的半導(dǎo)體性碳管，但隨之而來(lái)的問(wèn)題是：如何快速、大規(guī)模、精準(zhǔn)地表征超高半導(dǎo)體性純度?，F(xiàn)有的光學(xué)表征技術(shù)如拉曼光譜分析只能檢測(cè)到最高99%的半導(dǎo)體性純度[48]，而基于場(chǎng)效應(yīng)晶體管的電學(xué)表征技術(shù)雖然可以得到極高精度的結(jié)果(可分辨金屬性碳管比例~0.0001%)[34]，但其工藝流程長(zhǎng)、表征速度慢、表征規(guī)模有限，同樣不能滿足未來(lái)碳基電子技術(shù)規(guī)?；瘧?yīng)用時(shí)的材料表征要求，因此我們需要進(jìn)一步研究開(kāi)發(fā)碳管純度的高通量表征技術(shù)。此外，共軛聚合物的使用也可能造成潛在的問(wèn)題，這主要包括兩方面：一是共軛聚合物中的極性原子或基團(tuán)可能與碳管發(fā)生電荷交換形成電偶極子甚至引入界面態(tài)或改變碳管的能帶結(jié)構(gòu)，這不利于形成可控的碳納米管金半接觸并對(duì)溝道內(nèi)的載流子輸運(yùn)造成了未知影響;二是碳管表面的共軛聚合物可等效為一層低介電常數(shù)、疏松不均勻的介質(zhì)層，從而復(fù)雜化柵介質(zhì)的生長(zhǎng)機(jī)制與界面物理、降低碳納米管晶體管的柵控效率。因此，在使用共軛聚合物作為分散劑進(jìn)行碳管的分離提純時(shí)，我們需要評(píng)估共軛聚合物的殘留程度并盡可能地將其去除干凈，以避免對(duì)后續(xù)的器件制造產(chǎn)生負(fù)面影響。

得到了高純度的半導(dǎo)體性碳納米管溶液后，下一步就是將碳管排列在絕緣基底上以供制造器件和電路。根據(jù)排列過(guò)程中準(zhǔn)一維碳管的取向性差異，可分為介觀尺度準(zhǔn)各向同性的網(wǎng)絡(luò)狀碳納米管薄膜和高度各向異性的碳納米管平行陣列。

網(wǎng)絡(luò)狀碳納米管薄膜可通過(guò)滴涂法、靜置沉積法等方法制備，其工藝簡(jiǎn)單、碳管排列完全無(wú)序或具備一定宏觀取向性。由于網(wǎng)絡(luò)狀碳管薄膜中存在大量碳管-碳管結(jié)(CNT-CNTJunction)，載流子在其中的輸運(yùn)方式為滲流輸運(yùn)，實(shí)際輸運(yùn)路徑具備一定隨機(jī)性，輸運(yùn)長(zhǎng)度通常大于器件設(shè)計(jì)的溝道長(zhǎng)度[49]。雖然網(wǎng)絡(luò)狀碳納米管薄膜在半導(dǎo)體性純度較高時(shí)也能用于制造性能尚可的晶體管和均一性較高的電路[50-53]，但這種材料存在一些本征限制：首先，載流子在輸運(yùn)過(guò)程中需要通過(guò)多個(gè)碳管-碳管隧穿結(jié)，其有效遷移率大幅降低，難以發(fā)揮碳納米管材料的高性能本征優(yōu)勢(shì);其次，即使在一切理想的情況下，即碳管手性全同、工藝不引起任何不均勻性，僅碳管取向隨機(jī)性造成的電學(xué)波動(dòng)就會(huì)限制晶體管在開(kāi)態(tài)和關(guān)態(tài)性能間折中，即無(wú)法將器件的開(kāi)態(tài)和關(guān)態(tài)指標(biāo)(如跨導(dǎo)和SS)同時(shí)做好[54]。因此，面向高性能電子學(xué)應(yīng)用的碳納米管材料，只能是超高純度、超順排的碳納米管陣列。

碳納米管陣列的平行自組裝技術(shù)根據(jù)其原理可分為：基于Langmuir膜法(包括Langmuir-Blodgett膜法和Langmuir-Scheafer膜法，即L-B膜法和L-S膜法)的自組裝技術(shù)[55，56]、基于蒸發(fā)原理的自組裝技術(shù)[57，58]、基于模板法的自組裝技術(shù)[59，60]和維度限制自組裝技術(shù)(DimensionLimitedSelfAlignment，DLSA)[34]。接下來(lái)本文將結(jié)合密度、間距均一性、排列取向性和可擴(kuò)展性(產(chǎn)率和晶圓級(jí)覆蓋能力)來(lái)討論不同方法的優(yōu)勢(shì)和問(wèn)題。L-B膜法或L-S膜法都是通過(guò)水-空氣界面處碳管懸浮液的精細(xì)化壓縮和釋放過(guò)程自動(dòng)調(diào)整其方向性，經(jīng)過(guò)多個(gè)周期后，碳管將垂直于壓縮方向緊密地平行排列，再經(jīng)過(guò)垂直提拉(L-B膜)或水平提拉(L-S膜)將碳管轉(zhuǎn)移到基底上，就得到了碳納米管平行陣列[55，56]。然而，基于Langmuir膜法的自組裝技術(shù)要么得到了僅40根/μm的碳管陣列[55]、要么得到了高達(dá)500根/μm的碳管陣列[56]，均不滿足理想碳納米管陣列在密度上的要求(100~200根/μm)，所制造的器件要么電流密度較低[55]、要么柵控效率較差[56]。在可擴(kuò)展性方面，由于Langmuir膜法需要多個(gè)壓縮-釋放循環(huán)，該方法的產(chǎn)率較低，而且尚無(wú)工作展示其能實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)別的覆蓋率。由溶劑蒸發(fā)驅(qū)動(dòng)的碳管自組裝技術(shù)則是將目標(biāo)基底(固體)垂直浸泡在包含碳管的水溶液[57]或有機(jī)-水分層溶液[58]中，然后緩慢提拉基底，利用水溶劑[57]或有機(jī)溶劑[58]在氣-液-固三相界面上的蒸發(fā)過(guò)程來(lái)將碳管排列到基底上。通過(guò)這種方式，可以得到取向角偏差在20°以內(nèi)、密度約15根/μm[57]或50根/μm[58]的條帶狀碳納米管陣列薄膜。該方法除了密度不達(dá)標(biāo)外，條帶狀的覆蓋特點(diǎn)更使其不可能用于碳基器件的規(guī)模集成?；谀０宸ǖ淖越M裝技術(shù)則包括自上而下和自下而上兩種思路，前者通過(guò)基底的圖案化和選擇性的表面化學(xué)修飾來(lái)實(shí)現(xiàn)可容納碳管的人造“溝槽”，溝槽區(qū)域經(jīng)化學(xué)修飾后可以吸附碳管，當(dāng)溝槽寬度遠(yuǎn)小于碳管平均長(zhǎng)度時(shí)，碳管由于空間限制就近似平行地排列在溝槽內(nèi)部[59]。這種方法雖然可以得到晶圓級(jí)別的碳管陣列，但由于碳管只存在于溝槽內(nèi)部，其有效覆蓋率并不高(常低于30%)，并且碳管取向性和間距均勻性在溝槽內(nèi)部會(huì)大幅下降，產(chǎn)生較多的局部排列缺陷。這些問(wèn)題雖然可以通過(guò)降低溝槽寬度和提高溝槽密度來(lái)改善，但其亞10nm精度的圖形化成本是十分昂貴的。自下而上的碳管陣列模板法自組裝技術(shù)則是由北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)的孫偉教授提出的[60]：首先利用DNA“折紙”技術(shù)構(gòu)建等間距的溝槽陣列和溝槽內(nèi)部的懸浮脫氧核苷酸鏈，再對(duì)碳納米管表面作互補(bǔ)DNA鏈修飾，利用脫氧核苷酸的配對(duì)原理實(shí)現(xiàn)溝槽對(duì)碳納米管的選擇性限制和自組裝，最后再化學(xué)去除DNA分子就能得到表面相對(duì)潔凈、取向角偏差極小(90%在7°以內(nèi))、密度約為40~120根/μm的等間距碳納米管陣列。這種技術(shù)在密度、取向性和間距均勻性等方面都具有良好表現(xiàn)和優(yōu)化潛力，但其產(chǎn)率較低(DNA模板的合成較慢、覆蓋面積較小)、成本較高(DNA原料和合成價(jià)格較高)，暫時(shí)不適用于碳基電子技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化，有待進(jìn)一步發(fā)展以滿足28nm節(jié)點(diǎn)后的碳基集成電路應(yīng)用。

由北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)提出的維度限制法碳納米管自組裝技術(shù)主要包括兩個(gè)維度限制過(guò)程[34](圖4)：一是經(jīng)過(guò)提純的半導(dǎo)體性碳納米管從體溶液中被吸引到雙液相界面(即碳管從三維空間轉(zhuǎn)移到二維平面)，二是雙液相界面上的碳納米管受晶圓提拉作用和頂層溶劑的蒸發(fā)對(duì)流作用慢慢轉(zhuǎn)移到固-液-氣分界線上進(jìn)而連續(xù)地沉積在晶圓表面(即碳管從二維平面向晶圓與液面的一維交線處轉(zhuǎn)移)。通過(guò)優(yōu)化液相界面性質(zhì)、晶圓提拉速率和溶劑蒸發(fā)速率、懸浮液中的碳納米管濃度以及共軛聚合物與碳納米管表面的相互作用強(qiáng)度等工藝參數(shù)，該技術(shù)首次得到了100~200根/μm的可控密度、取向角偏差小于8.3°、碳管直徑為1.45±0.23nm的晶圓級(jí)理想碳納米管平行陣列[34]。此外，北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)還基于前文提到的溶液法分散提純技術(shù)，以聚咔唑共軛聚合物作為分散劑，經(jīng)過(guò)多次超聲分散、高速離心分離和過(guò)濾篩選，最終得到了純度至少為99.99995%(批量電學(xué)器件表征結(jié)果)的半導(dǎo)體性碳納米管溶液[34]。結(jié)合高度優(yōu)化的溶液法分散提純技術(shù)和維度限制的自組裝技術(shù)，該團(tuán)隊(duì)首次展示了同時(shí)具備超高半導(dǎo)體性純度、理論最優(yōu)密度和良好取向性的晶圓級(jí)碳納米管平行陣列，能基本滿足碳基電子技術(shù)實(shí)用化和產(chǎn)業(yè)化的需求?；谠摬牧纤圃斓奶技{米管晶體管能在1V工作電壓下具有1.3mA/μm的飽和電流、0.9mS/μm的峰值跨導(dǎo)以及75mV/dec的SS(液柵高效調(diào)控)，環(huán)振電路速度可達(dá)8.06GHz，首次在同尺寸器件實(shí)測(cè)性能和電路速度上超過(guò)硅基技術(shù)[34]，可以說(shuō)是碳基電子技術(shù)發(fā)展的一塊重要里程碑。

最后，需要提出的是，理想的半導(dǎo)體性碳納米管陣列材料還需要對(duì)材料潔凈度和電學(xué)質(zhì)量進(jìn)行精細(xì)表征和嚴(yán)格控制。在材料制備過(guò)程中的各種化學(xué)污染和金屬離子殘留會(huì)嚴(yán)重影響器件和電路的電學(xué)性能及可靠性，分散提純過(guò)程中大功率超聲對(duì)碳管的晶格損傷也會(huì)造成電學(xué)性能的下降。因此，碳基電子技術(shù)的實(shí)用化和產(chǎn)業(yè)化除了進(jìn)一步優(yōu)化材料制備工藝，還需要制定標(biāo)準(zhǔn)化的材料表征流程、開(kāi)發(fā)高效的材料表征平臺(tái)。

3.2 碳納米管晶體管金半接觸的基本原理、接觸電阻和可靠性問(wèn)題

對(duì)于碳納米管晶體管，其載流子的本征速度優(yōu)勢(shì)轉(zhuǎn)化為器件的實(shí)際性能優(yōu)勢(shì)的首要挑戰(zhàn)，就是要形成電阻盡可能小的金屬-半導(dǎo)體歐姆接觸。因此本節(jié)將討論碳納米管晶體管如何形成良好的金半接觸、不同接觸構(gòu)型的接觸電阻隨電極尺寸的縮放規(guī)律、金半接觸的穩(wěn)定性問(wèn)題以及陣列碳納米管金半接觸的工藝挑戰(zhàn)。

無(wú)論是硅鍺還是半導(dǎo)體性碳納米管，當(dāng)它們與金屬接觸時(shí)，根據(jù)加工工藝和金屬類型不同，會(huì)造成不同程度的晶格周期性破壞或電子波函數(shù)的交疊和擾動(dòng)，從而在半導(dǎo)體帶隙中引入與金屬波函數(shù)共振的電子態(tài)，也被稱作metal-inducedgap-states(MIGS)。MIGS的密度隨著遠(yuǎn)離金半接觸界面而指數(shù)降低，因此主要在界面處引入一層電偶極子，從而改變界面處費(fèi)米能級(jí)的位置，形成一個(gè)受金屬費(fèi)米能級(jí)影響較小的肖特基勢(shì)壘，其勢(shì)壘高度由MIGS和半導(dǎo)體費(fèi)米能級(jí)決定。在體材料半導(dǎo)體中，由于接觸面的二維特性和相對(duì)較大的接觸面積，該勢(shì)壘可達(dá)微米尺度[61]，因此難以形成穿透性接觸、接觸電阻較大。為了提高器件性能，體型半導(dǎo)體多采用源漏重?fù)诫s的方式來(lái)降低接觸勢(shì)壘和電阻。然而對(duì)于碳納米管器件，由于碳納米管的準(zhǔn)一維小體積特性，其與金屬電極的接觸面積較小，由MIGS引入的肖特基勢(shì)壘寬度只有幾個(gè)納米，且隨著遠(yuǎn)離界面而迅速衰減，因此其作用范圍和作用強(qiáng)度都非常小[61]。在這種情況下，碳納米管和金屬電極之間的接觸勢(shì)壘主要由兩者的費(fèi)米能級(jí)差決定，并不存在傳統(tǒng)半導(dǎo)體金半接觸的費(fèi)米釘扎現(xiàn)象[32]，我們可以用特定功函數(shù)的金屬來(lái)實(shí)現(xiàn)與碳納米管的歐姆接觸。此外，不同金屬與碳納米管的浸潤(rùn)性和相互作用強(qiáng)度不同，浸潤(rùn)性較差時(shí)接觸界面存在間隙會(huì)引入額外的接觸勢(shì)壘，相互作用過(guò)強(qiáng)時(shí)金屬會(huì)改變碳納米管的能帶結(jié)構(gòu)從而影響接觸區(qū)到溝道區(qū)的載流子注入效率[62]。綜上，我們需要費(fèi)米能級(jí)高于(低于)碳納米管導(dǎo)帶(價(jià)帶)、與碳納米管浸潤(rùn)性良好且相互作用適中的金屬來(lái)分別實(shí)現(xiàn)N型和P型的歐姆接觸。經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的探索，北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)發(fā)展出了一套系統(tǒng)的碳納米管CMOS技術(shù)(圖5)，分別用金屬Pd實(shí)現(xiàn)P型歐姆接觸、用金屬Sc或Y形成N型歐姆接觸，P型和N型器件的電學(xué)特性對(duì)稱，空穴與電子的遷移率均可超過(guò)3000cm2/V·s，開(kāi)態(tài)電導(dǎo)更是達(dá)到了0.6G0，接近碳納米管金半接觸的量子電導(dǎo)極限[11，63-65]。這種碳納米管CMOS技術(shù)完全舍棄了摻雜的概念，不需要多步離子注入和離子激活以及相關(guān)的光刻和成膜工藝，大大簡(jiǎn)化了器件制造工藝流程[63]，此外還避免了摻雜原子引入的雜質(zhì)散射和漲落效應(yīng)。

