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芯明天納米級(jí)微運(yùn)動(dòng)之壓電快速刀具定位臺(tái)

楊明遠(yuǎn) ? 來(lái)源:楊明遠(yuǎn) ? 作者:楊明遠(yuǎn) ? 2022-08-25 10:49 ? 次閱讀

壓電快速刀具定位臺(tái)的命名由它的驅(qū)動(dòng)動(dòng)力源及其功能相結(jié)合而來(lái)的。“壓電”指的是它的驅(qū)動(dòng)源,即利用PZT壓電陶瓷來(lái)作為驅(qū)動(dòng)源從而產(chǎn)生運(yùn)動(dòng);而“快速刀具定位臺(tái)”則是它的功能,它的移動(dòng)端可以用來(lái)帶載加工刀具(如金剛石等)進(jìn)行車(chē)削加工。壓電快速刀具定位臺(tái)將PZT壓電陶瓷與鉸鏈機(jī)構(gòu)相結(jié)合,同時(shí),配備有機(jī)械固定安裝接口與刀具安裝接口。

什么是壓電快速刀具定位臺(tái)?

壓電快速刀具定位臺(tái)是為超精密車(chē)削加工而研發(fā)設(shè)計(jì)的,利用自身所具有的高響應(yīng)頻率、高剛度、高精度等特性,驅(qū)動(dòng)刀具在運(yùn)動(dòng)方向快速微進(jìn)給,能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜面形工件或結(jié)構(gòu)的超精密加工。

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精密加工

與傳統(tǒng)加工刀具相比,芯明天壓電快速刀具定位臺(tái)有哪些優(yōu)點(diǎn)?

由壓電快速刀具定位臺(tái)及配套機(jī)床設(shè)備可以組成快刀伺服加工系統(tǒng)。

快刀伺服加工是指在車(chē)削加工過(guò)程中,借助于安裝在Z軸上的壓電快刀微進(jìn)給機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)刀具作高頻響、小幅值的軸向快速進(jìn)給運(yùn)動(dòng),并與高精度的回軸和徑向進(jìn)給相配合,完成整個(gè)車(chē)削加工過(guò)程。與Z軸一般幾十赫茲的進(jìn)刀頻率相比,快刀伺服微進(jìn)給機(jī)構(gòu)的進(jìn)刀頻率可以達(dá)到幾千赫茲甚至更高,從而大大提高了加工效率。

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壓電快速刀具定位臺(tái)加工效果圖

與傳統(tǒng)加工刀具加工方式相比,快刀伺服車(chē)削加工具有高頻響、高效率的特點(diǎn),一次加工就能夠得到高面型精度的復(fù)雜微結(jié)構(gòu)表面,適用于光學(xué)元件等微結(jié)構(gòu)元件的高效優(yōu)質(zhì)加工。

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帶有冷卻孔的壓電快速刀具定位臺(tái)

快刀伺服車(chē)削加工要求高頻響、高精度的微進(jìn)給,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的快速刀具定位臺(tái)有響應(yīng)速度快、加速度高、頻響范圍寬、易于控制等諸多優(yōu)點(diǎn)。

采用芯明天快速刀具定位臺(tái)加工微結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)真正的三維結(jié)構(gòu)加工,成形精度可達(dá)到納米級(jí),無(wú)需后續(xù)拋光處理,加工效率高,且可加工相對(duì)較大尺度的元件,可重復(fù)加工具有復(fù)雜形狀的各種異形元件,一次加工即可獲得很高的零件尺寸精度、形狀精度和很低的表面粗糙度,能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)微結(jié)構(gòu)的高效率、高精度、柔性化加工,它已在超精密加工上得到非常廣泛的應(yīng)用。

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壓電快速刀具定位臺(tái)安裝圖

采用大出力壓電陶瓷

快速刀具定位臺(tái)采用的壓電陶瓷分為標(biāo)準(zhǔn)型壓電陶瓷和大出力型壓電陶瓷,采用大出力型壓電陶瓷的快速刀具定位臺(tái)可產(chǎn)生幾千牛頓的出力,是其他普通壓電納米定位臺(tái)出力的幾倍。

采用標(biāo)準(zhǔn)型壓電陶瓷的快速刀具定位臺(tái),其驅(qū)動(dòng)電壓一般為150V,而采用大出力型壓電陶瓷,其驅(qū)動(dòng)電壓通常為500V或1000V。

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納米級(jí)分辨率,可選配傳感器

根據(jù)是否配置傳感器,壓電快速刀具定位臺(tái)又分為開(kāi)環(huán)(無(wú)定位反饋傳感器)和閉環(huán)(集成定位反饋傳感器)版本。開(kāi)環(huán)下,它的分辨率是無(wú)限高的,只受控制設(shè)備的噪聲的限制,但是由于壓電陶瓷的遲滯和蠕變特性,使其重復(fù)性和穩(wěn)定性較低。但閉環(huán)版本壓電快速刀具定位臺(tái),可消除遲滯和蠕變。

快速刀具定位臺(tái)所驅(qū)動(dòng)的刀具位置可以通過(guò)內(nèi)置傳感進(jìn)行反饋控制,可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率。

