欧美性猛交xxxx免费看_牛牛在线视频国产免费_天堂草原电视剧在线观看免费_国产粉嫩高清在线观看_国产欧美日本亚洲精品一5区

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

3D NAND結(jié)構(gòu)給制造過程帶來的挑戰(zhàn)

半導體設(shè)備與材料 ? 來源:泛林半導體設(shè)備技術(shù) ? 2023-01-08 11:22 ? 次閱讀

3D NAND閃存實現(xiàn)了新一代的非易失性固態(tài)存儲,適用于幾乎所有我們可以想像得到的電子設(shè)備。

3D NAND能夠?qū)崿F(xiàn)超過2D NAND結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)密度,即便是在新一代技術(shù)節(jié)點上制造時也是如此。

然而,目前提高3D NAND存儲容量的方法可能會帶來一些在存儲器儲存、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和電氣特性方面的不利影響。

3D NAND器件及其工作原理

3D NAND器件包括三個主要組成部分一是存儲數(shù)據(jù)的通道區(qū)域,它以垂直方式穿過交替堆疊的導體層和絕緣層;二是“階梯”,用于訪問上文提及各層中的每個字線;三是狹縫,用于隔離連接位線的通道。下圖展示了3D NAND堆疊的剖面圖(左)與示意圖(右):

poYBAGO6NyuAeo2CAAEut_UmS1g924.jpg

如上圖所示,電荷擷取型3D NAND結(jié)構(gòu)采用鎢和二氧化硅的交替堆疊,其垂直圓柱狀通道穿透整個堆疊。當電壓施加到字線時,電子通過隧道從通道區(qū)域移動到由氮化硅組成的電荷擷取層,數(shù)據(jù)被寫入或擦除。

存儲容量挑戰(zhàn)

雖然3D NAND存儲容量的提高看似可以通過添加更多堆疊層非常輕松地實現(xiàn),但堆疊高度的增加會帶來很大的挑戰(zhàn)。如下圖所示,通道的可用面積將會減小


poYBAGO6N0WAFBnKAAEMONpUwA0315.jpg


隨著“階梯”高度的提高,可用的空間隨之減少。在某些類型的3D NAND中,由于去除了階梯“臺階”之間的犧牲層,產(chǎn)生了更多的挑戰(zhàn)。

在這些結(jié)構(gòu)中,工程師通過濕法刻蝕去除犧牲層,是為了給之后制造工藝中的原子層沉積創(chuàng)造空間。

因此,更高的階梯意味著有更長的隔離層將懸浮在空中,也意味著結(jié)構(gòu)崩塌的可能性更高

pYYBAGO6N1yAd8weAADwPBgca2Y762.jpg
對臺階進行分區(qū),可在臺階結(jié)構(gòu)中插入更多字線接觸通孔,從而創(chuàng)建更緊湊的階梯,而不出現(xiàn)崩塌的危險。

但是,由于所有通道必須進行電氣隔離,可訪問通道的數(shù)量取決于適應通道間距的最小導線間距(假設(shè)每個通道都有自己的導線)。

基于目前的制造技術(shù)(2018年底/2019年初),分區(qū)后的通道數(shù)量被限制在四個左右

poYBAGO6N3KAOPFAAAEkk7s4AWk751.jpg

但是,更寬的堆疊(因需要的狹縫數(shù)量少而受用戶歡迎)可能包含四個以上的通道,它們需要被分成多個周期組。

通過使用刻蝕工藝來穿透一部分層,將通道組隔離,有效地使用幾個浮動柵級層作為選擇器晶體管


poYBAGO6N4iAZFgLAAFSUiMcIxM251.jpg

支撐列影響分析

由于3D NAND的制造工藝非常復雜,因而我們很難全面理解在存儲容量和穩(wěn)定性方面的各種權(quán)衡因素,以及由于在堆疊中添加更多層、臺階分區(qū)、層穿透而導致的其他屬性變化。

以下所示的虛擬工藝模型模擬了建議的制造步驟。我們使用SEMulator3D?來測試不同支撐列數(shù)量和接觸通孔尺寸產(chǎn)生的結(jié)果。

所添加的列用于在去除階梯層之間的犧牲材料過程中支撐整個結(jié)構(gòu),它的孔由刻蝕形成,并用二氧化硅填充。


poYBAGO6N56AMwZdAAE5TZUrOw0528.jpg

在對Semulator3D模型執(zhí)行的電氣分析中,我們研究了隔離字線層,并模擬了列尺寸對電阻和字線電容的影響(在右圖中,孔直徑表示列寬度):


pYYBAGO6N7aAZFDTAAEsLeDE2fw063.jpg
擴大支撐列可以提供更好的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性,但會增加字線電阻,占用更多的空間。