隨著集成電路不斷發(fā)展，晶體管尺寸越來(lái)越小，在尺寸縮減時(shí)，溝道長(zhǎng)度的降低使溝道電阻下降，但接觸電極的長(zhǎng)度縮減卻使接觸電阻上升，對(duì)于準(zhǔn)彈道輸運(yùn)的晶體管而言接觸電阻幾乎占據(jù)了全部的器件串聯(lián)電阻。因此先進(jìn)節(jié)點(diǎn)不僅要求溝道材料的遷移率盡可能高，還要求接觸電阻在給定電極尺寸下盡可能小。國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖IRDS就明確指出：2030年后的數(shù)字邏輯晶體管接觸關(guān)鍵尺寸(Contact CD)應(yīng)縮減至10nm、接觸電阻應(yīng)小于221Ω[66]。對(duì)于碳納米管晶體管來(lái)說(shuō)，其接觸電阻主要包括兩部分：量子電導(dǎo)決定的基本接觸電阻和加工工藝決定的非穿透性接觸電阻。對(duì)于一個(gè)彈道輸運(yùn)的介觀一維導(dǎo)體和內(nèi)部無(wú)散射的宏觀金屬電極所組成的理想體系而言，電流在其界面處會(huì)經(jīng)歷一個(gè)從多傳輸模式到少傳輸模式的轉(zhuǎn)變，從而引入一個(gè)由溝道模式數(shù)決定的基本接觸電阻12.9kΩ/Nch。對(duì)于單壁碳納米管而言，其低能量簡(jiǎn)并次級(jí)能帶的溝道模式數(shù)Nch為2，因此其基本接觸電阻約為6.45kΩ。在實(shí)際的碳納米管器件中，由于加工工藝的不完善，往往形成的是非穿透性接觸，從而引入了額外的接觸電阻，該部分電阻既和載流子從金屬電極到溝道的透射率有關(guān)，也和接觸長(zhǎng)度有關(guān)。非穿透性接觸電阻根據(jù)接觸構(gòu)型不同(范德華接觸或共價(jià)鍵接觸)，隨接觸長(zhǎng)度的變化規(guī)律也不相同，因此受接觸電極縮減的影響不同。就實(shí)驗(yàn)中接觸長(zhǎng)度較長(zhǎng)的側(cè)邊接觸(sidecontact)而言，其總的接觸電阻一般在10~15kΩ[11，63-65]。因此為了滿足先進(jìn)節(jié)點(diǎn)的要求，我們需要在器件溝道中平行放置多根碳管，使其并聯(lián)降低單位長(zhǎng)度的接觸電阻。根據(jù)以上分析，在不考慮電極尺寸縮減的情況下，至少需要密度為40~70根/um的陣列碳納米管作為溝道材料才能滿足要求。進(jìn)一步考慮實(shí)際的接觸長(zhǎng)度縮減情形：由于側(cè)邊接觸中載流子注入效率會(huì)在一個(gè)閾值即轉(zhuǎn)變長(zhǎng)度LT附近急劇下降，因此當(dāng)接觸長(zhǎng)度接近20nm時(shí)，碳管PMOS的接觸電阻會(huì)增大至每根碳管60kΩ左右，碳管NMOS的接觸電阻由于電極邊緣氧化問(wèn)題會(huì)進(jìn)一步增大到每根碳管90kΩ左右[67]。此時(shí)至少需要密度為270~410根/μm的陣列碳納米管作為溝道材料，如果進(jìn)一步縮減接觸電極長(zhǎng)度到10nm左右而不改變工藝，則需要更高密度的陣列碳管才能滿足先進(jìn)節(jié)點(diǎn)接觸電阻的要求。然而密度超過(guò)200根/μm的碳納米管陣列會(huì)逐漸出現(xiàn)碳管間的庫(kù)倫相互作用和屏蔽效應(yīng)以及碳管間距的不均勻性，造成整體器件性能的下降[31-33]。因此，我們需要優(yōu)化接觸工藝和接觸結(jié)構(gòu)，盡可能降低單根碳管的接觸電阻，比如采用末端接觸工藝(endcontact)。該工藝在碳管上沉積可形成碳化物的金屬如鉬或鎳，然后對(duì)接觸部分進(jìn)行高溫退火形成金屬碳化物，未被金屬覆蓋的碳管軸面直接“焊接”在金屬碳化物上，從而構(gòu)建出溝道碳原子和接觸電極金屬原子間的強(qiáng)共價(jià)鍵連接[68]。這種相互作用較強(qiáng)的接觸結(jié)構(gòu)能夠在電極長(zhǎng)度縮減時(shí)始終保持適中的載流子穿透系數(shù)，避免了接觸電阻隨電極長(zhǎng)度減小而急劇上升的問(wèn)題。碳化鉬末端接觸的單管接觸電阻即使在10nm接觸長(zhǎng)度下仍能維持在36kΩ左右[68]，即只需要150根/μm的陣列碳納米管就可以滿足先進(jìn)節(jié)點(diǎn)對(duì)接觸電阻的要求。然而，這種工藝目前只實(shí)現(xiàn)了碳管的P型接觸且工藝難度較大。由于低功函數(shù)的金屬較為活潑，易形成金屬氧化物而非金屬碳化物，因此是否能夠以及如何實(shí)現(xiàn)N型末端接觸尚未可知。另一方面，也有研究展示側(cè)邊接觸的接觸電阻在接觸長(zhǎng)度縮減時(shí)變化并不明顯，且有幾率在10nm接觸長(zhǎng)度下得到僅13kΩ的接觸電阻[69]。由此發(fā)現(xiàn)，即使接觸結(jié)構(gòu)相同，不同的器件也會(huì)呈現(xiàn)出較大的接觸電阻波動(dòng)，這說(shuō)明即使在工藝簡(jiǎn)單的側(cè)邊接觸中，接觸電阻受哪些因素影響、如何進(jìn)行優(yōu)化仍未被完全解釋清楚，有待進(jìn)一步研究。

除了接觸電阻問(wèn)題，金半接觸穩(wěn)定性也是碳納米管CMOS器件的一大難題，雖然利用不同功函數(shù)的金屬就可以實(shí)現(xiàn)器件極性的控制，但對(duì)于NMOS器件，低功函數(shù)接觸金屬如Sc、Y容易在低真空成膜過(guò)程中或暴露大氣后氧化，從而使器件斷路或接觸電阻急劇增大。為了獲得空氣中穩(wěn)定可靠的碳管N型接觸，人們采取了各種辦法如化學(xué)修飾[70，71]、靜電摻雜[72-75]、鈍化保護(hù)[76]。其中，化學(xué)修飾將鋁納米顆粒沉積在溝道或接觸部位作為電子摻雜劑，利用電子轉(zhuǎn)移來(lái)增強(qiáng)N型輸運(yùn)。但該工藝具有較大的工藝波動(dòng)、且開(kāi)態(tài)電流相比P型器件明顯下降[70，71]。在頂柵結(jié)構(gòu)中，金屬離子更是可能成為可動(dòng)離子電荷造成閾值電壓漂移和器件穩(wěn)定(a)c(b)c(c)c(d)c性的進(jìn)一步下降。因此，化學(xué)修飾工藝并不適合高性能碳納米管CMOS器件。靜電摻雜則是指對(duì)碳納米管界面處的柵介質(zhì)進(jìn)行工藝控制，使其帶有較多的固定電荷或與基底界面形成電偶極子，從而通過(guò)靜電力作用改變本征溝道的費(fèi)米能級(jí)，等效實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)MOS器件中晶格替位式摻雜的效果，最終得到可靠性較強(qiáng)的N型碳納米管晶體管。如文獻(xiàn)[72]在碳管表面沉積薄層金屬鋁然后熱氧化形成非配位的AlOx，文獻(xiàn)[73]在碳管表面沉積薄層金屬釔然后熱氧化形成非配位的Y2Ox，在這類氧化不完全的柵介質(zhì)層中均存在較多氧空位與帶有非配位電子的金屬離子，從而提供較多的正固定電荷和電子施主，對(duì)被覆蓋的碳管溝道產(chǎn)生N型摻雜效應(yīng)。文獻(xiàn)[74]和[75]則利用氧化鉿與氧化硅界面氧原子擴(kuò)散產(chǎn)生的電偶極子來(lái)實(shí)現(xiàn)類似的靜電摻雜效果，還進(jìn)一步引入了隨機(jī)固定電荷對(duì)接觸勢(shì)壘的調(diào)制和改性作用。然而，基于柵介質(zhì)靜電摻雜工藝實(shí)現(xiàn)的N型器件在性能上遠(yuǎn)差于接觸金屬功函數(shù)調(diào)制工藝所制造的歐姆接觸器件，這種犧牲性能換可靠性的做法并沒(méi)有真正解決問(wèn)題，只是將接觸穩(wěn)定性問(wèn)題轉(zhuǎn)化為了柵結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性問(wèn)題，更犧牲了碳納米管晶體管的性能優(yōu)勢(shì)。除了化學(xué)修飾和靜電摻雜，鈍化保護(hù)是一種更為直接和有效提高N型接觸穩(wěn)定性的方法。通過(guò)在接觸電極頂部和側(cè)壁覆蓋氧化鋁鈍化層，充分隔絕水氧影響，可在不明顯退化器件性能的情況下大幅提高碳納米管晶體管的可靠性[76]。需要指出，這種鈍化保護(hù)工藝是在高校實(shí)驗(yàn)室有限的工藝水平下完成的，與工業(yè)界的高級(jí)封裝技術(shù)相比極其簡(jiǎn)陋，如果采用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和碳基適配的鈍化保護(hù)工藝，金半接觸穩(wěn)定性或能大幅提升。

對(duì)于碳納米管的金半接觸而言，除了本節(jié)上述討論的問(wèn)題，還涉及一些二級(jí)效應(yīng)，其中對(duì)器件性能影響較大的兩種現(xiàn)象是：金屬應(yīng)力或毛細(xì)力導(dǎo)致的碳管形變和位移、金屬與陣列碳管浸潤(rùn)性的一級(jí)相變現(xiàn)象，此處進(jìn)行簡(jiǎn)單討論。首先，在側(cè)邊接觸中，不同的基底表面性質(zhì)和不同的成膜工藝會(huì)產(chǎn)生不同強(qiáng)度的金屬應(yīng)力，從而導(dǎo)致碳管發(fā)生形變和位移。相關(guān)理論計(jì)算表明，碳管形變會(huì)改變其能帶結(jié)構(gòu)、減小帶隙(10%~30%)并降低能帶簡(jiǎn)并，且在形變碳管和本征碳管的界面處，由于能帶不再對(duì)齊，接觸電阻也會(huì)有所增大[77]。碳管位移則有可能形成碳管團(tuán)簇，從而增大碳管間的庫(kù)倫屏蔽作用、降低柵控效率。此外，在陣列碳納米管金半接觸中，隨著碳管間距變化，金屬包裹碳管的形狀也有所不同。具體來(lái)說(shuō)，當(dāng)碳管間距減小到一個(gè)臨界長(zhǎng)度附近時(shí)，金屬浸潤(rùn)性會(huì)迅速下降(類似于一級(jí)相變過(guò)程)，碳管由側(cè)邊三面接觸變?yōu)轫敳繂蚊娼佑|[78]。這種金屬包覆面積的下降無(wú)疑會(huì)降低載流子注入效率、增大接觸電阻，因此需要盡量避免。碳管間距縮小而引起金屬浸潤(rùn)性相變的成因較為復(fù)雜，與金屬類型、碳管直徑、金屬與碳管以及金屬與基底的相互作用強(qiáng)度都有關(guān)，有待進(jìn)一步系統(tǒng)研究。

總的來(lái)說(shuō)，碳納米管金半接觸從原理上相比傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料具有無(wú)需摻雜這一顯著優(yōu)勢(shì)，多個(gè)研究組展示了高性能的原型器件，下一步研究主要集中在接觸電阻的工藝優(yōu)化、金半接觸尤其是N型接觸的可靠性提升以及陣列碳納米管接觸形貌研究這三個(gè)方面。我們需要基于現(xiàn)有的無(wú)摻雜CMOS技術(shù)，繼續(xù)探索同時(shí)具有高性能和高可靠性的碳納米管金半接觸工藝。

3.3碳納米管晶體管柵結(jié)構(gòu)的優(yōu)化與挑戰(zhàn)

衡量一種半導(dǎo)體材料尺寸縮減和低功耗潛力的有效參數(shù)是自然長(zhǎng)度l(thenaturallength)，該參數(shù)由場(chǎng)效應(yīng)晶體管的靜電泊松方程求解而來(lái)[79]，體現(xiàn)了柵極電場(chǎng)和漏極電場(chǎng)對(duì)溝道載流子的競(jìng)爭(zhēng)關(guān)系。一般來(lái)說(shuō)自然長(zhǎng)度越小說(shuō)明柵控潛力越好，亞閾值擺幅(SS)和工作電壓也就越容易降低。并且晶體管的溝道長(zhǎng)度應(yīng)至少大于六倍的自然長(zhǎng)度才能不出現(xiàn)明顯的短溝道效應(yīng)，因此較小的自然長(zhǎng)度有利于晶體管的尺寸縮減。對(duì)于多柵器件，自然長(zhǎng)度可用半經(jīng)驗(yàn)公式表示，

可以發(fā)現(xiàn)，對(duì)于同一類型的柵結(jié)構(gòu)和柵介質(zhì)工藝，半導(dǎo)體介電常數(shù)和厚度越小，其自然長(zhǎng)度就越小。而碳納米管作為一種超薄半導(dǎo)體材料，其厚度只有1~2nm，自然長(zhǎng)度僅為0.2~1nm[80]，天然適合尺寸縮減及低功耗應(yīng)用。然而，材料的本征優(yōu)勢(shì)不代表器件的實(shí)際優(yōu)勢(shì)，要想兌現(xiàn)碳納米管的超薄體潛力，就必須發(fā)展出一套適配的柵結(jié)構(gòu)工藝方案。從碳納米管的材料屬性出發(fā)，可以得到對(duì)柵介質(zhì)的一些基本要求：首先，碳納米管的超薄體特性使其更容易受到表面電荷的干擾(噪聲與散射)[81]，從而對(duì)柵介質(zhì)電荷陷阱或隨機(jī)固定電荷更加敏感，因此碳管器件需要更加“純凈”(柵氧電荷密度較低)的柵介質(zhì)。其次，碳納米管表面是一層sp2雜化的碳原子，沒(méi)有硅鍺等材料的界面懸掛鍵，這種完美的晶格結(jié)構(gòu)雖然帶來(lái)了諸多上文提及的材料優(yōu)勢(shì)，但也使碳管無(wú)法提供柵介質(zhì)原子層沉積(ALD)生長(zhǎng)所需要的成核中心，從而間接導(dǎo)致界面層?xùn)沤橘|(zhì)質(zhì)量較低或整體柵介質(zhì)厚度增大，因此碳管器件需要一種適用于惰性表面的柵介質(zhì)生長(zhǎng)工藝。

經(jīng)過(guò)以上分析可發(fā)現(xiàn)，碳納米管CMOS器件的第二個(gè)核心問(wèn)題就是如何設(shè)計(jì)和制造高效且穩(wěn)定的MOS柵結(jié)構(gòu)。碳納米管器件柵結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和制作，重點(diǎn)在于柵介質(zhì)的幾何結(jié)構(gòu)或靜電學(xué)設(shè)計(jì)、柵介質(zhì)的材料選擇及生長(zhǎng)方法、柵介質(zhì)陷阱電荷與界面態(tài)的控制和優(yōu)化，以及柵金屬的閾值電壓調(diào)控這四個(gè)方面。本節(jié)將從以上四個(gè)方面展開(kāi)，回顧各方向的關(guān)鍵工作，簡(jiǎn)要論證各種技術(shù)的優(yōu)勢(shì)與不足，總結(jié)關(guān)鍵的科學(xué)問(wèn)題和技術(shù)挑戰(zhàn)。

3.3.1柵結(jié)構(gòu)的靜電學(xué)設(shè)計(jì)

碳納米管CMOS器件的柵極幾何結(jié)構(gòu)是影響器件靜電學(xué)柵極控制效率(即靜電柵控，效率越高則SS一般越低)的主要因素之一[6]，也極大影響著后續(xù)柵介質(zhì)的材料選擇、生長(zhǎng)工藝以及界面質(zhì)量。主要的柵極幾何結(jié)構(gòu)有四種：背柵(Backgate，BG)、頂柵(Topgate，TG)、雙柵(Doublegate，DG)和環(huán)柵(Gate-All-Around，GAA)。其中，底柵結(jié)構(gòu)在碳管器件發(fā)展早期較為常見(jiàn)，制作底柵不需要在碳管表面上直接生長(zhǎng)ALD，因此工藝難度較低，但靜電柵控效率也較低[82]。并且底柵器件通常具有較大的SS和回滯，必須配合鈍化工藝來(lái)減少碳管表面吸附的水氧等雜質(zhì)[83]。頂柵結(jié)構(gòu)則多被用于高性能碳管器件的制造[6，19，84]，理論上具有較高的柵電容和柵控能力。但由于缺少能在碳管惰性表面上生長(zhǎng)高質(zhì)量柵介質(zhì)的有效方法，頂柵器件大多是通過(guò)ALD工藝過(guò)量生長(zhǎng)柵介質(zhì)從而覆蓋碳管[84]或利用各種分子修飾碳管表面從而輔助ALD生長(zhǎng)[19]而制造的。這不可避免地增大了柵介質(zhì)厚度或引入了低k介質(zhì)層，從而降低了實(shí)際柵電容和柵控能力。雙柵結(jié)構(gòu)可看作背柵和頂柵的結(jié)合，理論柵電容和柵控效率進(jìn)一步增大的同時(shí)，同樣存在頂柵介質(zhì)生長(zhǎng)工藝的問(wèn)題。而環(huán)柵結(jié)構(gòu)則是工藝難度最大、柵效率最高的理想結(jié)構(gòu)，其難點(diǎn)不僅在于如何在碳管表面共形生長(zhǎng)均勻的柵介質(zhì)，還對(duì)碳管排列的方向性提出很高要求，目前僅在單管上有所展示[85，86]，且文獻(xiàn)[85]所用工藝難以降低柵介質(zhì)厚度和EOT，文獻(xiàn)[86]的NO2預(yù)處理方法只適用于氧化鋁，且由于界面陷阱等因素影響無(wú)法得到理想的亞閾值擺幅，綜合來(lái)看都沒(méi)有展現(xiàn)環(huán)柵結(jié)構(gòu)的潛在優(yōu)勢(shì)。因此，目前碳管柵結(jié)構(gòu)的研究還處于頂柵階段，只有在頂柵工藝上有所突破，才能進(jìn)一步考慮更復(fù)雜的雙柵或環(huán)柵工藝。