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壓電快速刀具定位臺(tái)是快刀伺服加工系統(tǒng)中非常重要的部件,作為高速高精度位移輸出機(jī)構(gòu),其性能的好壞對(duì)快刀伺服加工的微結(jié)構(gòu)表面質(zhì)量有直接影響。芯明天科技設(shè)計(jì)研發(fā)的P92、P93系列壓電快速刀具定位器,具有承載力大、響應(yīng)速度快、頻率范圍寬、精度高的優(yōu)點(diǎn),是快刀伺服的首選產(chǎn)品。

多種傳感器可選

芯明天壓電快速刀具定位臺(tái)有多種閉環(huán)方式可選,如電容式、電感式、應(yīng)變式閉環(huán),也可采用外部閉環(huán)的控制方式。閉環(huán)方式的不同影響著快速刀具定位臺(tái)的控制精度、工作頻率及成本等因素。

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傳感器類(lèi)型

在采用外部閉環(huán)時(shí),可在刀具夾持端后部增加壓電式力傳感器,通過(guò)傳感器加工過(guò)程中的軸向力,測(cè)得的力信號(hào)與預(yù)設(shè)力大小進(jìn)行對(duì)比,并將結(jié)果傳輸至壓電控制器,使得壓電快速刀具定位臺(tái)沿軸向發(fā)生位移,進(jìn)而改變加工過(guò)程中的軸向力的大小,使軸向力與預(yù)設(shè)力大小一致。

芯明天標(biāo)品壓電快速刀具定位臺(tái)

芯明天具有近20種專(zhuān)為快刀伺服微加工而設(shè)計(jì)的快速刀具定位臺(tái),它們有著位移、頻率、閉環(huán)方式、出力、驅(qū)動(dòng)電壓、外觀結(jié)構(gòu)等性能的差別。

在位移參數(shù)上,由十幾微米到百微米以上的行程范圍,不同的位移下工作頻率也不同。例如,芯明天P92.X20快速刀具定位臺(tái),在18μm行程下,工作頻率可達(dá)95Hz;在9μm行程下,工作頻率可達(dá)190Hz;而在1μm行程下,工作頻率達(dá)600Hz。

P92.X20系列快速刀具定位臺(tái)

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行程:18μm

驅(qū)動(dòng)電壓:0~150V

承載能力:300g

閉環(huán)方式可選

P92.X25系列快速刀具定位臺(tái)

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行程:23μm

空載諧頻頻率:3000Hz

出力:1000N

閉環(huán)方式可選

P92.X40系列快速刀具定位臺(tái)

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行程:40μm

驅(qū)動(dòng)電壓:0~1000V

出力:3000N

定制散熱孔

P92.X70系列快速刀具定位臺(tái)

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行程:75μm

定位精度:0.01%F.S.

定制防塵防液滴型

閉環(huán)方式可選

P93.X70系列快速刀具定位臺(tái)

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行程:81μm

承載能力:20kg

分辨率:達(dá)1nm

閉環(huán)方式可選

芯明天快速刀具定位臺(tái)應(yīng)用案例

芯明天快速刀具定位臺(tái)的微進(jìn)給運(yùn)動(dòng),為各種超精密加工提供微納米級(jí)的定位精度,用于各種光學(xué)元件的加工,可進(jìn)行不同形狀、圖形的車(chē)削加工,協(xié)助各種超高精度加工的順利完成,在光學(xué)等領(lǐng)域擁有著非常廣泛的應(yīng)用。

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導(dǎo)光板模具加工

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光學(xué)元件加工

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P93快刀臺(tái)與手調(diào)臺(tái)結(jié)合超精密加工

壓電快速刀具定位臺(tái)安裝操作說(shuō)明

一)安全指南

壓電快速刀具定位臺(tái)采用先進(jìn)的技術(shù)和安全標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)而成,為了您的自身安全及產(chǎn)品的正確使用,使用時(shí)請(qǐng)注意以下幾點(diǎn)。

溫度改變和壓力都會(huì)給壓電快速刀具定位臺(tái)充電,與控制器斷開(kāi)連接的一段時(shí)間壓電快速刀具定位臺(tái)也會(huì)保持帶電狀態(tài),所以操作者在使用時(shí)要注意:

· 不要擅自拆卸壓電快速刀具定位臺(tái);

· 在安裝以前給壓電快速刀具定位臺(tái)進(jìn)行放電,這個(gè)可以通過(guò)和控制器連接實(shí)現(xiàn);

· 在操作過(guò)程中不要拔出控制器;

· 使用前首先檢查本產(chǎn)品的連接線是否完好,產(chǎn)品及控制器是否進(jìn)行了有效的接地保護(hù),操作過(guò)程中應(yīng)嚴(yán)格規(guī)范操作,上電后不要用手觸碰產(chǎn)品(最高可達(dá)1000V以上電壓),以防發(fā)生危險(xiǎn)。

為了防止不當(dāng)操作對(duì)產(chǎn)品造成損壞,使用時(shí)應(yīng)注意以下幾點(diǎn):

