FormFactor的強(qiáng)大功能自動(dòng)化功能，可在多個(gè)溫度下進(jìn)行無(wú)人值守的測(cè)試通過(guò)將操作員的干預(yù)減少到最低程度，有助于提高數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和最小化測(cè)試成本。但是，在安裝全新的測(cè)量裝置或更換設(shè)備時(shí)，即使是最高程度的自動(dòng)化也要依靠人工干預(yù)和手動(dòng)調(diào)整。當(dāng)處理價(jià)值數(shù)千美元的高度復(fù)雜的探針或探針卡時(shí)，探針臺(tái)的直觀，快速和安全的操作至關(guān)重要。

持續(xù)優(yōu)化

我們?cè)贔ormFactor不斷優(yōu)化我們行業(yè)領(lǐng)先的300 mm晶圓探針臺(tái)的人體工程學(xué)功能和調(diào)整能力CM300xi增強(qiáng)操作員體驗(yàn)并簡(jiǎn)化測(cè)量工作流程。這不僅使工程師和操作員可以輕松便捷地使用我們的探針臺(tái)，從而帶來(lái)了高產(chǎn)和創(chuàng)新的工作氛圍。它還有助于避免因錯(cuò)誤操作或誤操作而造成的材料損壞而造成的成本和延誤。

在X，Y和Z中進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整

我們的3D手動(dòng)控制提供了一種在X，Y和Z方向上手動(dòng)移動(dòng)卡盤(pán)的額外且非常直觀的方法。使用XY旋鈕用于將卡盤(pán)沿X和Y方向定位壓板提升用于控制晶片和探針之間的距離。

CM300xi壓板提升機(jī)是一個(gè)虛擬功能。 CM300xi的壓板不是真正移動(dòng)的，而是固定的，可以提高穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。取而代之的是，Platen Lift可以使卡盤(pán)和顯微鏡載物臺(tái)同步移動(dòng)，從而在探針和晶圓移至分離狀態(tài)時(shí)，顯微鏡圖像保持聚焦在晶圓水平上。因此，其凈效果類(lèi)似于傳統(tǒng)的機(jī)械壓紙?zhí)嵘龣C(jī)。確實(shí)，您幾乎不會(huì)注意到差異。

我們的應(yīng)用工程師喜歡此功能，因?yàn)樗梢怨?jié)省執(zhí)行對(duì)齊任務(wù)的時(shí)間。典型的用例包括設(shè)置接觸高度并執(zhí)行測(cè)量腳本的“空運(yùn)行”。

想象一下，您編寫(xiě)了一個(gè)漫長(zhǎng)的測(cè)量例程，該例程應(yīng)該在整個(gè)晚上甚至整個(gè)周末運(yùn)行?？焖俅_定間隔高度的探頭快速進(jìn)行空運(yùn)行，以確保一切設(shè)置正確，這不是很好嗎？使用CM300xi壓板提升機(jī)，可以快速便捷地完成此任務(wù)。準(zhǔn)備好測(cè)量設(shè)置并編寫(xiě)腳本后，在開(kāi)始實(shí)際操作之前，向上移動(dòng)壓板提升器以分離探針和晶片。然后啟動(dòng)您的腳本?？者\(yùn)行。跟蹤腳本的執(zhí)行并在必要時(shí)進(jìn)行調(diào)試。一切編程和調(diào)整正確嗎？太好了，只需將壓板提升機(jī)移回接觸并開(kāi)始進(jìn)行真實(shí)測(cè)量即可。[1]

除了我們精心安排的狀態(tài)反饋Velox探針臺(tái)控制軟件，符合人體工程學(xué)的位置，清晰可見(jiàn)壓板提升控制桿可提供有關(guān)聯(lián)系人狀態(tài)的其他視覺(jué)反饋。

壓板提升和手動(dòng)XY旋鈕是FormFactor的一部分3D手動(dòng)控制用于CM300xi探針臺(tái)。它們使您能夠在X和Y上進(jìn)行符合人體工程學(xué)的手動(dòng)調(diào)整，并控制分離距離。 3D手動(dòng)控件是所有新CM300xi探針臺(tái)均可使用的可選功能。可根據(jù)要求對(duì)現(xiàn)有機(jī)器進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)。

審核編輯：符乾江