3.3.2柵介質(zhì)的材料選擇和生長(zhǎng)工藝

碳納米管介質(zhì)層的材料選擇和生長(zhǎng)方法首先需要考慮其用途，其主要用途有三類：鈍化保護(hù)、靜電摻雜和CMOS柵極介質(zhì)層。鈍化保護(hù)在背柵器件和N型器件中較為常見(jiàn)，通過(guò)在碳管表面制備一層PMMA或氧化鋁等隔離介質(zhì)，可有效減少空氣水氧等雜質(zhì)吸附，降低器件回滯和低頻噪聲[83，87]，提高金半接觸的可靠性[76]。靜電摻雜在上一小節(jié)已經(jīng)討論過(guò)，主要用來(lái)實(shí)現(xiàn)N型碳納米管器件?；陟o電摻雜的N型器件雖然在性能上遠(yuǎn)差于低功金屬接觸的N型器件[72-75]，但其揭示了氧化物柵介質(zhì)中固定電荷對(duì)載流子輸運(yùn)的作用機(jī)理，對(duì)碳納米管器件的設(shè)計(jì)優(yōu)化具有一定參考意義。碳納米管介質(zhì)材料最主要的用途則是CMOS器件的柵極介質(zhì)層，需要綜合考慮器件的靜電柵控、柵極漏電流、抗擊穿特性和界面態(tài)等關(guān)鍵指標(biāo)，其材料選擇應(yīng)主要關(guān)注材料的介電常數(shù)、禁帶寬度和缺陷類型及密度，其生長(zhǎng)方法應(yīng)解決碳管sp2雜化的惰性表面難以形核這一難點(diǎn)問(wèn)題[6，88]。學(xué)界嘗試過(guò)的碳管器件柵介質(zhì)材料種類較多，其中比較可靠的有：ALD工藝的氧化鉿[13，63，89]、氧化鋯[84]、氧化鑭[90]和金屬熱氧化工藝的氧化釔[91-93]。其中氧化鉿、氧化鋯、氧化鑭的主要優(yōu)勢(shì)為相對(duì)介電常數(shù)較高，分別可達(dá)18、25、27[13，63，84，89，90]，但均未解決在碳管惰性表面形核和均勻生長(zhǎng)的問(wèn)題。由于金屬釔與碳管的浸潤(rùn)性較好，熱氧化后能形成包覆率較高的薄層氧化釔，但氧化釔的相對(duì)介電常數(shù)理論值僅為16、實(shí)際值一般僅為12左右[91-93]。并且考慮到金屬成膜過(guò)程在亞5nm尺度下島狀生長(zhǎng)帶來(lái)的本征波動(dòng)性，該工藝可能會(huì)在深亞微米尺寸的碳管器件中造成較大的均一性問(wèn)題。原則上講，在器件設(shè)計(jì)中需要權(quán)衡不同指標(biāo)如柵電容和柵極漏電流等，柵介質(zhì)材料往往難以同時(shí)兼顧大介電常數(shù)和大帶隙等性質(zhì)，因此選擇柵介質(zhì)材料時(shí)應(yīng)綜合考慮生長(zhǎng)工藝是否成熟、與溝道材料是否適配等因素而非某單一指標(biāo)。對(duì)于碳管器件而言，考慮到其特殊惰性表面，工業(yè)界主流的高k柵介質(zhì)工藝基本都無(wú)法直接使用，因此學(xué)界曾嘗試過(guò)包括DNA修飾、無(wú)定型碳種子層、化學(xué)基團(tuán)鍵合等多種表面修飾方法以提供形核中心[19，88，94]，再配合成熟的ALD工藝實(shí)現(xiàn)超薄柵介質(zhì)。但這些表面修飾工藝的問(wèn)題在于難以控制工藝均一性和可靠性，從而不具備大規(guī)模集成電路應(yīng)用的潛力。化學(xué)修飾工藝中各種分子基團(tuán)與碳管表面鍵合后還會(huì)造成碳管的結(jié)構(gòu)缺陷和晶格畸變，甚至?xí)肷⑸渲行模瑥亩鴵p害了碳管的高遷移率優(yōu)勢(shì)[94]。目前來(lái)看，較可行的技術(shù)路線是采用超薄中間介質(zhì)層+ALD高k介質(zhì)層的柵堆垛結(jié)構(gòu)[6，93，95，96]。在這一結(jié)構(gòu)中，中間介質(zhì)層應(yīng)能夠在碳管和基底表面均勻生長(zhǎng)，并具有盡可能高的k值、帶隙和較低的缺陷密度，從而在輔助高k柵介質(zhì)生長(zhǎng)、拓寬其材料選擇范圍的同時(shí)不退化柵電容、漏電流和界面態(tài)等關(guān)鍵指標(biāo)。對(duì)于具體的中間介質(zhì)層材料，有研究利用氧化鋁[6]、氧化釔[93]、氧化鈦[96]搭配其他高k介質(zhì)層實(shí)現(xiàn)頂柵結(jié)構(gòu)，這些工藝方案均只考慮了以上所述中間介質(zhì)層要求的某個(gè)或某幾個(gè)方面，如氧化釔具有相對(duì)較少的界面缺陷但不具備超薄尺度下的共形生長(zhǎng)特性[93]，氧化鋁具有大帶隙和超薄尺度的均勻性潛力但缺陷態(tài)密度尚無(wú)正面數(shù)據(jù)[6]。就中間介質(zhì)層的材料選擇而言，目前并沒(méi)有成熟或具有明顯優(yōu)勢(shì)的方案，僅能根據(jù)一些基本特性來(lái)做初步篩選。在中間介質(zhì)層的生長(zhǎng)工藝方面，較容易實(shí)現(xiàn)的是PVD法沉積金屬薄層再原位氧化的工藝[93，96]，但由于PVD法在亞納米甚至納米尺度下并不具備較好的膜厚均勻性，這一方法很難實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格的共形生長(zhǎng)?；贏LD工藝的中間介質(zhì)層則依然面臨碳管惰性表面難以與常用前驅(qū)體反應(yīng)的特點(diǎn)，只能針對(duì)性地開(kāi)發(fā)特殊工藝，如引入可控的CVD成分來(lái)實(shí)現(xiàn)中間介質(zhì)層的均勻成膜[6]，但這一工藝目前還不夠成熟，既沒(méi)有明確的顯微學(xué)證據(jù)表明中間介質(zhì)層具備共形特點(diǎn)和亞納米尺度的均勻性，也沒(méi)有電學(xué)表征結(jié)果討論其界面態(tài)情況。中間介質(zhì)層工藝依然存在較多挑戰(zhàn)，需要開(kāi)展系統(tǒng)研究以確定適用于碳納米管器件的具體材料和生長(zhǎng)方法。

3.3.3 界面態(tài)與隨機(jī)固定電荷

任何一種介質(zhì)材料都不可避免的存在一些由結(jié)構(gòu)缺陷或雜質(zhì)造成的電荷陷阱，當(dāng)這些電荷陷阱與半導(dǎo)體溝道或柵金屬之間存在電學(xué)交互時(shí)，根據(jù)其陷阱能級(jí)與半導(dǎo)體或柵金屬費(fèi)米能級(jí)的相對(duì)位置，電荷陷阱會(huì)成為動(dòng)態(tài)的陷阱中心或隨機(jī)分布的固定電荷，也被統(tǒng)稱為柵氧電荷。如何評(píng)估、減少甚至消除這些柵氧電荷對(duì)MOS器件的負(fù)面影響，或如何利用柵氧電荷來(lái)設(shè)計(jì)器件，是半導(dǎo)體領(lǐng)域的一大基礎(chǔ)和重點(diǎn)問(wèn)題。對(duì)于碳納米管CMOS器件，較大密度且難以控制的柵氧電荷主要造成以下問(wèn)題：可動(dòng)離子電荷與柵氧體陷阱電荷主導(dǎo)的器件回滯、界面態(tài)主導(dǎo)的遷移率下降與柵控退化、隨機(jī)固定電荷主導(dǎo)的閾值電壓波動(dòng)。其中，可動(dòng)離子電荷與柵氧體陷阱電荷問(wèn)題是場(chǎng)效應(yīng)晶體管的共性問(wèn)題，在硅基和三五族化合物等器件體系中有較多表征和解決方法，本文不加贅述。而碳管器件的界面態(tài)問(wèn)題則與硅基等傳統(tǒng)半導(dǎo)體器件有所不同，并具有較大影響。具體來(lái)說(shuō)，在碳納米管晶體管中無(wú)論是采用傳統(tǒng)的單層高k柵介質(zhì)工藝，還是中間介質(zhì)層加高k柵介質(zhì)的柵堆垛工藝，都存在界面態(tài)密度較高(可達(dá)1012~1013/(cm2·eV))、界面處柵介質(zhì)形貌波動(dòng)大等問(wèn)題，從而引入較大的界面態(tài)寄生電容和較多的散射位點(diǎn)，使器件的飽和電流和跨導(dǎo)、SS和閾值電壓均發(fā)生退化或漂移，從而降低了器件性能、均一性和可靠性。在此方面，學(xué)界早期研究主要集中于氧化硅背柵界面上水氧吸附的影響：水氧分子在碳管表面既會(huì)物理吸附和形成可動(dòng)離子，也會(huì)形成氧化還原對(duì)并在碳管帶隙中引入缺陷態(tài)[97，98];此外水分子與氧化硅的懸掛鍵還會(huì)形成多層Si-OHsilanol基團(tuán)從而提供慢態(tài)電荷陷阱，這些都會(huì)造成器件的較大回滯[98]?；陧敄沤Y(jié)構(gòu)的界面分析則進(jìn)展寥寥，既缺少可靠且適用于碳管器件的電荷陷阱表征模型，更不用說(shuō)準(zhǔn)確的界面態(tài)定量提取結(jié)果。有研究者基于時(shí)域脈沖測(cè)試法和簡(jiǎn)單的數(shù)理模型，粗略提取并對(duì)比了頂柵碳管器件的界面態(tài)量級(jí)，認(rèn)為在1013/(cm2·eV)，比其他MOS界面體系如Si/SiO2、Si/High-k、Ge/GeO2、SiC/SiO2的常見(jiàn)界面態(tài)提取數(shù)值均高出一到兩個(gè)量級(jí)[99，100](圖8)。與體材料半導(dǎo)體MOS結(jié)構(gòu)不同的是，由于碳管表面是sp2雜化的無(wú)懸掛鍵晶格結(jié)構(gòu)，如此高密度的界面態(tài)不太可能來(lái)源于碳管本身，而更可能來(lái)源于碳管制備過(guò)程中的有機(jī)殘留、柵介質(zhì)的懸掛鍵以及結(jié)構(gòu)缺陷如氧化鉿中的氧空位等“外部”機(jī)制。碳管與柵介質(zhì)通過(guò)范德華力非價(jià)鍵結(jié)合的特點(diǎn)雖然降低了界面散射、保護(hù)了碳管的高遷移率，但也間接導(dǎo)致界面態(tài)密度較高，在電應(yīng)力作用下還會(huì)促使缺陷由溝道界面處向柵金屬方向增殖，從而導(dǎo)致柵介質(zhì)退化，因此如何處理柵界面是碳管柵結(jié)構(gòu)制備的關(guān)鍵問(wèn)題。針對(duì)界面態(tài)問(wèn)題，最直接的處理思路是通過(guò)組合氣體退火等工藝鈍化界面處的柵氧陷阱;其次，我們還可以使用某種缺陷態(tài)密度較低的中間介質(zhì)層將碳管與high-k電學(xué)隔離開(kāi)來(lái)，以降低柵氧陷阱與碳管的電學(xué)交互強(qiáng)度。然而，現(xiàn)有研究幾乎都是基于單根碳管或網(wǎng)絡(luò)狀碳管薄膜開(kāi)展的，其半導(dǎo)體層的本征電容過(guò)小或表面勢(shì)波動(dòng)較大，難以測(cè)量準(zhǔn)確可靠的CV數(shù)據(jù)，因此阻礙了對(duì)碳管器件界面態(tài)的系統(tǒng)研究。碳管CMOS器件的理想材料是定向排列的高純高密度碳管陣列，而基于陣列碳管的界面態(tài)表征和工藝優(yōu)化尚無(wú)文獻(xiàn)報(bào)道，其主要困難包括但不限于制備理想的陣列碳管、設(shè)計(jì)合適的MOS測(cè)量結(jié)構(gòu)、建立碳管界面態(tài)表征模型以及開(kāi)發(fā)界面質(zhì)量較好的中間介質(zhì)層工藝。

隨機(jī)固定電荷是指在柵氧內(nèi)部、界面處甚至氧化物基底上的正負(fù)電荷，基本不受柵壓調(diào)控，也不和溝道發(fā)生動(dòng)態(tài)電學(xué)交互。隨機(jī)固定電荷在半導(dǎo)體MOS結(jié)構(gòu)中會(huì)屏蔽柵電場(chǎng)、使閾值電壓漂移，從而造成器件和電路均一性問(wèn)題，需要盡量降低其密度大小、控制其分布范圍。碳納米管的超薄體特性使其容易被柵極調(diào)控的同時(shí)，也更容易受到哪怕極少數(shù)界面電荷的電學(xué)影響[81]，因此隨機(jī)固定電荷對(duì)碳管器件的負(fù)面影響相比硅基器件更大。具體來(lái)說(shuō)，隨機(jī)固定電荷在碳納米管晶體管中的作用機(jī)理主要包含兩方面：1.對(duì)單根碳管器件而言，隨機(jī)固定電荷會(huì)屏蔽柵電場(chǎng)、改變閾值電壓，從而導(dǎo)致亞閾值擺幅增大以及器件間的開(kāi)態(tài)電流波動(dòng)[101](圖8);2.對(duì)陣列碳管器件而言，隨機(jī)固定電荷還會(huì)造成多根碳管之間的閾值電壓波動(dòng)，處于同一溝道內(nèi)的多根碳管無(wú)法同時(shí)開(kāi)啟或關(guān)閉從而進(jìn)一步退化亞閾值擺幅，但開(kāi)態(tài)電流的波動(dòng)范圍由于平均效應(yīng)會(huì)有所減小[102，103]。因此，為了降低器件電學(xué)性能的波動(dòng)，除了要降低隨機(jī)固定電荷的密度至5×1011cm?2以下(硅MOS常見(jiàn)值)，我們還需要使隨機(jī)固定電荷的分布盡可能均勻，從而減少管間閾值電壓波動(dòng)?？梢园l(fā)現(xiàn)，碳納米管晶體管的均一性問(wèn)題不僅要考慮器件間的材料和工藝波動(dòng)，還需要考慮單個(gè)器件內(nèi)的電學(xué)缺陷波動(dòng)，因此對(duì)器件制造工藝提出了更高的要求。

3.3.4柵金屬閾值電壓調(diào)控技術(shù)

最后，在閾值電壓調(diào)控方面，由于碳納米管具有完美的晶格結(jié)構(gòu)，其理想的(a)c(c)c(b)cCMOS技術(shù)是無(wú)摻雜的，因此也就無(wú)法像傳統(tǒng)半導(dǎo)體器件一樣通過(guò)改變溝道摻雜濃度來(lái)調(diào)控閾值電壓，只能通過(guò)柵金屬功函數(shù)調(diào)制與柵氧固定電荷調(diào)制來(lái)獲得所需要的閾值電壓。然而上文提到，柵氧固定電荷的隨機(jī)性會(huì)導(dǎo)致多根碳納米管間閾值電壓的波動(dòng)，從而導(dǎo)致亞閾值擺幅的退化，因此在不能精確控制固定電荷分布和密度的情況下，該方法并不適合短溝道碳管器件。與此同時(shí)有工作表明，通過(guò)使用不同功函數(shù)的柵金屬如Pd和Ti，可以改變1V左右的閾值電壓[17]，從而根據(jù)需要實(shí)現(xiàn)耗盡型或增強(qiáng)型晶體管(圖9)。然而，大規(guī)模集成電路應(yīng)用需要對(duì)閾值電壓進(jìn)行精確乃至連續(xù)調(diào)制，有限的柵金屬種類只能提供分立化的功函數(shù)選擇，不能滿足實(shí)際器件設(shè)計(jì)的需要。北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)針對(duì)性地開(kāi)發(fā)了閾值電壓連續(xù)可調(diào)的柵金屬技術(shù)，通過(guò)兩種功函數(shù)差異較大的柵金屬堆疊如Pd和Sc，精確調(diào)整底層金屬的厚度就可以實(shí)現(xiàn)-1.0~0.2V的閾值電壓連續(xù)變化范圍[104]，基本可以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景下的碳納米管晶體管設(shè)計(jì)需求(圖9)。為了進(jìn)一步提高柵金屬的穩(wěn)定性和工藝可控性，碳管器件還可以借鑒HKMG工藝，采用硅基兼容的合金柵極實(shí)現(xiàn)特定的功函數(shù)和閾值電壓。

本節(jié)深入討論了碳納米管晶體管柵極工程所涉及的各個(gè)重點(diǎn)和難點(diǎn)問(wèn)題，針(a)(b)對(duì)柵結(jié)構(gòu)的靜電設(shè)計(jì)、柵介質(zhì)材料生長(zhǎng)工藝、界面態(tài)問(wèn)題、隨機(jī)固定電荷造成的電學(xué)波動(dòng)問(wèn)題以及閾值電壓調(diào)控問(wèn)題總結(jié)了碳管器件柵結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有進(jìn)展、技術(shù)挑戰(zhàn)和下一步研究方向。

3.4 碳納米管晶體管的雙極性抑制和漏電流控制

前文提到，理想的高性能碳納米管CMOS技術(shù)是無(wú)摻雜的，利用不同功函數(shù)的金屬與碳納米管的導(dǎo)帶或價(jià)帶對(duì)齊，從而實(shí)現(xiàn)了載流子注入勢(shì)壘近似為零的肖特基晶體管。然而，肖特基晶體管本身是一種雙極性器件，金屬源漏電極可以同時(shí)提供電子和空穴，在晶體管關(guān)態(tài)下施加足夠大的源漏偏置電壓，與器件極性相反的載流子就能隧穿過(guò)漏端勢(shì)壘(碳管器件中該勢(shì)壘高度約等于帶隙、勢(shì)壘寬度受關(guān)態(tài)柵電場(chǎng)調(diào)制而減小)，從而導(dǎo)致隨源漏偏置電壓增大而增大的泄漏電流以及SS退化，此現(xiàn)象又被稱作柵致漏電流(Gate-InducedDrainleakage，GIDL)[105]。此外，由于半導(dǎo)體性碳納米管的有效質(zhì)量(0.01~0.1m0)和帶隙(0.2~0.9eV)與傳統(tǒng)半導(dǎo)體如硅的有效質(zhì)量(>0.15m0)和帶隙(1.12eV)相比較小[106]，其載流子更容易發(fā)生隧穿效應(yīng)，GIDL效應(yīng)更加突出。在實(shí)際電路應(yīng)用中，較大的關(guān)態(tài)漏電流會(huì)造成電路靜態(tài)功耗(Stand-bypowerconsumption)的急劇上升，根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景不同，業(yè)界要求關(guān)態(tài)漏電流不高于100nA/10nA/1nA每微米，分別對(duì)應(yīng)High/Standard/LowPerformance(HP/SP/LP)應(yīng)用。因此，如何抑制碳納米管晶體管的雙極性、降低關(guān)態(tài)泄漏電流，就成為了碳基電子技術(shù)的另一重要問(wèn)題。

2015年，北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)了碳納米管反饋柵晶體管，通過(guò)兩個(gè)分立的柵極來(lái)控制溝道的不同部位，一個(gè)是靠近源端、尺寸較大的主控制柵，另一個(gè)是尺寸較小、與漏端電極短路的反饋柵(圖10)。在關(guān)態(tài)下，反饋柵由于直接和漏端相連，會(huì)增大勢(shì)壘寬度，從而抑制隧穿電流。在開(kāi)態(tài)下，反饋柵會(huì)引入一個(gè)高度小于源端注入能級(jí)的小勢(shì)壘，略微降低開(kāi)態(tài)電流。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，對(duì)于碳管直徑為1.5nm、溝道長(zhǎng)度為500nm的頂柵器件，使用反饋柵結(jié)構(gòu)可以顯著抑制GIDL效應(yīng)，獲得最低0.1pA的關(guān)態(tài)電流、8個(gè)量級(jí)的開(kāi)關(guān)比以及75mV/dec的亞閾值擺幅[105]，同時(shí)不明顯影響其開(kāi)態(tài)性能。2019年，北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)進(jìn)一步在溝道長(zhǎng)度小于400nm的深亞微米尺寸器件中驗(yàn)證了反饋柵結(jié)構(gòu)的有效性，統(tǒng)計(jì)分析表明：即使受到短溝道效應(yīng)和源漏電場(chǎng)變強(qiáng)的負(fù)面影響，反饋柵結(jié)構(gòu)仍然可以在2V工作電壓下維持4個(gè)量級(jí)的開(kāi)關(guān)比以及小于200mV/dec的亞閾值擺幅、在1.5V工作電壓下滿足超大規(guī)模集成電路SP應(yīng)用場(chǎng)景的要求[107]。