因此,在器件的結(jié)構(gòu)完整性允許的情況下,最大程度地減小支撐列的尺寸和數(shù)量對器件結(jié)構(gòu)是有幫助的。

本研究展示了分層3D NAND階梯結(jié)構(gòu)的實際工藝模型。我們還應用了虛擬的制造技術(shù),加深在使用支撐列增強高密度存儲結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性過程中的各種權(quán)衡因素的理解。







審核編輯:劉清

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
  • 晶體管
    +關(guān)注

    關(guān)注

    77

    文章

    9764

    瀏覽量

    138941
  • NAND閃存
    +關(guān)注

    關(guān)注

    2

    文章

    224

    瀏覽量

    22858
  • 固態(tài)存儲
    +關(guān)注

    關(guān)注

    1

    文章

    53

    瀏覽量

    12909

原文標題:3D NAND閃存的存儲密度

文章出處:【微信號:半導體設(shè)備與材料,微信公眾號:半導體設(shè)備與材料】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

收藏 人收藏

    評論

    相關(guān)推薦

    預期提前,鎧俠再次加速,3D NAND準備沖擊1000層

    電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/黃山明)近日,鎧俠再次宣布,將在2027年實現(xiàn)3D NAND的1000層堆疊,而此前鎧俠計劃是在2031年批量生產(chǎn)超1000層的3D NAND存儲器。三星也在此前
    的頭像 發(fā)表于 06-29 00:03 ?4678次閱讀

    TechWiz LCD 3D應用:局部液晶配向

    ,本案例使用TechWiz LCD 3D進行局部摩擦的設(shè)置。 1. 建模任務 1.1進行局部摩擦配置 2. 建模過程 以下是建模過程中部分重要步驟的說明 2.1在TechWiz Layout中創(chuàng)建
    發(fā)表于 02-08 08:52

    英倫科技裸眼3D便攜屏有哪些特點?

    英倫科技裸眼3D便攜屏采用了領(lǐng)先的光場裸眼3D技術(shù),無需佩戴3D眼鏡即可觀看,用戶帶來裸眼看3D
    的頭像 發(fā)表于 02-06 14:20 ?69次閱讀
    英倫科技裸眼<b class='flag-5'>3D</b>便攜屏有哪些特點?

    自帶尺寸標注的3D預覽為制造商組件提供更強勁的客戶體驗

    工業(yè)組件制造商通過將尺寸直接嵌入到3D產(chǎn)品預覽中,從而簡化了查找、配置、選型和購買產(chǎn)品的過程。此功能可幫助工程師快速確定產(chǎn)品的規(guī)格,以及螺栓間距、軸尺寸、內(nèi)徑(ID)、外徑 (OD) 等關(guān)鍵尺寸
    發(fā)表于 01-20 16:09

    【半導體存儲】關(guān)于NAND Flash的一些小知識

    技術(shù)方案。   三、NAND Flash分類   NAND閃存卡的主要分類以NAND閃存顆粒的技術(shù)為主,NAND閃存顆粒根據(jù)存儲原理分為SLC、MLC、TLC和QLC,從
    發(fā)表于 12-17 17:34

    TechWiz LCD 3D應用:撓曲電效用仿真

    完成后在TechWiz LCD 3D中加載并進行相關(guān)參數(shù)設(shè)置 2.2在TechWiz LCD 3D軟件中開啟應用撓曲電效應的功能 2.3其它設(shè)置 液晶設(shè)置 電壓條件設(shè)置 光學分析部分,添加偏振片 結(jié)果查看 3.1 V-T曲線 3.2 結(jié)果對比
    發(fā)表于 12-10 13:43

    3D集成電路的結(jié)構(gòu)和優(yōu)勢

    3D 集成電路的優(yōu)勢有目共睹,因此現(xiàn)代芯片中也使用了 3D 結(jié)構(gòu),以提供現(xiàn)代高速計算設(shè)備所需的特征密度和互連密度。隨著越來越多的設(shè)計集成了廣泛的功能,并需要一系列不同的特征,3D 集成
    的頭像 發(fā)表于 12-03 16:39 ?993次閱讀
    <b class='flag-5'>3D</b>集成電路的<b class='flag-5'>結(jié)構(gòu)</b>和優(yōu)勢

