來源：半導(dǎo)體芯科技SiSC

2022年，全球新冠疫情不斷、地緣政治沖突此起彼伏，全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈發(fā)展環(huán)境復(fù)雜動蕩，并呈現(xiàn)出前所未有的脆弱，這些因素動搖了僅從成本角度構(gòu)建的半導(dǎo)體全球化供應(yīng)鏈體系的根基?？v觀國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈（設(shè)計、制造、封測）各個環(huán)節(jié)，國內(nèi)公司不斷涌現(xiàn)從小到大，但是除了封測領(lǐng)域我們相對成熟外，在原材料、制造工藝及相關(guān)設(shè)備方面我們均有不少差距。在相關(guān)配套的EDA軟件、電子特氣、電子化學(xué)品、工藝材料等方面，我們也在積極追趕。

電子特種氣體是高技術(shù)附加值的特種工業(yè)氣體，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電子制造領(lǐng)域。電子特氣作為電子工業(yè)的“血液”，它直接影響到半導(dǎo)體晶圓及器件制造的品質(zhì)。光刻膠是半導(dǎo)體材料中技術(shù)壁壘最高的品種之一，它在半導(dǎo)體IC、面板、PCB等領(lǐng)域都有應(yīng)用。其中，光刻機和光刻膠支撐著芯片的先進化制程。電子化學(xué)品是半導(dǎo)體電子制造的專用化工材料，其應(yīng)用覆蓋了幾乎整個電子產(chǎn)業(yè)。濕電化品是半導(dǎo)體濕法制程關(guān)鍵材料，在細分領(lǐng)域的的電化品，技術(shù)壁壘高，同時也是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵材料之一。

2022年12月2日14:00-16:30第十五屆晶芯在線研討會之“復(fù)雜動蕩國際局勢下中國半導(dǎo)體制程供應(yīng)鏈的應(yīng)對之策”，由雅時國際商訊&歡芯鼓伍聯(lián)合主辦、大會媒體《半導(dǎo)體芯科技》雜志協(xié)辦、CHIP China晶芯研討會承辦的主題會議上，有幸邀請到半導(dǎo)體制程供應(yīng)鏈三位演講嘉賓，在構(gòu)建本土半導(dǎo)體供應(yīng)鏈安全可控環(huán)境中為大家?guī)韺氋F經(jīng)驗和案例分享。

▲第十五屆晶芯在線研討會-現(xiàn)場截圖

ACT雅時商訊總裁、《半導(dǎo)體芯科技》出版總監(jiān)麥協(xié)林先生在致辭中，向所有上線嘉賓表示歡迎，也十分感謝歡芯鼓伍對本次會議的大力支持。在圓桌論壇中歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士擔(dān)任主持人，同三位專家圍繞“復(fù)雜動蕩國際局勢下中國半導(dǎo)體制程供應(yīng)鏈的應(yīng)對之策”這一話題進行了觀點交流，濃郁的學(xué)術(shù)氛圍與活躍的思想爭鳴吸引了線上聽眾參與多輪探討，反響熱烈。

在這近3個小時的直播時間里，共有近800名觀眾報名參加、近500人上線參與、近千條評論區(qū)實時互動留言，2144次點贊鼓掌。

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第一位演講嘉賓，是來自上海微禎新材料科技有限公司的創(chuàng)始人 陳朝琦，陳總及其團隊專注于含氟特氣及材料開發(fā)及其相關(guān)應(yīng)用，目前主要提供含氟特氣及相關(guān)化學(xué)品至芯片制造客戶，也致力開發(fā)進口產(chǎn)品替代材料，高階工藝用材料等。