2020年，北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)采用更符合集成電路設(shè)計(jì)原則的工藝，提出了一種增強(qiáng)型CMOS(StrengthenedCMOS，SCMOS)邏輯門技術(shù)(圖10)。在該技術(shù)中，晶體管柵極由兩個(gè)分立柵組成：源端的主柵G1和漏端的控制柵G2。通過(guò)將CMOS邏輯門中所有PMOS上拉晶體管的G2連接到地(GND)、將所有NMOS下拉晶體管的G2連接到電源(VDD)，使得開(kāi)態(tài)下施加于主柵和控制柵的電壓相同、關(guān)態(tài)下施加于兩者的電壓相反，因此該技術(shù)在顯著抑制雙極性的同時(shí)，幾乎不影響器件的開(kāi)態(tài)性能[108]?；赟CMOS結(jié)構(gòu)的多種邏輯門都能夠表現(xiàn)出嚴(yán)格的軌對(duì)軌輸出、降低三個(gè)量級(jí)的靜態(tài)功耗以及更快的工作速度[108]?？梢哉f(shuō)SCMOS邏輯架構(gòu)是一種適用于任何窄帶隙半導(dǎo)體的技術(shù)，能同時(shí)提供高性能和低功耗表現(xiàn)。

以上基于分立柵的漏端工程雖然能夠抑制碳納米管晶體管的雙極性，但不可避免地犧牲了器件尺寸縮減的空間和靈活性，而這在先進(jìn)節(jié)點(diǎn)大規(guī)模集成電路應(yīng)用中是不可接受的。因此，我們需要在盡量不引入額外柵電極的情況下，設(shè)計(jì)一種更有利于尺寸縮減的漏端結(jié)構(gòu)來(lái)抑制雙極性。2021年，北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)基于已有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和TCAD仿真，系統(tǒng)研究了器件結(jié)構(gòu)優(yōu)化對(duì)關(guān)態(tài)漏電流的影響機(jī)理，定量分析了柵介質(zhì)厚度、柵側(cè)墻厚度和介電常數(shù)、埋氧層厚度和介電常數(shù)等結(jié)構(gòu)參數(shù)，最終設(shè)計(jì)出了具有L型側(cè)墻的碳納米管晶體管(圖10)。該器件結(jié)構(gòu)抑制雙極性的機(jī)理與前文提到的反饋柵結(jié)構(gòu)類似，都是增強(qiáng)了漏端對(duì)碳管能帶的靜電控制能力。但不同的是，該結(jié)構(gòu)與自對(duì)準(zhǔn)工藝兼容，更有利于器件的尺寸縮減和大規(guī)模集成。仿真結(jié)果表明，該結(jié)構(gòu)相比于反饋柵結(jié)構(gòu)在相同柵長(zhǎng)下具有更好的關(guān)態(tài)表現(xiàn)，并且能在最短50nm柵長(zhǎng)的器件中保持6nA/μm的關(guān)態(tài)漏電流、85mV/dec的SS和六個(gè)量級(jí)的開(kāi)關(guān)比[106]。該工作對(duì)器件結(jié)構(gòu)的綜合優(yōu)化不僅使碳管器件的關(guān)態(tài)性能得以大幅提升，也為其他小帶隙半導(dǎo)體的器件設(shè)計(jì)提供了有效參考。

綜上所述， 我們可以發(fā)現(xiàn)通過(guò)漏端工程和結(jié)構(gòu)優(yōu)化， 碳納米管器件的雙極性可被有效抑制， 關(guān)態(tài)漏電流有望降低至業(yè)界要求范圍(1~100 nA/μm)(表 1) 。當(dāng)然， 為了盡可能降低器件設(shè)計(jì)難度和工藝難度， 我們還可以選擇相對(duì)小直徑、大帶隙的碳納米管陣列作為溝道材料來(lái)抑制關(guān)態(tài)漏電流。

3.5 碳納米管器件的集成工藝挑戰(zhàn)

碳納米管雖然具有較強(qiáng)的材料本征優(yōu)勢(shì)， 也有研究者展示了高性能的碳納米管原型器件， 但這些工作都是在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中完成的， 某些器件制造工藝并不符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、不適用于實(shí)用化生產(chǎn)， 這不僅僅是實(shí)驗(yàn)室設(shè)備工藝能力有限的問(wèn)題，更和碳納米管材料本身的物理化學(xué)性質(zhì)相關(guān)， 存在一些可加工性上的基礎(chǔ)問(wèn)題。例如， 在微納加工過(guò)程中的圖形轉(zhuǎn)移工藝方面， 實(shí)驗(yàn)室展示的碳納米管晶體管大多使用剝離( lift-off)工藝， 而剝離工藝僅適用于微米級(jí)或亞微米級(jí)的圖形尺寸， 在深亞微米節(jié)點(diǎn)中并不具備大規(guī)?？蓴U(kuò)展性。雖然有工作針對(duì)性地發(fā)展了基于濕法刻蝕的碳管薄膜晶體管制造工藝[109]， 但濕法刻蝕是一種各向同性工藝，其圖形尺寸可控性較差， 同樣只能用于大尺寸、中低性能器件的制造。與之相對(duì)的是， 小尺寸、高性能的碳納米管 CMOS 大規(guī)模集成必須使用干法刻蝕工藝， 然而干法刻蝕工藝通過(guò)物理刻蝕過(guò)程來(lái)實(shí)現(xiàn)高度各向異性和精確的尺寸控制。等離子體的物理轟擊有可能對(duì)碳納米管造成晶格損傷， 因此干法刻蝕工藝難以直接應(yīng)用于碳管器件的制造， 必須合理設(shè)計(jì)刻蝕停止層、精確控制刻蝕速率， 或者使用業(yè)界先進(jìn)的原子層刻蝕(ALE)工藝。碳納米管 CMOS 的干法刻蝕工藝所面臨的困難其實(shí)反映了一種碳納米管可加工性方面的基礎(chǔ)問(wèn)題：碳納米管材料是一層不可再生的、納米級(jí)的半導(dǎo)體薄膜，任何一道加工工藝甚至晶圓轉(zhuǎn)移過(guò)程都有可能污染或損傷碳納米管， 且這種污染或損傷有時(shí)是不可逆的。無(wú)論是超大規(guī)模集成電路還是分立器件應(yīng)用， 都涉及較多的工藝步驟， 因此碳基集成工藝必須引入一個(gè)人造犧牲層(如覆蓋一層包覆性較好且容易去除的介質(zhì)材料) ， 犧牲層能在易產(chǎn)生污染或損傷的工藝中隔離保護(hù)碳納米管， 從而降低工藝難度、提高器件可靠性和良率。除了以上問(wèn)題， 碳納米管器件還存在其他集成工藝挑戰(zhàn)， 如碳管與絕緣基底的粘附力不強(qiáng)可能導(dǎo)致薄膜沉積過(guò)程中碳管發(fā)生位移或 CMP 工藝中的碳管滑動(dòng)問(wèn)題等等。在碳基電子技術(shù)的實(shí)用化和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中， 我們需要結(jié)合碳納米管的各種物理化學(xué)性質(zhì)來(lái)思考集成工藝的適配設(shè)計(jì)， 這需要研究機(jī)構(gòu)與產(chǎn)業(yè)界合作完成。

3.6 碳納米管晶體管的尺寸縮減與性能提升

上文提到碳納米管具有較強(qiáng)的電子學(xué)本征材料優(yōu)勢(shì)， 包括載流子速度快、超薄體柵控效率高等， 與此同時(shí)也存在較多問(wèn)題與挑戰(zhàn)， 如 N 型接觸質(zhì)量較低、柵介質(zhì)生長(zhǎng)難度大等。那么碳納米管晶體管究竟能否表現(xiàn)出超越傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料的潛力、并成為延續(xù)摩爾定律的有力候選者， 就成了學(xué)界和業(yè)界十分關(guān)注的問(wèn)題。因此， 為了實(shí)驗(yàn)證明碳納米管晶體管的性能優(yōu)勢(shì)和尺寸縮減潛力， 研究者們做了大量努力， 得到了較為突出的結(jié)果， 本節(jié)將進(jìn)行簡(jiǎn)要回顧與討論。2004 年， 斯坦福大學(xué)戴宏杰等人制造的 P 型碳納米管晶體管就已經(jīng)在 50 nm柵長(zhǎng)下得到了 25 μA 的飽和電流、 30 μS 的峰值跨導(dǎo)、 110 mV/dec 的亞閾值擺幅以及室溫下 0.5G0 的開(kāi)態(tài)電導(dǎo)[12]， 基本實(shí)現(xiàn)了單管器件開(kāi)態(tài)電流的理論極限。而N 型器件則在很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)無(wú)法得到與 P 型器件性能匹配的結(jié)果， 直到 2007年北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)以 Sc 作為接觸金屬實(shí)現(xiàn)了無(wú)勢(shì)壘的 N 型歐姆接觸[11]， 并于 2008年制造出了在 120 nm 柵長(zhǎng)下飽和電流為 25 μA、 峰值跨導(dǎo)為 25 μS、 亞閾值擺幅為 100 mV/dec 以及室溫下開(kāi)態(tài)電導(dǎo)高達(dá) 0.32G0 的高性能 N 型器件， 其門延時(shí)低至 0.86 ps， 首次展示了碳納米管晶體管的太赫茲工作速度潛力[13]。2010 年， 時(shí)任IBM 沃森實(shí)驗(yàn)室研究員的 Franklin 等人進(jìn)一步縮減 P 型碳管器件的溝道長(zhǎng)度， 在15 nm 溝道長(zhǎng)度下獲得了高達(dá) 0.7G0 的開(kāi)態(tài)電導(dǎo)和 40 μS 的峰值跨導(dǎo)[110]， 再次刷新了單管器件的性能極限。2012 年， Franklin 等人甚至進(jìn)一步在亞 10 nm 柵長(zhǎng)的 P型碳管器件中實(shí)現(xiàn)了 94 mV/dec 的亞閾值擺幅[82]， 展示了碳納米管晶體管對(duì)短溝道效應(yīng)的驚人抗性以及優(yōu)異的尺寸微縮潛力。后來(lái)， Cao Qing 等人還利用末端接觸技術(shù)和 ALD 生長(zhǎng)的氧化鋁柵介質(zhì)實(shí)現(xiàn)了接觸長(zhǎng)度和溝道長(zhǎng)度均為 10 nm 左右、整體尺寸相當(dāng)于硅基 5 nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)的單管 P 型器件， 0.5 V 工作電壓下的歸一化開(kāi)態(tài)電流可達(dá) 700~900 μA/μm、 亞閾值擺幅約 85 mV/dec、 關(guān)態(tài)漏電流僅為 4 nA，整體性能優(yōu)勢(shì)達(dá)到硅基先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的兩倍、同時(shí)能耗僅為一半左右[5]。2017 年， 經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的探索和努力， 北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)終于展示了碳納米管單管器件的性能極限和尺寸微縮極限[19] (圖 11)：在 10 nm 柵長(zhǎng)和 0.4 V 工作電壓下，P 型器件開(kāi)態(tài)電流為 17.5 μA、N 型器件開(kāi)態(tài)電流為 20 μA(開(kāi)態(tài)電導(dǎo)均超過(guò) 0.5 G0，N 型跨導(dǎo)更是高達(dá) 55 μS) ， 歸一化性能表現(xiàn)超過(guò)了同尺寸硅基器件;在 5 nm 柵長(zhǎng)下， 以石墨烯作為接觸電極的 P 型碳管器件仍能表現(xiàn)出良好的柵控能力(亞閾值擺幅低至 73 mV/dec) ， 其本征門延時(shí)(43 fs)相對(duì)于硅基 10 nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)降低了兩倍以上且接近二進(jìn)制開(kāi)關(guān)的理論極限(40 fs) ， 其能量延遲積相比于硅基同尺寸器件降低了約一個(gè)量級(jí)。該工作充分證明了碳納米管晶體管在高性能、低功耗以及尺寸微縮方面的巨大優(yōu)勢(shì)， 以及超越硅基半導(dǎo)體技術(shù)的巨大潛力， 是碳基電子技術(shù)發(fā)展歷程中的重要里程碑。

4碳基電子技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展方向

碳基電子技術(shù)經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期發(fā)展， 不僅在材料制備和基礎(chǔ)性器件物理方面取得了系統(tǒng)且深入的成果， 還在多個(gè)領(lǐng)域中表現(xiàn)出了巨大的應(yīng)用潛力， 包括數(shù)字計(jì)算、射頻電子、傳感探測(cè)、三維集成電路和特種芯片， 以及顯示驅(qū)動(dòng)、光電器件等方向， 接下來(lái)本文將討論碳基電子技術(shù)在幾個(gè)重要方向上的進(jìn)展、挑戰(zhàn)與發(fā)展方向。

4.1 碳基數(shù)字集成電路

碳納米管具有各種優(yōu)異的電學(xué)性質(zhì)， 包括前文提到的載流子遷移率/注入速度大、超薄體自然長(zhǎng)度小等等， 其低維特性還能幫助實(shí)現(xiàn)無(wú)摻雜 CMOS 技術(shù)， 大幅簡(jiǎn)化了 CMOS 制造工藝。這些材料和工藝優(yōu)勢(shì)使碳納米管晶體管在開(kāi)態(tài)性能、柵控效率和功耗以及微縮能力等方面都有望滿足數(shù)字集成電路未來(lái)先進(jìn)節(jié)點(diǎn)的要求。碳納米管數(shù)字集成電路(下文簡(jiǎn)稱碳基數(shù)字電路)作為碳基電子技術(shù)的技術(shù)價(jià)值和商業(yè)價(jià)值最大的一個(gè)應(yīng)用方向， 其近年發(fā)展主要包括四個(gè)方面：高性能電路探索、低功耗器件創(chuàng)新、完備的數(shù)字邏輯功能演示和大規(guī)模的集成系統(tǒng)研究。

在碳基數(shù)字電路的早期研究中， 電路的工作頻率都比較低， 僅為kHz量級(jí)[111]，這主要是受到材料不理想、器件結(jié)構(gòu)優(yōu)化程度較低以及測(cè)量系統(tǒng)寄生較大等因素限制， 并不能展現(xiàn)碳納米管在數(shù)字計(jì)算方面的高性能潛力， 因此實(shí)現(xiàn)碳基高速數(shù)字電路就成了一大挑戰(zhàn)。為了便于對(duì)比， 晶體管的單級(jí)門延時(shí)和環(huán)振電路的振蕩頻率常被用來(lái)衡量新材料新器件在數(shù)字電路工作速度方面的潛力大小。因此， 眾多研究者就碳納米管環(huán)振電路速度開(kāi)展了不懈探索：2006 年， IBM 的 Z. H. Chen等人在單管上構(gòu)建了 CMOS 五級(jí)環(huán)振， 獲得了 52 MHz 的最高振蕩頻率， 換算為單級(jí)門延時(shí)僅 1.9 ns[112]。2017 年， 北京大學(xué)楊英君等人在碳管薄膜上構(gòu)建了基于雙極性器件的五級(jí)環(huán)振， 獲得了 17.4 MHz 的振蕩頻率和 5.6 ns 的單級(jí)門延時(shí)[113]。2017 年， IBM 的 S.-J. Han 等人在陣列碳納米管上構(gòu)建了柵長(zhǎng)為 100 nm 的 CMOS五級(jí)環(huán)振， 獲得了 282 MHz 的最高振蕩頻率以及 355 ps 的單級(jí)門延時(shí)[114]， 大幅刷新了碳基數(shù)字電路工作速度的記錄， 然而距離硅基同尺寸電路依然存在較大差距。因此在 2018 年， 北京大學(xué)仲東來(lái)等人通過(guò)深入的器件結(jié)構(gòu)優(yōu)化和工藝優(yōu)化，基于網(wǎng)絡(luò)狀碳納米管薄膜和 115 nm 柵長(zhǎng)的 Air-gap PMOS 實(shí)現(xiàn)了振蕩頻率高達(dá)5.54 GHz 的五級(jí)環(huán)振， 單級(jí)門延時(shí)只有 18 ps， 是屆時(shí)低維材料電路中的最優(yōu)值，也接近了同尺寸硅基器件的性能水平[52]。2020 年， 基于前文提到的 DLSA 法自組裝碳納米管陣列材料， 北京大學(xué)劉力俊等人在 165 nm 柵長(zhǎng)的 PMOS 五級(jí)環(huán)振電路中得到了 8.06 GHz 的最高振蕩頻率， 單級(jí)門延時(shí)僅為 12.4 ps， 不僅以更低的工作電壓再次刷新了低維材料電路的最快速度， 還首次超過(guò)了同尺寸硅基商用器件，充分證明了碳納米管在高性能數(shù)字電路應(yīng)用上的潛力[34]。然而， 基于理想碳納米管陣列材料的電路速度上限并不止于此， 2021 年北京大學(xué)林艷霞等人通過(guò)器件結(jié)構(gòu)工藝的進(jìn)一步優(yōu)化實(shí)現(xiàn)了增強(qiáng)型晶體管和多級(jí)環(huán)振電路， 得到了 11.3 ps 的單級(jí)門延時(shí)[17]?？梢云诖氖?， 隨著碳納米管材料和器件工藝的進(jìn)步， 其在數(shù)字計(jì)算電路方面的高速高性能潛力還將進(jìn)一步被挖掘證明。