· 壓電快速刀具定位臺(tái)盡量在無(wú)塵、無(wú)油、無(wú)潤(rùn)滑劑的環(huán)境中使用;

· 建議負(fù)載不要超過(guò)本產(chǎn)品的承載能力,裝載時(shí)注意扭力不要過(guò)大,不要撬或扭轉(zhuǎn)負(fù)載面,以免損傷結(jié)構(gòu);

· 當(dāng)出現(xiàn)異常情況應(yīng)該立即關(guān)閉相關(guān)部分;

· 長(zhǎng)期使用建議使用推薦電壓范圍;

· 請(qǐng)勿對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行拆解,以免造成產(chǎn)品損壞;

· 避免拉伸和彎曲電纜接口,防止對(duì)電纜造成損壞;

· 使用我公司提供的專(zhuān)用電纜連接壓電快速刀具定位臺(tái)和控制器;

· 不能隨便使用電纜延長(zhǎng)線,如需要更長(zhǎng)電纜請(qǐng)聯(lián)系我司銷(xiāo)售人員。

二)安裝與注意事項(xiàng)

安裝前首先要進(jìn)行安全檢查,如連接線有無(wú)破損、斷線,驅(qū)動(dòng)電源有無(wú)接地保護(hù)等。

壓電快速刀具定位臺(tái)安裝步驟如下:

· 確保安裝平面足夠平整;

· 使用螺釘固定壓電快速刀具定位臺(tái),擰緊;

· 安裝負(fù)載刀具,適當(dāng)擰緊以確保定位精度;

· 將產(chǎn)品連接線按連接器頭處標(biāo)識(shí)與控制器對(duì)應(yīng)接口連接起來(lái)。

注意:

· 安裝負(fù)載時(shí)緩慢擰緊負(fù)載,扭矩不要太大,以免損傷機(jī)構(gòu);

· 避免拉伸電纜和彎曲電纜;

· 使用我公司提供的專(zhuān)用電纜連接快速刀具定位臺(tái)和控制器。


審核編輯 黃昊宇

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    中圖儀器利用納米顯微測(cè)量技術(shù),提供白光干涉儀和共聚焦顯微鏡等高精度測(cè)量設(shè)備,服務(wù)于半導(dǎo)體、電子、科研等領(lǐng)域,推動(dòng)納米級(jí)材料尺寸測(cè)量的技術(shù)發(fā)展和行業(yè)應(yīng)用。
    的頭像 發(fā)表于 07-12 15:32 ?1273次閱讀
    <b class='flag-5'>納米級(jí)</b>材料尺寸測(cè)量:從微觀到宏觀,<b class='flag-5'>納米</b>精度,中圖智造

    納米級(jí)材料尺寸如何測(cè)量?

    納米顯微測(cè)量領(lǐng)域,中圖儀器基于納米傳動(dòng)與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、共聚焦測(cè)量等技術(shù)積累,推出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的白光干涉儀(Z向分辨率可高達(dá)0.1納米)和共聚焦顯微鏡,廣泛應(yīng)用
    的頭像 發(fā)表于 07-09 09:32 ?1120次閱讀
    <b class='flag-5'>納米級(jí)</b>材料尺寸如何測(cè)量?

    明天千余種PZT壓電陶瓷片及疊堆!

    哈爾濱明天科技有限公司具有千余種PZT壓電陶瓷片及疊堆型標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,形狀分為方片、圓片、環(huán)片、方形、柱形、環(huán)形、方形中空等,運(yùn)動(dòng)維度包括直線、彎曲、扭轉(zhuǎn)、二維及三維
    的頭像 發(fā)表于 06-20 10:52 ?1745次閱讀
    <b class='flag-5'>芯</b><b class='flag-5'>明天</b>千余種PZT<b class='flag-5'>壓電</b>陶瓷片及疊堆!

    安泰ATA-P1005壓電疊堆放大器在納米定位臺(tái)驅(qū)動(dòng)中的應(yīng)用

    納米定位臺(tái)是一種高精度的納米級(jí)定位設(shè)備,主要用于
    的頭像 發(fā)表于 03-05 17:35 ?600次閱讀
    安泰ATA-P1005<b class='flag-5'>壓電</b>疊堆放大器在<b class='flag-5'>納米</b><b class='flag-5'>定位</b><b class='flag-5'>臺(tái)</b>驅(qū)動(dòng)中的應(yīng)用

    XD605.X90一維大負(fù)載電容傳感壓電納米定位臺(tái)及配套電容閉環(huán)控制器

    新年伊始,萬(wàn)象更新。明天持續(xù)深挖行業(yè)需求,攻克技術(shù)壁壘,推陳出新,為客戶(hù)解決一個(gè)又一個(gè)精密定位技術(shù)的難題。 本次為大家介紹一款一維大負(fù)載電容傳感壓電納米
    的頭像 發(fā)表于 02-22 11:54 ?500次閱讀
    XD605.X90一維大負(fù)載電容傳感<b class='flag-5'>壓電納米</b><b class='flag-5'>定位</b><b class='flag-5'>臺(tái)</b>及配套電容閉環(huán)控制器