PFA管用途之一：供酸系統(tǒng)（CDS）
主要用途：設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送，經(jīng)管道至設(shè)備；具有自動(dòng)化程度高，配比精確，操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)；具有良好的耐腐蝕性能。
1. 供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡(jiǎn)稱：CDS
2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi)：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房；
3. 設(shè)備材質(zhì)說(shuō)明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材，內(nèi)部管路及組件采PFA 材質(zhì)；閥體材質(zhì)型式：供腐蝕性化學(xué)品用之材質(zhì)為PFA或PTFE。
4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn)；
5. 過(guò)濾器：配有10” PFA材質(zhì)過(guò)濾器外殼；
6. 供液泵：每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵；
7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開(kāi)關(guān)；
8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。
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發(fā)表于 05-23 06:24
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版主,你好,CDS8711的相關(guān)資料和例程能不能發(fā)給我一下
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發(fā)表于 05-16 13:26
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