特種氣體為工業(yè)氣體的重要分支，其中電子半導(dǎo)體為特種氣體的重要市場。電子特氣的技術(shù)門檻較高、認證門檻高、試錯成本大。半導(dǎo)體電子特氣應(yīng)用于沉積、光刻、刻蝕、熱處理、摻雜等晶圓制造的各個環(huán)節(jié)。主要的氣體大類為氟碳類(刻蝕、清洗為主)、單質(zhì)類(稀釋，絕緣， 氧化)、摻雜類(砷烷、磷烷等)、光刻類(惰性氣體混合氣)、薄膜沉積類(硅烷、鍺烷等)等。長期來看，汽車電子、AI、IOT發(fā)展有望帶動半導(dǎo)體景氣度提升。半導(dǎo)體行業(yè)東進趨勢明確，有望強化本土配套優(yōu)勢。2022年，我國電子氣體市場規(guī)模達到了百億元等級規(guī)模，較上年同比增加了10%左右，外資強勢，本土崛起。海外氣體巨頭占據(jù)國內(nèi)特氣市場主導(dǎo)權(quán)。國內(nèi)企業(yè)從歷史積累、體量上存在明顯差距。。國內(nèi)企業(yè)唯有從產(chǎn)品質(zhì)量提升、體現(xiàn)成本優(yōu)勢、交期穩(wěn)定(服務(wù))、核心材料自主可控等環(huán)節(jié)下足功夫，方可爭取到我們的一席之地。

▲第十五屆晶芯在線研討會-現(xiàn)場截圖

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第二位演講嘉賓來自上海飛凱材料科技股份有限公司市場資深總監(jiān) 黃艷。黃總監(jiān)是全國專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會委員；中國集成電路材料標(biāo)準(zhǔn)委員會專家；國家專項課題實施負責(zé)人。擁有十余年的半導(dǎo)體材料行業(yè)經(jīng)驗，帶領(lǐng)團隊實現(xiàn)IC光刻膠BARC的研發(fā)、測試和成功量產(chǎn)，實現(xiàn)該材料國產(chǎn)化供應(yīng)。

當(dāng)前宏觀環(huán)境動蕩，地緣關(guān)系去全球化和地緣政治使半導(dǎo)體行業(yè)陷入分裂，俄烏沖突升級影響半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，同時疫情影響半導(dǎo)體供應(yīng)。芯片供應(yīng)鏈迎來特殊機遇，呼喚芯片制造供應(yīng)鏈本地化。我國的芯片制造技術(shù)與行業(yè)先進水平存在3-5年的代差。光刻工藝是先進半導(dǎo)體制程的重要的工藝環(huán)節(jié)之一，光刻膠是光刻工藝中使用的最關(guān)鍵的材料，也亟需我們攻克。其中專利挑戰(zhàn)是光刻膠供應(yīng)鏈本地化難點。先進制造的光刻膠專利80%為日美韓三國所有。

從2016年到 2020年，我國各類應(yīng)用的光刻膠專利申請數(shù)量逐年遞增，總計275 件專利。我國相關(guān)人才缺乏，配方經(jīng)驗不足，知識產(chǎn)權(quán)壁壘高。下游認證困難，替代產(chǎn)品要求在各項指標(biāo)100%符合被替代產(chǎn)品的性能，繞開知識產(chǎn)權(quán)的情況下，可操作空間很小。研發(fā)時間長，驗證時間久。國內(nèi)光刻膠的原材料（單體、樹脂、光酸、酸抑制劑、添加劑、高純?nèi)軇?、過濾器等尚不能滿足需求。國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈不完整，原材料供應(yīng)商少。每種光刻膠包含十余種原料，涉及多種提純工藝及生產(chǎn)工藝控制能力。保持每個批次的穩(wěn)定也是我們需要攻克的難關(guān)。

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最后，由宏芯氣體(上海)有限公司 創(chuàng)始人/CEO 白久，為我們帶來精彩分享。白總曾在林德集團擁有18+年的資深業(yè)務(wù)管理經(jīng)驗，其中包括10+年林德電子事業(yè)部全面業(yè)務(wù)管理經(jīng)驗。帶領(lǐng)團隊參與與并贏得重大電子項目接近50%的市場份額，并都成功實現(xiàn)商業(yè)化目標(biāo)，中國市場業(yè)績最優(yōu)秀的國際氣體公司。

隨著中國產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)化升級的調(diào)整，工業(yè)氣體在半導(dǎo)體等新興行業(yè)的應(yīng)用在逐步增加。國際工業(yè)空氣巨頭仍占據(jù)主要的市場份額，中國在大宗氣體以及特種氣體兩個市場均全面落后，且供應(yīng)梯度差異明顯。隨著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，同時考慮到新興技術(shù)領(lǐng)域避免被“卡脖子”，特種氣體領(lǐng)域，仍是值得關(guān)注的增長點。電子特氣是大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體 器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，它在工業(yè)氣體中屬于附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高或者參與化學(xué)反應(yīng)。