相比于性能方面的要求， 業(yè)界還越來(lái)越重視數(shù)字集成電路的功耗問(wèn)題， 這是因?yàn)殡S著晶體管尺寸依循 Dennard 定律進(jìn)行持續(xù)微縮， 晶體管的工作電壓下降空間越來(lái)越小， 基本無(wú)法低于 0.6 V， 因此動(dòng)態(tài)功耗無(wú)法進(jìn)一步降低[115]。并且在工作電壓縮減時(shí)， 閾值電壓的調(diào)控范圍也變得更加有限：不降低閾值電壓會(huì)犧牲晶體管開(kāi)態(tài)電流， 降低閾值電壓則會(huì)增大關(guān)態(tài)漏電流從而增大靜態(tài)功耗。這些問(wèn)題的根本原因在于， 經(jīng)典 MOSFET 的器件結(jié)構(gòu)和輸運(yùn)機(jī)理決定了其亞閾值擺幅存在一個(gè)極限值， 即由載流子分布熱帶尾造成的玻爾茲曼極限：室溫下器件亞閾值區(qū)每關(guān)閉或開(kāi)啟一個(gè)量級(jí)的電流至少需要約 60 mV。因此， 為了解決數(shù)字電路集成度增加時(shí)急劇上升的功耗問(wèn)題， 我們必須設(shè)計(jì)出能打破玻爾茲曼極限的亞 60超低功耗晶體管。然而， 兩種主流的亞 60 器件：隧穿晶體管和負(fù)電容晶體管都存在本征缺陷， 前者開(kāi)態(tài)電流小且工藝復(fù)雜， 后者工作機(jī)理尚存在爭(zhēng)議且無(wú)法展示嚴(yán)謹(jǐn)?shù)钠骷Y(jié)果[116， 117]。因此， 北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)在 2018 年提出了一種全新的亞 60器件：狄拉克冷源晶體管(Dirac Source FET or Cold Source FET， DSFET or CSFET)[30] (圖 12) 。DSFET 在不改變溝道輸運(yùn)機(jī)理的情況下， 通過(guò)源端工程將傳統(tǒng)晶體管接觸電極態(tài)密度隨費(fèi)米能級(jí)上升而增大的分布特性逆轉(zhuǎn)， 從而在不改變載流子分布函數(shù)的情況下降低熱帶尾的影響。要想實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)， 我們需要使用態(tài)密度在柵壓開(kāi)啟過(guò)程中隨費(fèi)米能級(jí)上升而下降的材料作為源端電極， 即“冷”源材料。DSFET 使用 N 型摻雜石墨烯與本征石墨烯形成的同質(zhì)結(jié)作為 P 型器件的源端接觸， 利用兩段石墨烯的能帶對(duì)齊實(shí)現(xiàn)上述態(tài)密度分布翻轉(zhuǎn)， 利用石墨烯同質(zhì)結(jié)內(nèi)部穿透系數(shù)接近 1 的克萊恩隧穿以及石墨烯與碳管間勢(shì)壘較小的穿透性接觸實(shí)現(xiàn)載流子的高效注入， 從而突破了玻爾茲曼極限， 得到了室溫下平均值為 40mV/dec 的亞閾值擺幅， 且優(yōu)異的亞 60 特性能跨越四個(gè)電流量級(jí)[30]。此外， DSFET還能在工作電壓降低近 30%的情況下(0.7 V 降低至 0.5 V) ， 提供與硅基 14 nm節(jié)點(diǎn)相似的歸一化開(kāi)態(tài)電流， 動(dòng)態(tài)功耗卻僅為其 1/3[30]?；陬愃频脑?， N 型DSFET 也可以被制造出來(lái)， 其最低亞閾值擺幅為 37 mV/dec， 證明了冷源晶體管物理機(jī)制的正確性以及用其構(gòu)建超低功耗 CMOS 的可能性[118]。因此， DSFET 是一種同時(shí)具備高性能和超低功耗潛力的新型亞 60 器件， 受到了學(xué)界和業(yè)界的高度重視， 未來(lái)或許能以此發(fā)展出碳基超低功耗 CMOS 集成電路 。

經(jīng)過(guò)對(duì)碳納米管晶體管基本結(jié)構(gòu)和工作原理的先期探索后， 人們得以制造出回滯較小、驅(qū)動(dòng)電流較大的頂柵器件， 從而開(kāi)啟了碳基數(shù)字電路的系統(tǒng)性研究，其研究?jī)?nèi)容除了以上提到的電路速度和低功耗器件外， 還包括另外兩方面：邏輯功能演示和大規(guī)模集成系統(tǒng)。

在提高數(shù)字電路集成度之前， 首先需要證明碳基數(shù)字電路的可行性， 即驗(yàn)證其邏輯功能的完備性和正確性。研究人員進(jìn)行了積極嘗試， 但基于單根碳管制造的早期碳基數(shù)字電路存在明顯的不足， 如產(chǎn)率較低、邏輯輸出電平損失較多、功能過(guò)于簡(jiǎn)單且性能不高等等[112， 119， 120]， 這主要是由于材料和器件工藝不夠完善。因此， 北京大學(xué)陳冰炎和楊英君等人采用更加成熟的網(wǎng)絡(luò)狀高純碳納米管薄膜和無(wú)摻雜自對(duì)準(zhǔn) CMOS 技術(shù)， 在 2016 到 2017 年分別基于 PMOS 和 CMOS 實(shí)現(xiàn)了良率 100%的非門(反相器)、與門、或非門等基礎(chǔ)邏輯門單元， 以及移位器、 D觸發(fā)器、 T 型鎖存器等復(fù)雜時(shí)序邏輯單元， 甚至 83 階環(huán)振電路、 2 位乘法器和 4位全加器等高性能中規(guī)模數(shù)字集成電路， 并且都實(shí)現(xiàn)了軌對(duì)軌的正確邏輯輸出，(a) (b)(c) (d)基本證明了碳基數(shù)字邏輯集成電路的原理可行性[50， 51] (圖 13) 。

在碳基數(shù)字電路的集成度和系統(tǒng)架構(gòu)方面， MIT 的 Max Shulaker 等人做出了一系列成果。2013 年， 他們展示了首臺(tái)碳納米管計(jì)算機(jī)原型系統(tǒng)， 用 178 個(gè)碳納米管晶體管構(gòu)建核心計(jì)算單元， 以 1 kHz 主頻在一個(gè)數(shù)據(jù)比特上運(yùn)行單條指令，其電路性能和系統(tǒng)完整度都比較低[121]。于是， 該團(tuán)隊(duì)在碳納米管器件結(jié)構(gòu)、電路設(shè)計(jì)和加工工藝方面進(jìn)行了長(zhǎng)期努力， 提出了選擇性去除缺陷碳管的 RINSE 技術(shù)、靜電摻雜與金屬界面工程實(shí)現(xiàn) CMOS 的 MIXED 技術(shù)、冗余電路設(shè)計(jì)以克服金屬性碳管的 DREAM 技術(shù)， 最終于 2019 年發(fā)布了全球首款碳納米管 16 位通用型微處理器 RV16X-NANO[122]。該處理器具有超過(guò) 14000 個(gè)碳管 CMOS， 運(yùn)行 32位 RISC-V 標(biāo)準(zhǔn)指令集， 可以執(zhí)行指令獲取、解碼、寄存、計(jì)算以及數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等(c)(b)(d)(a)操作， 其在碳基數(shù)字集成電路領(lǐng)域的歷史意義可以對(duì)標(biāo)英特爾公司于 1985 年推出的硅基 80386 處理器芯片[122]。但是， 該芯片的晶體管數(shù)目?jī)H為 57600 個(gè)、工作頻率僅為 10 kHz、數(shù)據(jù)總線僅為 16 位， 與英特爾 80386 芯片的 27.5 萬(wàn)個(gè)晶體管、12.5 Mhz 的時(shí)鐘頻率、 32 位總線 4 GB 尋址內(nèi)存相比， 在電路集成度和性能上都存在明顯差距[122]。其集成度與性能差距的根本原因不在于加工平臺(tái)限制或缺乏其他工業(yè)支持， 而在于其碳納米管材料純度及排列方式(網(wǎng)絡(luò)狀低純度碳管薄膜)都不夠理想、其器件結(jié)構(gòu)(底柵結(jié)構(gòu))和工藝(摻雜式 CMOS)都性能較差。綜合來(lái)看， 該工作雖然展示了碳管 CMOS 在系統(tǒng)集成方面的潛力， 但由于其材料、器件和電路性能的低下， 暫時(shí)還不具備產(chǎn)業(yè)化意義。

前文提到， 北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)已經(jīng)制備出了半導(dǎo)體性純度滿足大規(guī)模集成電路應(yīng)用(> 99.9999%)、 排列方向性較好且密度可控(100 ~ 200 根/μm) 的晶圓級(jí)碳納米管陣列材料[34]， 這一工作為碳基數(shù)字電路的發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)的材料基礎(chǔ)， 也基本解決了其最大的挑戰(zhàn)。因此， 碳基數(shù)字電路的下一步發(fā)展需要重點(diǎn)解決前文提到的其他碳基電子技術(shù)基礎(chǔ)性問(wèn)題與挑戰(zhàn)， 繼續(xù)優(yōu)化材料質(zhì)量、完善加工工藝、優(yōu)化器件性能， 最終實(shí)現(xiàn)高速或低功耗碳納米管 CMOS 的超大規(guī)模系統(tǒng)集成。

4.2 碳基射頻電子學(xué)

未來(lái)第六代通信技術(shù)要求射頻器件和電路的數(shù)據(jù)吞吐量、傳輸速度和集成度具有全方位、大幅度的提升， 并實(shí)現(xiàn)射頻/數(shù)字單片混合集成芯片。在主流的射頻電子技術(shù)中， 硅基 CMOS 晶體管雖然具有集成度優(yōu)勢(shì)， 但高頻下噪聲較大， 難以滿足射頻電路的需要， 化合物半導(dǎo)體射頻器件性能較好， 但其工藝復(fù)雜且集成度較低， 兩者都難以滿足射頻電子領(lǐng)域未來(lái)的商業(yè)需求。因此， 我們需要開(kāi)發(fā)基于新原理、新材料、新器件結(jié)構(gòu)的射頻電子技術(shù)， 從而推動(dòng)通信技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展。

碳納米管在射頻電子學(xué)領(lǐng)域有很多優(yōu)勢(shì)：在材料方面， 碳納米管的載流子遷移率和飽和速度較高、本征電容較小， 且熱穩(wěn)定性和導(dǎo)熱能力較強(qiáng)， 因此適合用來(lái)制造高速射頻晶體管， 其理論速度上限預(yù)測(cè)可達(dá)太赫茲范圍[123-125];碳納米管的準(zhǔn)一維結(jié)構(gòu)限制了其態(tài)密度和量子電容大小， 因此在晶體管線性區(qū)相比傳統(tǒng)半導(dǎo)體而言理論上有更好的線性度[126， 127]， 十分有利于模擬電路;碳納米管的能帶對(duì)稱， 因此有利于實(shí)現(xiàn)射頻 CMOS 電路和雙極性射頻器件。在工藝方面， 碳納米管晶體管類似 SOI 架構(gòu)， 能兼容多種絕緣襯底如石英、金剛石甚至玻璃， 因此在具有較小襯底寄生效應(yīng)的同時(shí)， 還能根據(jù)不同射頻應(yīng)用需求來(lái)定制化襯底。在系統(tǒng)集成方面， 碳管射頻器件與碳管數(shù)字 CMOS 集成工藝高度兼容， 有希望實(shí)現(xiàn)片上多功能系統(tǒng)(SoC) 。在功率方面， 碳納米管雖然帶隙較小， 看似不適合做射頻功率器件， 但其熱導(dǎo)率較高(大管徑可超過(guò) 2000 Wm-1K-1[128]) ， 用以評(píng)估材料在頻率和功率方面綜合性能的約翰森因子(JFOM)也高達(dá) 14.3×1012 ~ 19.1×1012 Vs-1(至少是硅的 30 倍) [129]， 因此功率指標(biāo)在理論上不會(huì)限制碳納米管射頻晶體管的應(yīng)用。以上優(yōu)勢(shì)說(shuō)明了碳納米管射頻電子學(xué)的應(yīng)用潛力， 本小節(jié)將簡(jiǎn)要回顧碳納米管射頻器件的發(fā)展歷程、現(xiàn)存問(wèn)題以及未來(lái)發(fā)展目標(biāo)。

為了深入分析碳基射頻電子學(xué)的發(fā)展驅(qū)動(dòng)力和阻礙， 我們可以選取兩個(gè)核心指標(biāo)來(lái)梳理碳管射頻器件的發(fā)展脈絡(luò)：電流增益截止頻率 fT 和功率增益截止頻率fMAX 。2006 年 Bethoux 等人基于電泳法制備的網(wǎng)絡(luò)狀碳納米管薄膜制造了本征 fT為 8 GHz 的碳管射頻晶體管[130];2007 年 Le Louarn 等人提高了電泳法制備的碳管密度并得到了 30 GHz 的本征 fT [131];2009 年 Nougaret 等人通過(guò)進(jìn)一步提高半導(dǎo)體性純度到 99%， 成功地把本征 fT 提高到了 80 GHz[132]。2007 年伊利諾伊大學(xué)厄巴納-香檳分校的 John A。Rogers 課題組基于 CVD 法生長(zhǎng)的半導(dǎo)體性順排碳管制造了非本征 fT 為 0.42 GHz 的碳管射頻晶體管[36];2009 年他們通過(guò)提高碳管密度到 5 根/μm， 將非本征 fT 提高到了 5 GHz[133]。可以發(fā)現(xiàn)， 碳納米管材料的進(jìn)步促進(jìn)了早期碳管射頻器件性能的快速提升， 無(wú)論是本征還是非本征電流截止頻率均提高了約一個(gè)量級(jí)， 因此我們需要高密度高純度的碳納米管材料來(lái)為器件提供足夠的開(kāi)態(tài)電流并降低寄生電阻和寄生電容。2012 年 Steiner 等人采用埋柵結(jié)構(gòu)和電泳法碳納米管陣列制造出的短溝道射頻器件非本征 fT 和 fMAX 分別達(dá)到 7 GHz和 15 GHz[134]。從 2012 年開(kāi)始， 南加州大學(xué)的 Chongwu Zhou 課題組利用寄生電容更小、靜電柵電容更大的 T 型柵結(jié)構(gòu)來(lái)制造碳納米管射頻晶體管， 分別在網(wǎng)絡(luò)碳管薄膜上得到了 23 GHz 和 10 GHz 的非本征 fT 和 fMAX [135]、在 CVD 法生長(zhǎng)的陣列碳管薄膜上得到了 25 GHz 和 9 GHz 的非本征 fT 和 fMAX [136]、在溶液法制備的高純度乃至手性富集的碳管薄膜上得到了 23 GHz 和 20 GHz 的非本征 fT 和fMAX [137， 138]。2016 年， 該課題組曹宇等人采用 T 型柵結(jié)構(gòu)和 FESA 法制備得到的高純碳管陣列， 并將溝道長(zhǎng)度進(jìn)一步縮減到了100 nm以下， 從而制造出了非本征fT 和 fMAX 均為 40 GHz、最高本征 fT 和 fMAX 分別為 100 GHz 和 70 GHz 的射頻晶體管，是屆時(shí)性能最高的碳納米管射頻器件[139]?？梢园l(fā)現(xiàn)， 器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化和尺寸微縮主要促進(jìn)了碳納米管射頻晶體管實(shí)際性能的第二次提升。因此， 同時(shí)結(jié)合兩種驅(qū)動(dòng)力：以溶液法提純的高密度網(wǎng)絡(luò)狀碳管薄膜為材料基礎(chǔ)、以小于 100 nm的非自對(duì)準(zhǔn)多柵結(jié)構(gòu)為器件基礎(chǔ)， 北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)仲東來(lái)等人在 2019 年展示了峰值跨導(dǎo)高達(dá) 0.38 mS/μm、 最高非本征 fT 和 fMAX 分別為 103 GHz 和 107 GHz、本征 fT 和 fMAX 分別為 281 GHz 和 190 GHz 的高性能碳管射頻晶體管[140]， 這是屆時(shí)碳納米管射頻器件的最高水平。在此基礎(chǔ)上，周簡(jiǎn)碩等人還通過(guò)進(jìn)一步優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)、降低柵極寄生， 將實(shí)測(cè) fMAX 提升到了 90 GHz， 展示了 K 波段射頻放大器的應(yīng)用潛力， 首次在器件綜合性能上比肩三五族射頻晶體管， 初步證明了碳基射頻電子學(xué)的商業(yè)化價(jià)值[141]。然而， 即使是百GHz的截止頻率， 也遠(yuǎn)低于碳納米管在速度方面的理論預(yù)測(cè)上限(THz 范疇) 。從材料角度看， 這主要是因?yàn)榫W(wǎng)絡(luò)狀碳管薄膜的隨機(jī)取向性導(dǎo)致了溝道內(nèi)的實(shí)際碳管長(zhǎng)度隨機(jī)分布， 從而增大了柵電容、減小了跨導(dǎo)。針對(duì)于此， 2019 年 Rutherglen 等人以 FESA 法為基礎(chǔ)開(kāi)發(fā)了 ZEBRA技術(shù)， 制備了純度大于 99.9%、 密度為 40-60 根/μm 的陣列碳管并以此制造了射頻晶體管;然而， 其最高非本征 fT 和 fMAX 均僅為 106 GHz， 相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)碳管薄膜器件并沒(méi)有顯著優(yōu)勢(shì)[142]。這主要是因?yàn)槠潢嚵刑脊苤苽浞椒ㄟ€不夠成熟， 碳管的半導(dǎo)體性純度和密度都不能達(dá)到要求。因此， 2021 年北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)石惠文等人從射頻電子學(xué)對(duì)碳管材料的要求(兼容不同襯底、合適密度超順排、缺陷少、散射位點(diǎn)少、遷移率高)出發(fā)， 設(shè)計(jì)并優(yōu)化了新的陣列碳管材料制備工藝[20]。該工藝用烷基鏈較少、氮原子和氫鍵作用位點(diǎn)較多的 PCO-Bpy 分子作為碳管分散劑， 經(jīng)兩次分散提純和雙液相自組裝沉積工藝， 在不同絕緣襯底的四寸晶圓上實(shí)現(xiàn)了高純度(> 99.99%)、管徑分布集中(d = 1.51 ± 0.18 nm)、超順排和高密度(100~120根/μm) 的碳管陣列， 其載流子遷移率最高達(dá) 1580 cm2V-1s-1[20]?；谏漕l專用的陣列碳管材料和器件結(jié)構(gòu)上的寄生優(yōu)化， 該團(tuán)隊(duì)在低損耗的石英絕緣襯底上制造了高性能射頻晶體管， 其在 50 nm 柵長(zhǎng)下的非本征 fT 和 fMAX 分別達(dá)到 186 GHz和 158 GHz， 是所有基于納米材料的晶體管的最高值[20] (圖 14) 。為了驗(yàn)證碳納米管的頻率潛力， 該團(tuán)隊(duì)還在高阻硅襯底上制造了開(kāi)態(tài)電流高達(dá) 1.9 mA/μm、跨導(dǎo)高達(dá) 1.4 mS/μm(Vds = -0.9 V)的射頻晶體管， 其 50 nm 柵長(zhǎng)器件的本征 fT 和fMAX 分別為 540 GHz 和 306 GHz， 這是碳基射頻器件首次進(jìn)入到太赫茲頻段， 證明了碳基射頻電子學(xué)在第六代通訊技術(shù)中的應(yīng)用潛力[20] (圖 14) 。雖然本征截止頻率的優(yōu)異表現(xiàn)只能說(shuō)明某種材料的速度上限， 并不一定能完全轉(zhuǎn)化為器件的實(shí)際性能， 但太赫茲頻段的候選材料極其稀少， 碳納米管的出現(xiàn)無(wú)疑具有重要意義。通過(guò)進(jìn)一步的材料優(yōu)化如提高密度、減少聚合物殘留， 和工藝優(yōu)化如發(fā)展碳管中間介質(zhì)層技術(shù)來(lái)優(yōu)化柵界面， 以及器件結(jié)構(gòu)的改進(jìn)如采用 T 型柵等結(jié)構(gòu)降低寄生效應(yīng)， 碳納米管射頻晶體管有希望將其實(shí)際工作頻率提高到 1 THz， 成為繼InP HEMT 和 InP HBT 之后的又一種太赫茲射頻器件， 并且有可能成為第一種太赫茲 CMOS 射頻器件。

