WAT（wafer acceptable test）

1.概述：

WAT（wafer acceptable test）是一項使用特定測試機臺（分自動測試機以及手動測試臺）在wafer階段對特定測試結構（testkey）進行的測量。WAT可以反應wafer流片階段的工藝波動以及偵測產線的異常。WAT會作為wafer是否可以正常出貨的卡控標準。

2.1測試階段：

WAT測試可以分為inline WAT、Final WAT。

Inline WAT是在inter-metal階段對器件做測試。Final WAT是在wafer整個制程完成后對器件進行測試。

2.2測試機臺：

WAT自動測試需要使用特定的測試機臺。主要是Keithley 和 Agilent的測試機。測試機臺分為測試機柜以及測試頭。

2.3測試板卡：

WAT自動測試使用特定的測試板卡,通過測試頭操作測試板卡進行測試。

WAT手動測試需要使用探針臺，手動將測試探針扎到相應的測試PAD上。

2.4測試結構：

A. WAT是對特定的測試結構（testkey）做測試。測試結構（testkey）放置在劃片槽內。由測試探針扎到測試PAD上進行測試。

B. 為保證測試一致性以及測試硬件的重復利用，器件結構（testkey）都是有統一的PAD數以及PAD間距。測試pattern放置在PAD間。具體的標準需要向各家FAB咨詢。

2.5測試標準：

2.6測試項目：

A. WAT可以測試電流/電壓/電阻/電容

B. FAB內主要的測試項目：

2.7測試結果的分析：

A. WAT測試項目可以分為正態(tài)分布項目和非正態(tài)分布項目。

B. 正態(tài)分布項目需要review Cpk，Cpk需要滿足大于1.33。分布的差異來自于工藝造成的偏差。

C. 非正態(tài)分布項目需要分析長期測試結果的一致性以及異常離散點的原因。

3.WAT測試的意義：

A.表征產品器件速度 B.體現工藝能力 C.監(jiān)控產線工藝波動 D.監(jiān)控產線工藝異常

4.總結：

WAT在工藝開發(fā)制程階段是工藝調整的依據。WAT在量產階段反應的是產線工藝的波動。對于FAB來說，WAT是重要的監(jiān)控手段。對于設計來說，WAT是驗證設計的重要參數。分析利用好WAT對于產品驗證以及量產維護都有重要的意義。

審核編輯 ：李倩