中國特種氣體市場主要由海外龍頭企業(yè)占據(jù)，但國產(chǎn)企業(yè)發(fā)展迅速，細分領(lǐng)域產(chǎn)品具備優(yōu)勢，相較于國外廠商，在國際貿(mào)易情勢錯綜復(fù)雜的當(dāng)下，國內(nèi)廠商在穩(wěn)定供應(yīng)能力，運輸成本以及產(chǎn)品價格具有顯著的競爭優(yōu)勢。國內(nèi)制氣設(shè)備以及配套設(shè)備廠家近年來綜合能力大幅提高，可提供品質(zhì)優(yōu)、性能穩(wěn)的工業(yè)氣體相關(guān)設(shè)備。國內(nèi)氣體廠家經(jīng)多年供氣經(jīng)驗的累積，建立起一套更適應(yīng)于中國國情的氣體生產(chǎn)和供應(yīng)體系。

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國際疫情不斷、通貨膨脹、俄烏沖突升級、國際形勢紛紛擾擾，中美關(guān)系由合作走向?qū)α?，美國對中國半?dǎo)體高端制造卡脖子，同時雖然受疫情影響下的景氣度下滑，但國內(nèi)半導(dǎo)體市場需求旺盛。無論是半導(dǎo)體裝備、工藝材料、原材料、電子特氣等受地緣政治的影響，國產(chǎn)化進程尤為重要。這些大背景下，歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士擔(dān)任主持人，與微禎新材料創(chuàng)始人 陳朝琦、飛凱材料總監(jiān) 黃艷、宏芯氣體CEO 白久三位業(yè)內(nèi)專業(yè)人士，圍繞半導(dǎo)體行業(yè)光刻膠、電子特氣等半導(dǎo)體供應(yīng)鏈話題，展開圓桌討論。

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問題一：國內(nèi)半導(dǎo)體工藝材料現(xiàn)狀與未來如何滿足較先進工藝發(fā)展需求？

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飛凱材料總監(jiān) 黃艷

國內(nèi)半導(dǎo)體的工藝材料已經(jīng)累積發(fā)展幾十年，包括氣體、靶材等已有20%的國產(chǎn)化率，這是一個好的現(xiàn)象，實現(xiàn)了從0到1的突破，邁過從無到有的門檻，但是在半導(dǎo)體先進工藝材料領(lǐng)域，我們的國產(chǎn)領(lǐng)域依舊非常薄弱，就以像光刻膠、光照等這些品類多、要求高的材料為例，目前國產(chǎn)化率5%。在28nm制程里的工藝材料方面，國產(chǎn)材料僅處于滿足使用的這個階段，它還有很長的路要走；而在高端制程領(lǐng)域的工藝材料，我們的國產(chǎn)化絕對不是復(fù)制和替換那么簡單，它一定是一個“先有再好”的過程。站在光刻膠工藝材料供應(yīng)商的角度，國內(nèi)材料供應(yīng)商如何滿足先進工藝的發(fā)展需求？

我認為有兩個值得我們注意地方：

第一，我們必須理清發(fā)展邏輯，首先我們不僅需要認清客觀現(xiàn)狀，更重要的是認清我們自己，搞準(zhǔn)我們的定位；即，知道自己是誰，以及知道自己應(yīng)該做什么。這一點非常重要。如何做到差異化發(fā)展，就是認準(zhǔn)一條路并且持續(xù)投入并堅定地走下去，這一點很多企業(yè)很難清晰地看到這個邏輯，并堅持做下去。無論是企業(yè)自身的投入還是資本的投入，我們會發(fā)現(xiàn)我們的方向選擇很多、方案和思路也很多，導(dǎo)致一會做這個，又一會做那個，最終能做成功很少，就全球光刻膠行業(yè)來看，最終做成功的光刻膠公司僅10家；而最近3~5年內(nèi)，國內(nèi)光刻膠企業(yè)竟有14家，發(fā)展到最終，能存活5家就很了不起了。所以，我們國產(chǎn)企業(yè)千萬不要分心，要全力專注地發(fā)展。