    安寶特產(chǎn)品 安寶特3D Evolution:增材制造零件查找器

    安寶特3D Evolution 的Partfinder 管理器,可以自動識別3D打印部件,針對不同的 3D 打印流程和機器類型進行分析、分類和格式轉(zhuǎn)換。與此同時,Partfinder 管理器具有的批量處理模式,能夠有效應對大型數(shù)
    的頭像 發(fā)表于 08-07 13:24 ?337次閱讀
    安寶特產(chǎn)品  安寶特<b class='flag-5'>3D</b> Evolution:增材<b class='flag-5'>制造</b>零件查找器

    3D封裝熱設(shè)計:挑戰(zhàn)與機遇并存

    隨著半導體技術(shù)的不斷發(fā)展,芯片封裝技術(shù)也在持續(xù)進步。目前,2D封裝和3D封裝是兩種主流的封裝技術(shù)。這兩種封裝技術(shù)在散熱路徑和熱設(shè)計方面有著各自的特點和挑戰(zhàn)。本文將深入探討2D封裝和
    的頭像 發(fā)表于 07-25 09:46 ?1546次閱讀
    <b class='flag-5'>3D</b>封裝熱設(shè)計:<b class='flag-5'>挑戰(zhàn)</b>與機遇并存

    3D打印汽車零部件建模設(shè)計3D打印服務

    傳統(tǒng)的汽車零件制造過程需要經(jīng)過多個環(huán)節(jié),包括設(shè)計、制造、裝配等,耗時且復雜。而采用3D打印技術(shù)制造汽車零件可以大幅度縮短生產(chǎn)周期。設(shè)計人員可
    的頭像 發(fā)表于 07-21 15:01 ?649次閱讀
    <b class='flag-5'>3D</b>打印汽車零部件建模設(shè)計<b class='flag-5'>3D</b>打印服務

    上海伯東工業(yè)級3D打印機為機器人的制造工藝帶來新變革

    上海伯東 Stratasys H350 3D打印機, 使用工業(yè)級 SAF 選擇性吸收熔融技術(shù), 逐步替代傳統(tǒng)的生產(chǎn)方式, 3D打印機助力機器人研發(fā)與制造, 為機器人的制造工藝
    的頭像 發(fā)表于 07-05 17:22 ?1380次閱讀

    鎧俠瞄準2027年:挑戰(zhàn)1000層堆疊的3D NAND閃存新高度

    在全球半導體行業(yè)的激烈競爭中,日本知名存儲芯片制造商鎧俠(Kioxia)展現(xiàn)了其雄心壯志和堅定決心。在結(jié)束了長達20個月的NAND閃存減產(chǎn)計劃后,鎧俠的兩座日本工廠生產(chǎn)線開工率已提升至100%,同時上周還公布了其令人矚目的3D
    的頭像 發(fā)表于 06-29 09:29 ?692次閱讀

    請問3D NAND如何進行臺階刻蝕呢?

    3D NAND制造過程中,一般會有3個工序會用到干法蝕刻,即:臺階蝕刻,channel蝕刻以及接觸孔蝕刻。
    的頭像 發(fā)表于 04-01 10:26 ?1003次閱讀
    請問<b class='flag-5'>3D</b> <b class='flag-5'>NAND</b>如何進行臺階刻蝕呢?

    尼龍材料3D打印加工服務小批量3D打印模型制作

    3D打印技術(shù)可直接小批量制造較為復雜工件,無需開模,正向制造,因此可以大大縮短企業(yè)產(chǎn)品的設(shè)計周期,降低研發(fā)成本、提高產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)效率,選區(qū)燒結(jié)技術(shù)(MJF)技術(shù)的成熟也尼龍產(chǎn)品
    的頭像 發(fā)表于 03-25 10:15 ?580次閱讀
    尼龍材料<b class='flag-5'>3D</b>打印加工服務小批量<b class='flag-5'>3D</b>打印模型制作

    有了2D NAND,為什么要升級到3D呢?

    2D NAND3D NAND都是非易失性存儲技術(shù)(NVM Non-VolatileMemory),屬于Memory(存儲器)的一種。
    的頭像 發(fā)表于 03-17 15:31 ?1129次閱讀
    有了2<b class='flag-5'>D</b> <b class='flag-5'>NAND</b>,為什么要升級到<b class='flag-5'>3D</b>呢?