除了工作頻率的本征優(yōu)勢(shì)， 碳納米管在射頻放大器中的應(yīng)用潛力也逐漸凸顯。射頻器件最基本的應(yīng)用就是信號(hào)放大， 因此射頻放大器的性能表現(xiàn)能直接反映碳基射頻電子學(xué)的應(yīng)用潛力。然而， 射頻放大器除了頻率指標(biāo)， 還注重放大功率和線性度指標(biāo)， 在后兩者上， 碳管射頻器件的早期研究表現(xiàn)較差。具體來(lái)說(shuō)， 在功率方面， 大部分碳管放大器的增益小于 10 dB 或?yàn)樨?fù)值[135， 136]， 有效正增益最高的是 2019 年 Marsh 等人在 1.15 GHz 頻率下實(shí)現(xiàn)的 12 dB[143]， 綜合來(lái)看仍難以滿(a) (b) (c)(d) (e) (f)足 5G 通信的要求。在線性度方面， 由于相似信號(hào)的高階諧波尤其是三階諧波會(huì)對(duì)基準(zhǔn)信號(hào)造成很大干擾， 因此我們?cè)诮邮蘸吞幚硇盘?hào)時(shí)， 需要保持放大過(guò)程的線性度以防止信號(hào)失真。有兩個(gè)指標(biāo)常用來(lái)衡量線性度：1 dB 增益壓縮點(diǎn)和三階交調(diào)點(diǎn)， 兩者值越大對(duì)應(yīng)的線性范圍就越大， 放大器抗干擾能力就越強(qiáng)。然而，長(zhǎng)期以來(lái)碳管放大器在這兩個(gè)指標(biāo)上也表現(xiàn)平平[135， 136， 143]， 無(wú)法展現(xiàn)其小量子電容帶來(lái)的本征線性度潛力。2021 年， 北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)石惠文和周簡(jiǎn)碩等人采用多指柵結(jié)構(gòu)提升碳管器件的負(fù)載驅(qū)動(dòng)能力， 基于高純度網(wǎng)絡(luò)狀碳管薄膜在 18 GHz(K 波段)下獲得了 11 dB 的功率放大增益以及 15 dBm 的三階交調(diào)點(diǎn)[141];基于高純高密度陣列碳管在18 GHz下更是能實(shí)現(xiàn)高達(dá)23.2 dB的功率放大增益以及大于 9 dBm 的 1 dB 壓縮點(diǎn)輸出功率和 31.2 dBm 的三階交調(diào)特性(對(duì)應(yīng)的 OIP3/Pdc為 19.7 dB) [20] (圖 14) ， 各項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)均遠(yuǎn)高于之前美國(guó)南加州大學(xué)報(bào)道的屆時(shí)最好的碳基放大器， 甚至與某些商業(yè)產(chǎn)品(如 HMC6981)相比也具有一定優(yōu)勢(shì)，且成本大幅降低。

此外， 在射頻集成系統(tǒng)方面， 也有工作展示了基于碳納米管晶體管的射頻/數(shù)字混合電路：2019 年， 北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)劉力俊等人以高性能碳納米管 CMOS 器件為基礎(chǔ)， 將 VCO 溫度傳感器、碳基 MOS 電路、鋰離子電池和天線集成在一個(gè)柔性基底上， 展示了具有傳感、信號(hào)處理、信號(hào)無(wú)線傳輸和電源的完整物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點(diǎn)系統(tǒng)， 且具備超高的能量效率和超低的動(dòng)態(tài)功耗， 以及 0.4~1.5 GHz 范圍的可調(diào)諧頻率， 覆蓋了 NB IoT 或 GSM 應(yīng)用場(chǎng)景所需的頻帶， 展示了碳基數(shù)字/模擬混合集成系統(tǒng)在物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的應(yīng)用潛力[144]。

綜合來(lái)說(shuō)， 碳基射頻電子學(xué)具備完整的理論基礎(chǔ)和器件工藝基礎(chǔ)， 已經(jīng)展現(xiàn)了其較強(qiáng)的本征優(yōu)勢(shì)和一定的實(shí)際優(yōu)勢(shì)， 接下來(lái)需要重點(diǎn)優(yōu)化金屬-碳納米管接觸界面和柵介質(zhì)-碳納米管柵界面， 提高載流子注入效率并減少界面散射， 從而繼續(xù)提高碳納米管射頻晶體管的綜合性能指標(biāo)， 并在功率放大器、高線性度模擬電路和數(shù)字/模擬混合電路等應(yīng)用中展現(xiàn)優(yōu)勢(shì)。

4.3 碳基集成傳感平臺(tái)

碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管還可以用于制造晶圓級(jí)別均一和可靠的傳感平臺(tái)， 實(shí)現(xiàn)包括生物傳感、氣體傳感、光探測(cè)等復(fù)合功能的集成化和小型化， 并展現(xiàn)出優(yōu)異的靈敏度和精度。本節(jié)將主要介紹碳基傳感平臺(tái)的工作原理、性能特點(diǎn)、最新進(jìn)展以及技術(shù)難點(diǎn)。

在本世紀(jì)處， 研究人員開(kāi)始關(guān)注基于納米線或納米管的 FET 型傳感器， 這主要是因?yàn)闇?zhǔn)一維溝道材料相比于體材料具有更高的比表面積， 并且對(duì)外界的靜電勢(shì)變化更加敏感， 因此具有超高靈敏度檢測(cè)的潛力。單壁半導(dǎo)體性碳納米管具有天然的小尺寸和優(yōu)良的電學(xué)性能， 并且能和眾多種類的檢測(cè)分子如氫氣、生物蛋白等發(fā)生范德華吸附、共價(jià)交聯(lián)等耦合作用， 因此受到了廣泛關(guān)注[145， 146]。經(jīng)過(guò)早期探索， 人們歸納出了四種碳納米管 FET 型傳感器的基本工作原理[147]：1.待檢測(cè)分子被直接或間接吸附于碳管表面， 從而造成電荷轉(zhuǎn)移或靜電摻雜， 使溝道能帶移動(dòng)、傳感器 I-V 曲線平移。這種靜電摻雜機(jī)制較為常見(jiàn)， 且能造成明顯的溝道電勢(shì)變化， 因此適用于高靈敏傳感;2.待檢測(cè)分子吸附在金屬電極接觸上并調(diào)節(jié)局域功函數(shù)， 從而改變肖特基勢(shì)壘的高度， 由于空穴和電子的勢(shì)壘高度變化方向相反， 因此傳感器 I-V 曲線 P 支和 N 支的電導(dǎo)和電流變化相反。但這種金屬功函數(shù)調(diào)制效應(yīng)較弱， 需要較大的電極接觸面積， 靈敏度較低;3.待檢測(cè)分子覆蓋在溝道表面， 形成一層等效的低 k 介質(zhì)從而降低串聯(lián)柵電容和柵控效率， 從而影響 I-V 特性。但實(shí)際上低濃度的檢測(cè)分子不會(huì)緊密覆蓋大面積溝道， 因此該機(jī)制大部分情況下可以忽略;4.待檢測(cè)分子在碳管表面引入散射位點(diǎn)， 表面散射會(huì)降低有效載流子遷移率。但當(dāng)電導(dǎo)主要由肖特基勢(shì)壘主導(dǎo)時(shí)， 載流子遷移率的略微下降也可以忽略。以上工作原理分析對(duì)傳感機(jī)制設(shè)計(jì)具有重要意義：待檢測(cè)分子對(duì)碳管FET電學(xué)性能的影響可能存在競(jìng)爭(zhēng)機(jī)制， 要想構(gòu)建超靈敏通用型傳感平臺(tái)，就必須合理設(shè)計(jì)器件結(jié)構(gòu)以排除干擾。除了傳感機(jī)制， 我們還需要考慮溝道材料的選擇：?jiǎn)胃脊茈m然對(duì)溝道的靜電擾動(dòng)最敏感， 本征靈敏度最高甚至可響應(yīng)單分子， 但其顯然不適合大規(guī)模器件制造;陣列碳管理想情況下能提供更好的電學(xué)性能， 但實(shí)際制備工藝復(fù)雜， 且成本較高， 目前不適合傳感器應(yīng)用;網(wǎng)絡(luò)狀碳管薄膜存在較多碳管-碳管結(jié)， 其直接功能化難度較高， 但均一性好、制備工藝簡(jiǎn)單成熟， 相比之下更適合作為溝道材料。

基于以上對(duì)傳感機(jī)制和溝道材料的分析， 我們可以發(fā)現(xiàn)， 目前最合適的器件結(jié)構(gòu)方案為：基于網(wǎng)絡(luò)狀碳管薄膜和接觸鈍化的浮柵型 FET。這種結(jié)構(gòu)使用超薄柵介質(zhì)隔離碳管溝道， 然后在柵介質(zhì)表面進(jìn)行功能化， 這樣既不會(huì)對(duì)傳感機(jī)制和靈敏度造成明顯的負(fù)面影響， 又能解決網(wǎng)絡(luò)碳管不易于直接功能化的問(wèn)題， 還能提供較高的電學(xué)基線穩(wěn)定性和長(zhǎng)期使用可靠性?；谠摻Y(jié)構(gòu)， 北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)發(fā)展出了系統(tǒng)的超靈敏傳感平臺(tái)， 在生物傳感、氣體傳感等應(yīng)用方向中取得了突出成果， 下面進(jìn)行簡(jiǎn)單介紹。

在生物傳感方面， 梁玉琪和肖夢(mèng)夢(mèng)等人以氧化釔作為浮柵介質(zhì)層、以光刻膠鈍化隔離接觸電極、以納米金顆粒修飾柵介質(zhì)表面， 并將識(shí)別探針?lè)肿尤缁パa(bǔ)DNA 鏈通過(guò)巰基化等方式組裝在金納米顆粒上， 制造出了晶圓級(jí)碳管 FET 型生物傳感器陣列[148] (圖 15) 。該傳感器去除了生物分子對(duì)接觸電極的功函數(shù)調(diào)制效應(yīng)， 其工作機(jī)制完全由溝道靜電摻雜效應(yīng)主導(dǎo)， 因此具有較強(qiáng)的器件可靠性和信號(hào)響應(yīng)強(qiáng)度。此外， 該傳感器還優(yōu)化設(shè)計(jì)了直流工作偏置點(diǎn)：采用較小的源漏偏置如 0.1 V 使 FET 工作在基準(zhǔn)電流較小的線性區(qū)， 從而增大響應(yīng)電流的相對(duì)變化量;采用不同大小的柵壓偏置使傳感器工作在穩(wěn)定傳感模式(大柵壓飽和區(qū))或高靈敏傳感模式(小偏壓亞閾值區(qū)) ， 且傳感響應(yīng)度與基準(zhǔn)器件的閾值電壓或亞閾值擺幅有關(guān)。經(jīng)過(guò)合理的偏置點(diǎn)選擇， 基準(zhǔn)器件的均一性可以有效反映到傳感響應(yīng)的均一性上來(lái)， 這保證了碳基傳感平臺(tái)的均一性優(yōu)勢(shì)?；谝陨辖Y(jié)構(gòu)優(yōu)化和偏置設(shè)計(jì)， 該傳感平臺(tái)實(shí)現(xiàn)了對(duì)特定 DNA 序列和微泡(MVs)的定量和選擇性檢測(cè)， 分別獲得了 60 aM 和 6 particles/mL 的超低檢測(cè)限(LOD) [148]， 有望取代昂貴耗時(shí)且不便攜的 PCR 檢測(cè)技術(shù)， 實(shí)現(xiàn)無(wú)標(biāo)記的(lable-free)快速生物檢測(cè)。該工作既刷新了FET型生物傳感器的檢測(cè)限記錄， 充分展現(xiàn)了碳基傳感平臺(tái)的靈敏度優(yōu)勢(shì);又實(shí)現(xiàn)了對(duì)生物信號(hào)的多功能檢測(cè)， 集成了基因篩查與癌癥診斷功能，展現(xiàn)了碳基傳感平臺(tái)的功能復(fù)合集成化優(yōu)勢(shì)。

在氣體傳感方面， 周紹元和肖夢(mèng)夢(mèng)等人同樣基于浮柵結(jié)構(gòu)， 以氧化釔或氧化鉿作為柵介質(zhì)， 以對(duì)氫氣敏感的金屬鈀納米顆粒為敏感層修飾柵介質(zhì)表面， 批量制造了碳管薄膜 FET 型氣體傳感器， 不僅獲得了較快的響應(yīng)速度(~7 s)和碳基氫氣傳感器中最高的響應(yīng)強(qiáng)度[22]， 還首次演示了氫氣的亞ppm室溫檢測(cè)， 其LOD在室溫下低至 90 ppb、 在 100 ℃時(shí)低至 5 ppb [149] (圖 15) 。該工作的重要應(yīng)用價(jià)值在于：核發(fā)電站中鈉泵常用以反應(yīng)堆的冷卻和熱循環(huán)， 而鈉泵系統(tǒng)泄漏或失效會(huì)產(chǎn)生易燃易爆的氫氣從而威脅核電安全， 因此超高速痕量氫氣檢測(cè)是核電安全的關(guān)鍵技術(shù)， 碳納米管 FET 型氫氣傳感器可探測(cè)出亞 ppm 的氫氣標(biāo)志物， 從而能夠應(yīng)對(duì)潛在的核電安全威脅。

以上進(jìn)展充分證明了碳基傳感平臺(tái)在靈敏度、功能集成度、可靠性和均一性等指標(biāo)上的優(yōu)勢(shì)， 以及碳基傳感平臺(tái)在生物檢測(cè)、核電安全監(jiān)測(cè)等應(yīng)用場(chǎng)景下的商業(yè)潛力。為了進(jìn)一步提高碳基傳感平臺(tái)的靈敏度、可靠性與通用性， 我們需要著重解決以下問(wèn)題：1. 浮柵型 FET 結(jié)構(gòu)和碳管材料的靜電敏感特性雖然提供了超高靈敏度傳感的基礎(chǔ)， 但同時(shí)也放大了低頻噪聲。低頻噪聲是傳感器或探測(cè)器中的常見(jiàn)噪聲類型， 有研究表明碳納米管的低頻噪聲本征幅值系數(shù)相比于其他半導(dǎo)體材料至少高了 3 個(gè)量級(jí)[150]， 低頻噪聲的具體大小則與器件的電壓偏置、柵界面散射位點(diǎn)密度、接觸電阻大小以及導(dǎo)電通道即碳管密度都有關(guān)系[151]， 因此需要進(jìn)行器件綜合優(yōu)化和細(xì)致的偏置設(shè)計(jì)來(lái)減小低頻噪聲、增大傳感響應(yīng)。2. 傳感應(yīng)用并不都需要極高的靈敏度， 有的應(yīng)用場(chǎng)景也對(duì)量程或分辨率有所要求， 因此碳(a) (b) (c)(d) (e) (f)管FET型傳感器需要合理設(shè)計(jì)柵介質(zhì)厚度和直流偏置點(diǎn)， 通過(guò)調(diào)節(jié)浮柵的靜電耦合強(qiáng)度、基準(zhǔn)電流大小和電流響應(yīng)放大系數(shù)來(lái)獲得不同量程和精度的傳感性能，從而滿足多種應(yīng)用需求;3. 面向產(chǎn)業(yè)化和商用化的碳管 FET 型傳感器還需要更準(zhǔn)確的標(biāo)定技術(shù)和更強(qiáng)的器件可靠性， 這需要我們?cè)趥鞲须妼W(xué)模型、器件結(jié)構(gòu)和加工工藝方面進(jìn)一步努力， 如建立準(zhǔn)確的浮柵電容模型、采用更標(biāo)準(zhǔn)的鈍化封裝技術(shù)等等。

碳基傳感平臺(tái)的未來(lái)發(fā)展一方面要進(jìn)一步提高傳感靈敏度、器件可靠性和功能多樣性， 另一方面要嘗試與信號(hào)處理電路進(jìn)行同片集成。理想情況下， 碳基傳感平臺(tái)不僅可用于各種氣體分子、生物分子乃至紅外近紅外光波的超靈敏檢測(cè)，還能通過(guò)在片的數(shù)字/模擬混合電路實(shí)現(xiàn)傳感數(shù)據(jù)的快速預(yù)處理和無(wú)線傳輸， 從而實(shí)現(xiàn)功能豐富、高能效的物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點(diǎn)系統(tǒng)。