第二，關(guān)于研發(fā)和測試。在光刻膠等半導(dǎo)體工藝材料方面，我們國產(chǎn)企業(yè)家進入很晚，在美國等發(fā)達國家，現(xiàn)在已經(jīng)沒有新的企業(yè)愿意進入這個行業(yè)，因為這個行業(yè)在它們那里已經(jīng)發(fā)展得非常成熟，新公司根本沒有創(chuàng)業(yè)的機會了。而在中國，從政治氣候，供應(yīng)鏈安全的視角來看，光刻膠國內(nèi)企業(yè)有3~5年的窗口期，去做創(chuàng)業(yè)。既然這樣我們已經(jīng)起步很晚了，要完成人家30年積累怎么辦？

合作是非常重要的。合作包括：跟下游客戶需求的探討，與測試平臺的協(xié)作，以及和供應(yīng)鏈緊密的配合等，快速達到一個客戶能用、好用、想用的這樣一個產(chǎn)品狀態(tài)。這些，我們都需花費很大氣力和功夫。

歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士

感謝黃艷總監(jiān)帶來的精彩分享，國產(chǎn)光刻膠企業(yè)的發(fā)展，需要具備兩方面：

第一，在專業(yè)領(lǐng)域的專注力。其實在國內(nèi)的半導(dǎo)體供應(yīng)鏈廠商，都會面臨來自資本方的壓力，大家首先想到如何實現(xiàn)IPO，不是大家如何擴充市場份額、提升市場營收；國內(nèi)行業(yè)環(huán)境鼓勵企業(yè)向資本市場獲得資金，可現(xiàn)實是，國內(nèi)很多企業(yè)IPO之后，就沒有了下文，IPO之后就迷失了自己，投資方和企業(yè)經(jīng)營研發(fā)團隊沒有繼續(xù)專注在更精的方向發(fā)展了，轉(zhuǎn)而做橫向擴展的產(chǎn)品道路，有時候這也不是企業(yè)主自己所愿意的，它會受到資本方的牽制，這可能是國內(nèi)市場背景下，企業(yè)方和投資方經(jīng)常產(chǎn)生的分歧，導(dǎo)致企業(yè)無法鎖定一個既定目標(biāo)精耕細作。

第二、國內(nèi)相關(guān)上市企業(yè)發(fā)展過度膨脹，比如一些上市的設(shè)備廠商，導(dǎo)致營收少毛利低、技術(shù)停滯不前、客戶埋怨。扭住這種局面的方法，除了剛才黃總提到的供應(yīng)鏈緊密合作外，我的建議是，請這些廠商張開雙臂，歡迎更多國內(nèi)外人才和供應(yīng)商，展開合作。在這個方面，國內(nèi)的行業(yè)生態(tài)十分欠缺。

中國半導(dǎo)體要做的是門類齊全的產(chǎn)業(yè)鏈，在工藝材料方面，我們歡芯鼓舞平臺里面就有專業(yè)的對口在資源，在里面可以找到合適人才和合作方。

微禎新材料創(chuàng)始人 陳朝琦

陳朝琦創(chuàng)始人補充道，在供應(yīng)鏈和客戶端關(guān)系上，要滿足先進工藝的需求發(fā)展，目前有一個比較大的問題是，供應(yīng)鏈在研發(fā)的時候，其實不知道也不了解客戶真正想需求的規(guī)格是什么？在研發(fā)先進工藝時會用到先進材料，他不知道要去找誰？比如，客戶要做14，7，5，3nm制程時，他會需要新的材料，如鑭系材料，國內(nèi)在哪里尋找？供應(yīng)鏈里哪個可以提供？事實上，確實有人提供給這些。但是研發(fā)端真的不清楚這些，這是需要我們補充的一個環(huán)節(jié)。

問題二：國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的現(xiàn)況及面臨的挑戰(zhàn)和機遇為何？

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歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士

半導(dǎo)體設(shè)備門類繁多，特別是美國現(xiàn)在對華進行出口管制。不僅僅是ASML光刻機，還有像KLA、LAM Reserch等半導(dǎo)體設(shè)備巨頭企業(yè)全在美國，這也正是對中國卡脖子的地方。雖然國內(nèi)中微電子、拓晶、盛美等企業(yè)在獲得國內(nèi)資本市場的資助后，取得長足進步。但是在當(dāng)前的國際局勢下，國產(chǎn)廠商也將面臨巨大的挑戰(zhàn)和機遇。陳總在國內(nèi)大型晶圓工廠工作過，接下來，請他在這方面給大家?guī)硪恍┓窒怼?/p>

微禎新材料創(chuàng)始人 陳朝琦

我們以28nm節(jié)點制程為分界來說，國內(nèi)同行設(shè)備已經(jīng)突破實現(xiàn)了從無到有的這個過程。而28nm以下的設(shè)備，國內(nèi)處于一個從有到精的階段。那么針對已“有”的部分，分為軟實力和硬實力。軟實力是指軟件，它包含控制、工藝參數(shù)等方面，這是我們的國內(nèi)設(shè)備供應(yīng)商相對欠缺的地方。硬實力是硬件，國內(nèi)設(shè)備中大約有7個主要品類部件在國內(nèi)沒有合適的供應(yīng)商，如傳送機械臂、功率發(fā)生器、密封件、一體傳送泵、部分流量儀表等，這些依舊很依賴海外供應(yīng)。比如像法蘭件，這些基礎(chǔ)機械工業(yè)品，在國內(nèi)沒有合適的替代。所以在成熟制程方面的設(shè)備，我們?nèi)孕枭罡?。我們的基礎(chǔ)材料、基礎(chǔ)元器件等還需往下扎根。在高階制程部分，國內(nèi)企業(yè)除了需要與客戶合作、工藝研發(fā)外，我所了解的高階制程研發(fā)不在大陸在臺灣。像中微、拓晶、盛美這些知名企業(yè)在臺灣進行研發(fā)。目前新的產(chǎn)能都在大陸，有很大的市場空白。但是一些工藝材料基礎(chǔ)軟件的開發(fā)方面，大陸企業(yè)仍需努力。

歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士

陳總分享的很好，目前國內(nèi)從事半導(dǎo)體材料、基礎(chǔ)軟件等企業(yè)，它們的營收毛利基本停留在第三象限（營收少毛利少），而有獲得政府補貼的企業(yè)毛利相對高。軟件方面，比如CPU主控軟件、控制軟件、制程參數(shù)等。這一方面，存在很多機遇與臺灣半島體產(chǎn)業(yè)主鏈條進行對接；關(guān)于硬件的研發(fā)，也需要半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主鏈條的支持，特別是在高端制程領(lǐng)域。比如，臺灣有著名的腔體公司、機電公司、電氣公司、儀表、真空、氣體等公司，他們長期與海外一流廠商合作，同時具有相當(dāng)豐富的產(chǎn)品和經(jīng)驗。

問題三：國產(chǎn)半導(dǎo)體工藝材料供應(yīng)鏈的安全與完善，如何建立？

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宏芯氣體CEO 白久

國內(nèi)供應(yīng)鏈發(fā)展由弱到強，其安全性的重要性日益提高。國內(nèi)半導(dǎo)體基礎(chǔ)材料領(lǐng)域投入少，缺口大。我國是鋼鐵產(chǎn)量大國，但是在先進制程里所需的電子管材仍需依賴進口，有些母材也需進口。設(shè)備內(nèi)一些器件，像分子篩、催化劑等之類，我們也未國產(chǎn)。長期性來看，我們要認識到差異化，我們的差距在哪里？第二，我們需要堅持研發(fā)的投入。第三，需要產(chǎn)業(yè)的配合、生態(tài)圈的支持和合作。另外，國內(nèi)的產(chǎn)學(xué)研的協(xié)作機制不夠。從長遠看，半導(dǎo)體的基礎(chǔ)性研究可能是我們需要突破的地方。

問題四：國內(nèi)半導(dǎo)體工藝技術(shù)進程，現(xiàn)有情況與未來的發(fā)展趨勢為何？

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微禎新材料創(chuàng)始人 陳朝琦

以AI,IoT,汽車電子這部分應(yīng)用導(dǎo)向為例，在邏輯器件的技術(shù)進程方面，臺積電已經(jīng)做到1nm制程；大陸可以量產(chǎn)的是14nm制程。二者之間存在幾個代差。國內(nèi)28nm以下制程被迫受到限制，同時我們在橫向發(fā)展，比如三代半的半導(dǎo)體，用不同的材料，不同的形式，多維度發(fā)展半導(dǎo)體成品。比如存儲器、傳感器件等這些都有很大的發(fā)展空間。因為深度拓展上受限，未來的趨勢可能在拓寬廣度上。所以在成熟制程工藝領(lǐng)域，我們要完全掌握自主能力，這關(guān)系到民生所用，需求量也是非常巨大的。