4.4 碳基三維集成電路

隨著集成電路工藝進(jìn)入亞 10 nm 節(jié)點(diǎn)， 僅依靠晶體管尺寸縮減帶來(lái)的集成度提高越來(lái)越有限， 器件間的互連線也越來(lái)越復(fù)雜， 系統(tǒng)能效的優(yōu)化空間也越來(lái)越小， 傳統(tǒng)的系統(tǒng)架構(gòu)更是難以解決內(nèi)存墻問(wèn)題。而三維集成電路為這一困境提供了新的選擇：在不提高器件工藝難度的情況下， 通過(guò)三維堆疊多層計(jì)算電路或存儲(chǔ)電路乃至射頻傳感電路， 來(lái)提高芯片的集成度、系統(tǒng)能效和功能多樣性。然而，已有的硅基三維集成電路技術(shù)主要是利用高級(jí)封裝技術(shù)(3D System-in-Package)和垂直硅通孔技術(shù)(Through-Silicon-Via)來(lái)將多個(gè)獨(dú)立制造的電路模塊簡(jiǎn)單組合在一起， 其數(shù)據(jù)通孔密度較低， 尺寸一般在微米級(jí)， 因此數(shù)據(jù)傳輸?shù)膸捿^低，無(wú)法發(fā)揮出三維集成電路的真正潛力。硅基三維集成技術(shù)的根本性困難在于其熱預(yù)算有限：硅基器件加工溫度可高達(dá) 500 ~ 1000 攝氏度(如氮化硅側(cè)墻沉積或摻雜離子激活) ， 而后道工藝如金屬互聯(lián)的熱承受能力有限， 且前道工藝完成后為保證晶體管性能一般不允許后續(xù)加工溫度長(zhǎng)時(shí)間超過(guò) 500 攝氏度， 因此無(wú)法繼續(xù)制造第二層乃至多層電路[26]。與之相反的是， 碳納米管 CMOS 電路加工工藝所需溫度較低：溶液法制備好的碳管材料向目標(biāo)基底轉(zhuǎn)移可在室溫下完成、無(wú)摻雜CMOS 工藝不需要高溫退火來(lái)激活摻雜原子、 成膜工藝中的最高溫度也不超過(guò)300 ℃(ALD 生長(zhǎng)氧化鉿) [11， 63-65]。因此， 原則上講碳納米管 CMOS 電路既可以多層堆疊自身得到單片( Monolithic)三維集成電路， 也可以制造在硅基 CMOS電路的上方得到在片異質(zhì)集成的三維電路。需要注意的是， 工藝熱預(yù)算較低的優(yōu)勢(shì)并不是碳管獨(dú)有的， 其他半導(dǎo)體技術(shù)如低溫硅 CMOS 技術(shù)、多晶硅器件或金屬氧化物半導(dǎo)體器件也能做到低溫加工， 但這些方案要么在性能上遠(yuǎn)差于傳統(tǒng)硅基CMOS 和碳納米管器件(低溫硅技術(shù)、多晶硅) ， 要么不能制造 CMOS 器件(金屬氧化物半導(dǎo)體) ， 均無(wú)法滿足三維集成電路的基本性能要求， 甚至可能拖累底層的硅基電路[111]。因此， 綜合來(lái)看碳基 CMOS 技術(shù)是三維集成電路的最佳選擇，基于碳納米管的三維集成電路可以擁有密度更高的納米級(jí)層間數(shù)據(jù)通孔(Inter-Layer-Via， ILV) ， 將數(shù)字邏輯計(jì)算單元和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元的距離大幅拉近、降低數(shù)據(jù)傳輸耗能和耗時(shí)， 將數(shù)據(jù)傳輸帶寬大幅增加、提高計(jì)算速度， 從而顯著提高系統(tǒng)綜合能效。理論分析和仿真結(jié)果表明， 理想的碳管單片三維集成電路相比于硅基平面電路的能效增幅甚至可達(dá) 1000 倍[28]。

碳基三維集成電路的實(shí)驗(yàn)演示也有一些突出結(jié)果， 下面進(jìn)行簡(jiǎn)要回顧與分析。2014 年， 斯坦福大學(xué)的 Shulaker 等人首次展示了基于碳納米管的異質(zhì)三維集成電路， 該電路包括四層結(jié)構(gòu)：底層是硅基數(shù)字邏輯電路、中間兩層是 RRAM 存儲(chǔ)電路、頂層是碳納米管 CMOS 驅(qū)動(dòng)電路， 其集成度和性能較低， 主要著眼于原理驗(yàn)證和工藝探索[152]。2017 年， Shulaker 等人進(jìn)一步將 200 萬(wàn)個(gè)碳管晶體管、 100 多萬(wàn)個(gè) RAM 存儲(chǔ)器集成在硅電路的上方， 以高密度 ILV 作為層間互聯(lián)， 構(gòu)建了具備酒精嗅探電子鼻功能的高集成度三維電路， 初步證明了碳基異質(zhì)三維集成電路的技術(shù)可行性[111]。2018 年， Shulaker 等人還展示了完全由碳納米管 CMOS 器件和RRAM器件構(gòu)成的碳基單片三維集成系統(tǒng)， 該系統(tǒng)不僅可以準(zhǔn)確運(yùn)行分類識(shí)別算法， 和同尺寸的硅基電路相比還具有更高的系統(tǒng)能效(35 倍的能量延遲積改善)和更小的電路面積(三分之一的面積， 相當(dāng)于 3 倍的集成度提高) [153]。以上工作雖然在加工工藝和電路功能上展示了碳基三維集成電路的潛力， 但也存在碳管器件性能較低、電路速度較慢的問(wèn)題， 如文獻(xiàn)[111]中所用的碳管器件在 3 V 工作電壓下的開(kāi)態(tài)電流僅為 20 μA/μm， 遠(yuǎn)差于其他文獻(xiàn)報(bào)道的高性能碳納米管器件， 這顯然不滿足三維集成電路在電路性能方面的的發(fā)展目標(biāo)。因此， 北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)謝雨農(nóng)等人針對(duì)性地優(yōu)化了碳基三維集成工藝， 基于高純度網(wǎng)絡(luò)狀碳管薄膜全程在170 ℃內(nèi)制造了兩層高性能碳管器件[27]。其實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明， 該三維架構(gòu)工藝相比于平面架構(gòu)有著更大的布局布線靈活度以及更短的金屬互聯(lián)長(zhǎng)度， 因此可獲得38%的電路速度提升， 五階環(huán)振電路的振蕩頻率更是高達(dá) 680 MHz， 單級(jí)門延時(shí)低至 0.15 ns， 這一電學(xué)性能是所有已報(bào)道的碳基三維電路所用器件的最好結(jié)果[27]， 但仍然低于平面工藝的碳基器件性能。

盡管有著極高的系統(tǒng)能效潛力， 單片三維集成電路在立體空間中以高密度集成大量器件時(shí)會(huì)不可避免地遇到更為嚴(yán)重的原子遷移問(wèn)題和互聯(lián)散熱問(wèn)題：隨著互聯(lián)線尺寸的精細(xì)化和結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化， 高電流密度下的金屬原子會(huì)更容易離子化并偏移其位置， 從而導(dǎo)致電路短路或斷路;隨著單位體積內(nèi)互聯(lián)線(層內(nèi)和層間)密度的大幅提高， 金屬互聯(lián)大量的發(fā)熱過(guò)程和層間介質(zhì)有限的散熱過(guò)程還會(huì)導(dǎo)致電路整體和局部的溫度上升， 從而導(dǎo)致互聯(lián)乃至器件本身的失效率增加。為了抵抗原子遷移現(xiàn)象， 我們需要原子相互作用力更強(qiáng)、電流負(fù)載密度更高的互聯(lián)材料;為了解決金屬互聯(lián)的散熱問(wèn)題， 我們需要直流和交流信號(hào)傳導(dǎo)損耗更小的材料。而金屬性碳納米管同時(shí)具有相比金屬離子鍵更強(qiáng)的碳碳共價(jià)鍵、較高的電流負(fù)載能力(~ 109 A/cm2)以及長(zhǎng)程彈道輸運(yùn)性質(zhì)(微米量級(jí)) ， 因此可能更適合作為單片三維集成電路的互聯(lián)材料。為了具體考量金屬性碳管能否用作互聯(lián)材料， 我們首先需要分析其電阻特性。單根金屬性碳管的理想電阻僅由接觸電阻構(gòu)成(包含 12.9 kΩ/Nch 的基本接觸電阻和同量級(jí)的非穿透性電阻， Nch 對(duì)于單壁碳管一般為 2、對(duì)于多壁碳管則與內(nèi)外殼層直徑有關(guān)) ， 然而隨著互聯(lián)長(zhǎng)度增加， 碳管晶格振動(dòng)過(guò)程的聲子散射會(huì)額外增加溝道電阻。同時(shí)考慮接觸和溝道電阻， 任意長(zhǎng)度的碳管互聯(lián)電阻可近似表示為，

在接觸質(zhì)量一定時(shí)， 決定互聯(lián)電阻的參數(shù)顯然是電子有效平均自由程， 該參數(shù)在低溫低場(chǎng)下由聲學(xué)聲子散射決定、在高溫低場(chǎng)下需引入光學(xué)聲子散射的修正、在高場(chǎng)下主要由光學(xué)聲子散射決定， 具體數(shù)值則需要更完整精確的模型來(lái)評(píng)估。以上對(duì)單根金屬性碳管互聯(lián)電阻的分析可近似線性地拓展到管束體系， N 根碳管組成的管束總電阻約為 1/N 倍的單管電阻?；诟鼜?fù)雜的電阻模型， Naeemi 和 Meindl 等人系統(tǒng)比較了低偏壓下單壁和多壁碳納米管管束與銅互聯(lián)導(dǎo)線的電導(dǎo)率， 并得出結(jié)論：金屬性碳管在較長(zhǎng)尺度時(shí)具有最大電導(dǎo)率， 適合用作全局和半全局互聯(lián);而銅在較短尺度時(shí)具有更穩(wěn)定的高電導(dǎo)率， 適合用作局部互聯(lián)[155]。除了互聯(lián)電阻我們還需要考慮互聯(lián)的 RC 時(shí)間延遲特性， 由于碳管的準(zhǔn)一維特性， 原則上講其極小的靜電電容和量子電容與銅互聯(lián)電容相比具有一定優(yōu)勢(shì)， 相關(guān)文獻(xiàn)對(duì)碳管 RC 延遲的半定量分析同樣支持這一判斷[156， 157]， 金屬碳管互聯(lián)的準(zhǔn)確電容值和高頻傳輸特性則需要使用傳輸線模型來(lái)分析?？偟膩?lái)說(shuō)，電子輸運(yùn)通道較多、電阻和電容較小的厚多壁碳納米管管束更適合作為單片三維集成電路的互聯(lián)材料， 但均勻且密集的碳管陣列或管束并不容易在平面上制備(碳管排列技術(shù)可參考本文 3.1 節(jié)相關(guān)內(nèi)容) ， 因此目前更為可行的方案是將其用作層間通孔材料。2020年， P.-Y. Lu等人通過(guò)Fe(C5H5)2氣體的反應(yīng)在 550 ℃的低溫下生長(zhǎng)出了高質(zhì)量的金屬性碳納米管， 其電阻率約為 10-6 Ω-m、熱導(dǎo)率約為 800Wm-1K-1、楊氏模量高達(dá) 1000 Gpa、通孔深寬比大于 25 ， 將其用作三維集成電路的 TSV 可降低器件溫度約 15 ℃、 提高系統(tǒng)可靠性約 10 倍、 減小布局布線面積中約 80%的保持區(qū)域面積(keep-out zone region) ， 充分展示了金屬性碳納米管作為三維集成電路通孔材料的電學(xué)、可靠性和布局布線優(yōu)勢(shì)[158]。綜合來(lái)看， 碳基三維集成電路目前還處于初級(jí)階段， 既需要解決前文提到的碳基CMOS電路在平面工藝中的諸多問(wèn)題， 又需要優(yōu)化多層器件加工工藝以提高器件性能， 如使用更成熟的層間介質(zhì)平坦化處理工藝以降低上層器件的襯底起伏和電學(xué)性能波動(dòng)， 還需要重點(diǎn)解決三維電路的器件互聯(lián)可靠性和散熱問(wèn)題。但是，碳基三維集成電路可同時(shí)發(fā)揮碳納米管器件的高能效優(yōu)勢(shì)以及多功能形態(tài)優(yōu)勢(shì)(數(shù)字計(jì)算、射頻電子、傳感探測(cè)等) ， 有希望實(shí)現(xiàn)感存算傳一體化的高能效集成系統(tǒng)(圖 16) ， 無(wú)疑是后摩爾時(shí)代集成電路的重點(diǎn)發(fā)展方向。

4.5 碳基特種芯片技術(shù)

后摩爾時(shí)代電子學(xué)的發(fā)展除了追求更高集成度、更高能效的超大規(guī)模集成電路， 還需要發(fā)展以各種應(yīng)用需求為導(dǎo)向的功能器件和電路。而碳納米管除了優(yōu)異的電學(xué)特性， 還具有其他材料優(yōu)勢(shì)， 使其適用于某些特種電路的制造。如碳納米管具有強(qiáng)碳-碳共價(jià)鍵、納米尺度的橫截面積和低原子數(shù)等特點(diǎn)， 因此適合用來(lái)制造超強(qiáng)抗輻照電路;碳納米管可制造無(wú)摻雜 CMOS 器件， 其載流子由金屬電極注入， 不依賴于摻雜原子的熱激發(fā)， 因此適合用來(lái)制造高性能低溫電路;碳納米管還具有柔韌性好、耐彎曲和耐疲勞強(qiáng)度高的特點(diǎn)， 因此適合用來(lái)制造柔性電子器件和電路。由于其獨(dú)特的低維結(jié)構(gòu)和物理化學(xué)特性以及優(yōu)異的電學(xué)性能基礎(chǔ)， 碳納米管可用于制造多個(gè)類型的特種芯片， 本節(jié)將以碳基抗輻照電路、碳基低溫電路和碳基柔性電路這三種功能應(yīng)用為例， 說(shuō)明碳基特種芯片的優(yōu)勢(shì)與發(fā)展?jié)摿?。在抗輻照電路方面?隨著我國(guó)航天事業(yè)的高速發(fā)展， 空間站和深空探測(cè)等應(yīng)用都需要性能更好、可靠性更強(qiáng)的抗輻照芯片以避免各種太空輻射效應(yīng)對(duì)電子系統(tǒng)的干擾甚至破壞。因此， 為了構(gòu)建可用于航天航空級(jí)別的碳基抗輻照電路， 北大碳基團(tuán)隊(duì)朱馬光等人首先分析了典型的頂柵碳納米管晶體管受輻照損傷的機(jī)理， 通過(guò)對(duì)照試驗(yàn)解耦出了碳納米管溝道、柵介質(zhì)和基底這三個(gè)部位各自的輻照損傷特性， 發(fā)現(xiàn)碳納米管晶體管中最容易受輻射損傷的是基底部位， 且碳納米管溝道不僅本身抗輻照能力強(qiáng)， 還能起到保護(hù)基底的作用[159]。通過(guò)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膶?shí)驗(yàn)對(duì)比和模型擬合， 朱馬光等人給出了碳基抗輻照芯片的性能預(yù)測(cè)：在進(jìn)一步優(yōu)化的情況下， 頂柵碳管晶體管可承受 15.5 Mrad 左右的輻照量， 相比于其他半導(dǎo)體材料具備顯著優(yōu)勢(shì)[159]?；谶@一分析和預(yù)測(cè)， 為了證明碳基器件和電路的抗輻照潛力， 2020 年朱馬光和肖洪山等人針對(duì)性地采用了輻照加強(qiáng)設(shè)計(jì)， 系統(tǒng)優(yōu)化了碳管器件的結(jié)構(gòu)和材料， 制造出了抗 Co-60γ射線總劑量輻照高達(dá) 15 Mrad(Si)的可修復(fù)碳納米管器件和電路(圖 17) [23]。具體來(lái)說(shuō)， 該工作使用離子膠作為柵介質(zhì)，可有效減少輻照引入的陷阱電荷， 還使用聚酰亞胺( PI)作為襯底， 可有效消除高能輻照粒子在襯底上散射和反射所產(chǎn)生的二次輻照效應(yīng)， 即使受到大量輻照損傷而性能下降后， 器件還可以在 100 ℃下退火 10 分鐘以修復(fù)其電學(xué)性能和抗輻照性能[23]。結(jié)合超強(qiáng)抗輻照特性和低溫加熱可修復(fù)特性， 未來(lái)或許可構(gòu)建對(duì)高能輻照免疫的碳納米管晶體管和集成電路。此外， 抗輻照芯片不僅包含CMOS器件，還包含各種存儲(chǔ)器件。因此朱馬光等人還測(cè)試了 6T 碳納米管靜態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(SRAM)的抗輻照特性， 發(fā)現(xiàn)即使經(jīng)受 2.2 Mrad(Si)的 Co-60γ射線總劑量輻照后， 晶體管的閾值電壓漂移量依然小于 0.3 V， SRAM 電路仍可正常工作， 說(shuō)明碳基抗輻照芯片的綜合可靠性較高[160]。