飛凱材料總監(jiān) 黃艷

補充一點：關(guān)于功率半導(dǎo)體。IGBT這個產(chǎn)品在國內(nèi)市場已經(jīng)開花結(jié)果。像硅基IGBT, 由于國內(nèi)電動汽車的需求，現(xiàn)在的投入和發(fā)展的速度遠超過去。包括SiC這類半導(dǎo)體，國內(nèi)的投入也是超過千億級別，對比英飛凌、Cree公司，他們的投入是細水長流的狀態(tài)。整體以功率器件的角度來看，比如IGBT，我們的硅基技術(shù)參照英飛凌的段代設(shè)計，它們的產(chǎn)品在G7,而我們的能力在G4，按我們現(xiàn)有的研發(fā)速度和資金投入速度，那么我們還有3~4年的3個代差，包括DRAM，邏輯等，在今天看來，我們還有2~3年的代差。我個人看法是，未來我們的發(fā)展將變得非常艱難。比如DRAM,當(dāng)發(fā)展到了EUV這個階段的整體研發(fā)投入非常大，一般企業(yè)無法支撐。以臺積電來看，5nm制程研發(fā)投入超過200億美元。

所以，我對先進邏輯器件制程的研發(fā)是有擔(dān)憂的。反觀Memory、DRAM一樣，它們在高端制程上所需的設(shè)備、EDA等支持會受到?jīng)_擊，企業(yè)突破這些限制將比以前更加困難。然而功率半導(dǎo)體相對簡單一些，它們晶圓主要是8寸。對于國內(nèi)的優(yōu)勢在于中道工藝的封裝集成方面。我們晶圓級封裝的功底不錯，比如，長電、通富、華天它們在封裝領(lǐng)域也是全球排名前十，后期高密度集成技術(shù)方面我們會向韓國、臺灣看齊，這將為我們在低功耗、不追求單片面積縮小的前提下，具有成本空間。

歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士

半導(dǎo)體是一個全球化的產(chǎn)業(yè)，并不一定在國內(nèi)非要做出EUV、7nm以下 這樣一個設(shè)備，投資成本和技術(shù)積累是需要一個長期的過程。雖然我們暫時無法改變國際局勢，但是我們從中共20大之后的國家領(lǐng)導(dǎo)人之間的會晤中看出，很多國家希望在中國找到商機，市場在中國在這邊。我們可去海外找到更好的合作。通過這一角度，我認為，沒有必要因為要喝一杯牛奶，去養(yǎng)一頭牛。就目前而言，我們先將成熟制程的產(chǎn)業(yè)鏈做齊全強大。

問題五：以支持供應(yīng)鏈的角度，國內(nèi)支持先進半導(dǎo)體工藝的技術(shù)發(fā)展和創(chuàng)新提升的方法為何？

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飛凱材料總監(jiān) 黃艷

以光刻膠領(lǐng)域來說，客戶也在呼喚著國有產(chǎn)品“從有到好”的訴求。我們希望先進工藝的用戶，在以下幾點做出考量：

1、在下游客戶提出需求的時，客戶往往希望供應(yīng)商能提供COPY EXACTLY(完美復(fù)制），未來這條路行不通，一來專利的問題，二來對人才的創(chuàng)新是一個束縛。企業(yè)的時間成本高，企業(yè)估計做1，2年就退出了。這樣對整個產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展不利。我們非常希望我們的下游伙伴，在產(chǎn)品設(shè)計、工藝開發(fā)的前期，可以有一定的容錯率，以及對新產(chǎn)品的創(chuàng)新有接受能力。在這個階段，最好就把材料廠商帶入進來，同時也可以可以讓材料廠商提供材料的原理、和擴展區(qū)間，讓材料廠商也可發(fā)揮自己的能動性。

2、關(guān)于材料的測試。材料測試費用占材料研發(fā)費用的大部分，按1臺黃光的機臺舉例，其研發(fā)機臺的成本有可能占整個材料在后續(xù)量產(chǎn)的30%以上（5年內(nèi)）。上海這邊目前已經(jīng)有一些公共測試平臺，更多的fab也在考慮類似的模式，這對于培養(yǎng)國產(chǎn)供應(yīng)鏈的企業(yè)益處頗多，讓廠商在研發(fā)階段早一些 ，并且相對低成本的進入測試環(huán)節(jié)。

3、量產(chǎn)是一個挑戰(zhàn)。有些企業(yè)量產(chǎn)都是以打擦邊球的方式完成小量生產(chǎn)，這些材料環(huán)評申報后被判定為化學(xué)品，如果這些材料廠商能匯集到一些能快速啟動生產(chǎn)的平臺，比如有fab可以在落戶的同時預(yù)留出一個產(chǎn)業(yè)園作為生產(chǎn)平臺，幫助這些材料企業(yè)實現(xiàn)快速量產(chǎn)。這可能能夠加速培育供應(yīng)鏈。

問題六：國產(chǎn)電子氣體供應(yīng)鏈如何助力半導(dǎo)體芯片制造商達成實現(xiàn)芯片最佳性能？

▲第十五屆晶芯在線研討會-現(xiàn)場截圖

宏芯氣體CEO 白久

從三方面闡述這個問題：

1、技術(shù)方案；2、工廠建設(shè)；3、未來運營。

1、技術(shù)方案的確定，我們需要與業(yè)主充分交流。我們要對客戶產(chǎn)品規(guī)劃、品質(zhì)要求、氣體要求、未來的爬坡提升計劃詳細了解。有的客戶從成熟制程直接做起，然后切入14nm制程；有的客戶也在規(guī)劃7nm制程等，這樣對電子特氣的技術(shù)方案是一個挑戰(zhàn)。同時也要進行詳盡的Spec確認、設(shè)備及品牌確認。

2、電子特氣的建設(shè)和工廠建設(shè)一樣，它是一個精密的氣體生產(chǎn)工廠的建造，這里會涉及到一些政府license,包括安全管理規(guī)范、建筑規(guī)劃、建廠進度、成本綜合控制，最重要的是我們進場之后，氣體工藝的加工過程，驗收、測試等等，盡快達到業(yè)主的需求。

3、運營的長期安全穩(wěn)定性。半導(dǎo)體工廠屬于重資產(chǎn)投資企業(yè)，其經(jīng)營損失是按照每小時計算，所以它經(jīng)受不起長時間的損失。氣體對于客戶而言的幾個考核指標(biāo)：品質(zhì)、穩(wěn)定性、可靠性。還有一些被業(yè)主忽視的是，氣體供應(yīng)鏈的配送，因為有一些氣體不是現(xiàn)場制造的。我們也要考量外購氣體安全可靠性，配送能力，這些也是外資經(jīng)過幾十年的積累發(fā)展了自己的體系。另外一個被業(yè)主忽視的是，強大的氣體中央的技術(shù)支持能力，現(xiàn)場運維資產(chǎn)的搭建等。再就是業(yè)主的生產(chǎn)過程也是動態(tài)的，比如技術(shù)改造，我們氣體的資源也要及時跟上。氣體公司的體系化建設(shè)對保證半導(dǎo)體公司產(chǎn)品良率極為重要。比如，安全體系、質(zhì)量體系、應(yīng)急體系等等。我們與半導(dǎo)體業(yè)主交流外，同時與下游合作伙伴的交流極為重要。在更高制程領(lǐng)域，我們也要做好前期的技術(shù)研發(fā)、氣體行業(yè)內(nèi)上下游的配合。國產(chǎn)廠商要替代外資，我們一定要提前做好技術(shù)判別、儲備、相關(guān)體系的建設(shè)等。

會議最后，羅仕洲博士強調(diào)，唯有我們半導(dǎo)體供應(yīng)鏈同仁齊心協(xié)力，才能抱團一起向前走！

直播間內(nèi)聽眾們紛紛提出了他們對于本次主題會議的一些問題，經(jīng)專家們答疑后，集中問答反饋將在公眾號內(nèi)推出，請持續(xù)關(guān)注。

▲第十五屆晶芯在線研討會-部分提問

2022年晶芯研討會壓軸會議已圓滿收官，2023年我們不見不散~

▲第十五屆晶芯在線研討會-現(xiàn)場截圖

審核編輯黃昊宇