在低溫電子學(xué)方面， 無(wú)論是航天航空還是量子計(jì)算等應(yīng)用， 都需要能在低溫甚至超低溫環(huán)境中工作的電路系統(tǒng)， 因此催生了低溫硅基 CMOS 技術(shù)。然而， 主流的低溫硅基 CMOS 技術(shù)面臨著很多挑戰(zhàn)， 如低溫下電流過(guò)沖、載流子凍結(jié)、雜質(zhì)不完全電離等負(fù)面效應(yīng)， 器件的低溫穩(wěn)定性不夠好[161]。與之相反， 基于網(wǎng)絡(luò)狀碳納米管薄膜的無(wú)摻雜 CMOS 技術(shù)在低溫電路應(yīng)用中同時(shí)具有較強(qiáng)的材料優(yōu)勢(shì)和工藝優(yōu)勢(shì)：首先， 由于網(wǎng)絡(luò)狀碳管薄膜的隨機(jī)取向特點(diǎn)， 載流子在溝道中的輸運(yùn)特性由熱輔助隧穿機(jī)制和聲子散射機(jī)制競(jìng)爭(zhēng)決定， 溫度依賴性較弱;其次， 無(wú)摻雜器件不涉及雜質(zhì)原子的電離， 載流子密度弱依賴于溫度， 器件性能的溫度穩(wěn)定性較好。因此， 碳基無(wú)摻雜 CMOS 電路非常適合在低溫下工作。2021 年， 北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)謝雨農(nóng)等人實(shí)驗(yàn)探索了碳納米管晶體管和電路在低溫下的工作特性， 并發(fā)現(xiàn)當(dāng)溫度從室溫降低至液氮蒸發(fā)溫度時(shí)， 網(wǎng)絡(luò)碳管薄膜晶體管比單管器件和主流的硅基器件都具有更好的溫度穩(wěn)定性[162]。具體來(lái)說(shuō)， 該工作首先測(cè)量了網(wǎng)絡(luò)碳管薄膜晶體管在不同溫度下的性能表現(xiàn)， 結(jié)果顯示：長(zhǎng)溝道器件和短溝道器件的性能隨溫度變化的規(guī)律并不相同， 且對(duì)于同一溝道長(zhǎng)度的器件在不同偏壓下的性能變化規(guī)律也不同。通過(guò)對(duì)數(shù)據(jù)的深入分析， 可發(fā)現(xiàn)在網(wǎng)絡(luò)碳管薄膜中存在兩種勢(shì)壘：碳管-碳管結(jié)勢(shì)壘和聚合物包裹的碳管與金屬接觸間的勢(shì)壘， 載流子需要在熱輔助下隧穿過(guò)這兩個(gè)勢(shì)壘， 因此隨著溫度降低， 隧穿過(guò)程導(dǎo)致的電阻會(huì)增加。這一變化關(guān)系與聲子散射隨溫度降低而減弱的規(guī)律截然相反， 互為競(jìng)爭(zhēng)機(jī)制， 因此在合適的偏壓和溝道長(zhǎng)度下， 碳管器件的性能表現(xiàn)可具備較高的溫度穩(wěn)定性，其電流溫度變化系數(shù)僅為-0.09%/K， 相比于單管和硅基器件下降了約一個(gè)量級(jí)[162]。為了進(jìn)一步驗(yàn)證碳基電路的低溫穩(wěn)定性， 謝雨農(nóng)等人還制造了五階環(huán)振電路， 其振蕩頻率在 300 K 至 80 K 的溫度范圍內(nèi)均高達(dá) 1.5 GHz， 且性能變化小于0.5%， 證明了基于網(wǎng)絡(luò)狀碳管薄膜的碳基集成電路在低溫電子應(yīng)用中的巨大潛力[162]。

在柔性電子學(xué)方面， 碳納米管由于其超薄體特性和機(jī)械強(qiáng)度較大的特點(diǎn)， 還適合用來(lái)制造機(jī)械可靠性較高的柔性電子器件， 并應(yīng)用于人體可穿戴電子、動(dòng)植物檢測(cè)、物聯(lián)網(wǎng)等場(chǎng)景中。如 2017 年 Ray Baughman 等人基于碳納米管紗線制造了可與衣物編織在一起的柔性傳感器， 可用于呼吸檢測(cè)[163];2018 年北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)向立等人基于網(wǎng)絡(luò)狀碳納米管薄膜制造了晶圓級(jí)別的柔性薄膜晶體管和電路，可兼容多種襯底如聚合物、人體皮膚甚至樹(shù)葉表面， 以滿足不同的柔性電子應(yīng)用需求[25]。此外， 柔性電子器件常常面臨著性能較低的問(wèn)題， 其實(shí)際商業(yè)價(jià)值飽受爭(zhēng)議。針對(duì)于此， 2018 年 IBM 沃森實(shí)驗(yàn)室 Tang Jianshi 等人基于高純度高密度的網(wǎng)絡(luò)碳管薄膜在柔性聚酰亞胺基板上制造了晶圓級(jí)的高性能碳納米管 CMOS 電路， 基于環(huán)振電路提取的單級(jí)門延時(shí)僅有 5.7 ns， 展現(xiàn)了碳基柔性電路的性能優(yōu)勢(shì)[164]。在大規(guī)模集成工藝和電路可靠性方面， 由于碳基柔性電路相對(duì)于數(shù)字邏輯集成電路具有更大的單元器件尺寸， 其平均效應(yīng)更強(qiáng)， 可以改善材料波動(dòng)和工藝波動(dòng)造成的器件均一性問(wèn)題， 因此可做一些大面積中等性能的應(yīng)用如柔性顯示驅(qū)動(dòng)。2019 年， 中科院沈陽(yáng)金屬所孫東明等人制造了包含 8000 多個(gè)碳納米管薄膜晶體管的柔性顯示驅(qū)動(dòng)電路， 其均一性較好(像素良率高達(dá) 99.93%)、性能滿足需求(開(kāi)關(guān)比可達(dá) 107) ， 展示了碳基柔性電路的均一性優(yōu)勢(shì)[165]。

碳基特種芯片還包括其他類型如透明芯片、瞬態(tài)芯片等等， 能滿足多種應(yīng)用場(chǎng)景需求， 具有巨大的發(fā)展?jié)摿?。但需要?qiáng)調(diào)的是， 無(wú)論具體的應(yīng)用特性如何，碳基特種芯片的基礎(chǔ)要求仍然是性能和集成度達(dá)標(biāo)， 因此其現(xiàn)階段發(fā)展挑戰(zhàn)仍然是前文提到的材料、器件結(jié)構(gòu)、工藝等基礎(chǔ)性問(wèn)題。

5碳基電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中的綜合性挑戰(zhàn)

基于碳納米管的碳基電子技術(shù)已經(jīng)建立了完整而深入的理論體系、制造了性能優(yōu)異的原型器件和中小規(guī)模電路、探索了多種功能器件和應(yīng)用潛力， 雖然還存在一些基礎(chǔ)性問(wèn)題有待優(yōu)化， 但已經(jīng)沒(méi)有明顯的原理性問(wèn)題阻礙其實(shí)用化和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。因此， 我們需要開(kāi)始考慮其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中的綜合性挑戰(zhàn)， 從材料、工藝、器件可靠性與均一性、電路系統(tǒng)設(shè)計(jì)以及標(biāo)準(zhǔn)化平臺(tái)五個(gè)角度分析其發(fā)展挑戰(zhàn)。

在材料上， 理想的高性能碳基電子技術(shù)材料是超高半導(dǎo)體純度、手性富集或管徑均一、密度可控、間距和長(zhǎng)度均一、定向排列的晶圓級(jí)碳納米管陣列。目前最接近這一理想材料的是北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)以溶液提純 DLSA 法制備的陣列碳管， 其各項(xiàng)指標(biāo)尤其是密度和純度相比之前的工作都有較大的進(jìn)步， 基于該材料也首次得到了真實(shí)電學(xué)性能超過(guò)硅基器件的碳納米管晶體管和電路， 為碳基電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)化奠定了基礎(chǔ)[34]。但對(duì)于性能和均一性要求最嚴(yán)格的碳基超大規(guī)模集成電路而言， 碳管陣列材料仍需進(jìn)一步優(yōu)化提高， 包括但不限于以下方面：1. 在不顯著增加成本和提純損傷的情況下， 基于“6 個(gè) 9”進(jìn)一步提高 2 ~ 3 個(gè)量級(jí)的半導(dǎo)體性純度;2. 繼續(xù)提高管徑均一性乃至實(shí)現(xiàn)手性富集， 降低能帶結(jié)構(gòu)不一致造成的本征電學(xué)波動(dòng);3.嚴(yán)格控制碳管間距， 以提高器件均一性和局部柵控質(zhì)量;4.實(shí)現(xiàn) 8 英寸乃至 12 英寸晶圓的完整覆蓋和定向排列;5.徹底去除生長(zhǎng)和溶液處理過(guò)程的金屬離子和聚合物殘留或其他雜質(zhì)， 以提供潔凈的半導(dǎo)體材料。此外， 碳管陣列還需要能在多種襯底上完成制備， 以滿足射頻、柔性電子等應(yīng)用需求?？傊?， 與單晶硅材料對(duì)于硅基電子產(chǎn)業(yè)的重要性一樣， 碳基電子技術(shù)的蓬勃發(fā)展始終離不開(kāi)材料的持續(xù)進(jìn)步。

在工藝上， 除了前文提到的金半接觸、柵極工程等工藝優(yōu)化方向， 碳基電子技術(shù)尤其是碳基集成電路應(yīng)用還需要盡可能和硅基工藝兼容。這一方面可以極大地節(jié)約半導(dǎo)體設(shè)備、廠房等“硬”成本， 另一方面也可以借鑒甚至直接使用成熟的硅基半導(dǎo)體工藝， 從而節(jié)省工藝研發(fā)所需的時(shí)間和經(jīng)濟(jì)等“軟”成本。實(shí)現(xiàn)與硅基工藝兼容的第一個(gè)障礙是碳管材料的雜質(zhì)污染問(wèn)題， 由于碳納米管在生長(zhǎng)過(guò)程中常使用金屬催化劑、在溶液法提純和自組裝過(guò)程中需要使用分散劑和多種有機(jī)溶劑， 最終制備得到的碳納米管晶圓上可能存在大量金屬離子和各種雜質(zhì)微粒，其工藝潔凈度遠(yuǎn)低于硅基半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。因此， 我們需要系統(tǒng)檢測(cè)并去除碳管材料制備中的各種雜質(zhì)來(lái)源， 以避免對(duì)半導(dǎo)體工藝設(shè)備的污染、提高器件可靠性和晶圓良率。除了潔凈度問(wèn)題， 碳基電子技術(shù)基礎(chǔ)工藝所用的特種金屬如鈀也可能不被硅基半導(dǎo)體工藝線所接受， 尤其是硅基前道工藝。這主要是因?yàn)槭褂锰胤N金屬可能污染設(shè)備腔室， 從而有可能在硅中引入深能級(jí)或淺能級(jí)陷阱。這一問(wèn)題的實(shí)際影響程度較為模糊， 一方面我們可以通過(guò)調(diào)整碳基器件的工藝順序如采用先柵工藝來(lái)滿足硅基工藝線上不同環(huán)節(jié)的限制， 另一方面硅基工藝本身在先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)中也在不斷引入各種特種金屬， 因此特種金屬工藝的兼容性問(wèn)題不會(huì)成為根本限制。碳基器件的硅基工藝兼容性可能還有其他挑戰(zhàn)， 但其基本發(fā)展路徑可以分成兩步：首先要初步提高材料潔凈度， 滿足硅基后道工藝兼容性;然后再進(jìn)一步控制材料雜質(zhì)， 調(diào)整工藝流程， 盡可能匹配硅基前道工藝。綜合來(lái)看， 碳基電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)化必然需要和硅基工藝部分兼容甚至完全兼容， 以加快其研發(fā)速度、降低各種成本。這一目標(biāo)雖然有一定難度， 但并非不可實(shí)現(xiàn)：2020 年， 麻省理工大學(xué)Shulaker等人與美國(guó)芯片代工企業(yè)SkyWater合作， 在商用的硅基芯片產(chǎn)線上制造了 8 英寸晶圓范圍內(nèi)良率可控且均一性好的碳納米管晶體管， 且碳納米管薄膜沉積過(guò)程沒(méi)有引入可檢測(cè)到的雜質(zhì)污染[166]。

在可靠性方面， 碳管晶體管的失效機(jī)制較為復(fù)雜， 如 N 型金屬電極氧化、超薄柵介質(zhì)漏電等機(jī)制造成的瞬態(tài)失效， 柵介質(zhì)界面態(tài)密度較高造成的強(qiáng) BTI 效應(yīng)(包括 PBTI 和 NBTI) ， 以及接觸電極熱效應(yīng)導(dǎo)致的性能漂移等等。提高碳管器件可靠性需要重點(diǎn)解決前文提到的碳基器件基礎(chǔ)性問(wèn)題， 并采用標(biāo)準(zhǔn)化的器件加工工藝和封裝工藝。而在均一性方面， 碳基器件的接觸電阻、開(kāi)態(tài)電流、閾值電壓和亞閾值擺幅等核心參數(shù)更是受到多個(gè)波動(dòng)源的影響， 尤其是材料波動(dòng)、工藝波動(dòng)、接觸界面和柵界面波動(dòng)。在這些因素被優(yōu)化改善到一定程度之前， 均一性問(wèn)題將是限制大規(guī)模碳基集成電路正常工作的核心因素。隨著研究人員的持續(xù)努力， 材料和基本的器件結(jié)構(gòu)工藝已經(jīng)日趨成熟， 因此系統(tǒng)的可靠性研究需要被介入到碳基電子技術(shù)中來(lái)。

在電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)上， 碳基電子技術(shù)缺乏配套的電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化工具(EDA)，難以自動(dòng)化設(shè)計(jì)電路版圖并仿真， 因此難以制造大規(guī)模甚至超大規(guī)模碳基電路。為了建立系統(tǒng)的碳基 EDA 平臺(tái)， 首先需要對(duì)碳管器件建立完整準(zhǔn)確的電學(xué)模型，然后根據(jù)應(yīng)用需求開(kāi)發(fā)工藝設(shè)計(jì)工具包(PDK) ， 最后兼容適配于商用的 EDA 工具如 Cadence EDA。然而， 由于碳基器件的工藝在一直被優(yōu)化， 其器件物理也在不斷被修正深入， 目前難以得到一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化的工藝流程和器件結(jié)構(gòu)， 也就難以建立準(zhǔn)確的器件模型和 PDK。此外， 發(fā)展碳基三維集成電路還需要開(kāi)發(fā)出包含層間隔離及通孔工藝描述的3D PDK以及三維電路設(shè)計(jì)規(guī)則， 這為碳基EDA工具開(kāi)發(fā)提出了新的要求。最后， 碳納米管器件具備高速低功耗的潛力， 如果要保持甚至放大這一能效優(yōu)勢(shì)， 可能需要在電路和系統(tǒng)設(shè)計(jì)上采用新的架構(gòu)如 TPU 架構(gòu)， 使用設(shè)計(jì)工藝協(xié)同優(yōu)化(DTCO)的方法制造電路。

在碳基電子標(biāo)準(zhǔn)化平臺(tái)方面， 主要包括標(biāo)準(zhǔn)化的材料制備和表征平臺(tái)、標(biāo)準(zhǔn)化的工藝制造平臺(tái)和標(biāo)準(zhǔn)化的器件電路測(cè)試平臺(tái)。碳納米管的材料制備需要標(biāo)準(zhǔn)化的表征方法， 即以合適的測(cè)量方法、測(cè)量?jī)x器和數(shù)值參考范圍來(lái)表征碳納米管材料的不同指標(biāo)。這些指標(biāo)既包括精度在 ppb(part-per-billion)級(jí)別的半導(dǎo)體性或金屬性純度， 還包括碳管密度、管徑和長(zhǎng)度分布、取向分布、晶格缺陷和排列缺陷密度、金屬離子含量、表面聚合物含量以及其他影響器件和工藝的指標(biāo)。碳納米管的制造工藝需要標(biāo)準(zhǔn)化， 即使用嚴(yán)格的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工藝， 在標(biāo)準(zhǔn)的超凈廠房?jī)?nèi)， 批量進(jìn)行大面積晶圓的加工。標(biāo)準(zhǔn)化的器件電路測(cè)試平臺(tái)則有助于加快工藝迭代、提高器件可靠性、探索碳基電路的工藝設(shè)計(jì)規(guī)則。只有完成包括以上環(huán)節(jié)的制造全流程的標(biāo)準(zhǔn)化， 碳基電子技術(shù)才能真正步入產(chǎn)業(yè)化階段。

6總結(jié)與未來(lái)展望

歷經(jīng) 20 余年發(fā)展， 碳納米管已然成為后摩爾時(shí)代中最具潛力、最受關(guān)注的新型半導(dǎo)體材料， 碳基電子技術(shù)也顯現(xiàn)出了其延續(xù)、擴(kuò)展乃至超越摩爾定律的突出技術(shù)價(jià)值。在諸多碳基電子技術(shù)的基礎(chǔ)性問(wèn)題中， 學(xué)界已經(jīng)取得了根本性突破，如理想碳納米管陣列材料的成功制備、無(wú)摻雜 CMOS 技術(shù)的發(fā)明等等。基于這些材料上和器件工藝上的進(jìn)步， 碳基電子技術(shù)還在多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域中展示了其優(yōu)勢(shì)與特色， 如高性能低功耗的碳基數(shù)字電路、高速碳基射頻器件、超靈敏碳基傳感平臺(tái)和高能效多功能的碳基三維集成系統(tǒng)等等。這些進(jìn)展說(shuō)明：碳基電子技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化從原理上看已經(jīng)沒(méi)有不可逾越的阻礙， 從技術(shù)上看有著充分的商業(yè)價(jià)值。當(dāng)然， 想要真正將碳基電子技術(shù)從學(xué)術(shù)界引入產(chǎn)業(yè)界和商業(yè)界， 還需要對(duì)材料、器件結(jié)構(gòu)和集成工藝做進(jìn)一步優(yōu)化， 如提高金半接觸穩(wěn)定性、降低接觸電阻及柵介質(zhì)界面態(tài)、抑制器件雙極性等等。綜合來(lái)看， 碳基電子技術(shù)的原理性優(yōu)勢(shì)凸顯、工程性挑戰(zhàn)與產(chǎn)業(yè)化挑戰(zhàn)并存， 需要加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研合作并借鑒成熟的硅基半導(dǎo)體經(jīng)驗(yàn)， 從而發(fā)展其標(biāo)準(zhǔn)化的材料制備、器件加工、電路設(shè)計(jì)和表征測(cè)試平臺(tái)。

在目前全球芯片行業(yè)商業(yè)熱情高漲但硅基技術(shù)發(fā)展卻進(jìn)入瓶頸期的大背景下，碳基電子技術(shù)為半導(dǎo)體領(lǐng)域提供了一個(gè)應(yīng)對(duì)后摩爾時(shí)代挑戰(zhàn)的可行技術(shù)方案， 更是為我國(guó)提供了一次“換道超車”的機(jī)遇。結(jié)合碳基電子技術(shù)目前的發(fā)展態(tài)勢(shì)， 其很有可能在短期內(nèi)實(shí)現(xiàn)碳基傳感技術(shù)等高性能、中集成度的應(yīng)用， 在中長(zhǎng)期實(shí)現(xiàn)碳基射頻電子、特種芯片等高性能高集成度的應(yīng)用， 在完成足夠的技術(shù)積淀以及產(chǎn)業(yè)迭代后實(shí)現(xiàn)技術(shù)復(fù)雜度最高、商業(yè)價(jià)值最大的超大規(guī)模碳基數(shù)字集成電路。

原文標(biāo)題：后摩爾時(shí)代的碳基電子技術(shù)：進(jìn)展、應(yīng)用與挑戰(zhàn)

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