薄膜激光損傷的定義為由于激光作用使薄膜樣品性能或者結(jié)構(gòu)發(fā)生可以觀察到的變化 。

薄膜的激光損傷分為兩類，第一類是不可逆性損傷， 薄膜的結(jié)構(gòu)和材料物性不可恢復(fù)；第二類為可逆性損傷， 此時薄膜的功能發(fā)生瞬態(tài)、可恢復(fù)變化 。

目前針對薄膜激光損傷的研究主要是提升薄膜不可逆性損傷抗性。激光損傷閾值的定義為薄膜或器件發(fā)生臨界損傷時入射激光光束的能量功率密度的大小。

激光損傷閾值與材料本身的不均勻性和激光輸出特性的起伏等原因有關(guān)激光損傷的發(fā)生具有一定的概率性 。激光損傷概率與能量密度關(guān)系示意圖如下圖

在激光作用后薄膜的激光損傷形態(tài)主要分為兩種，第一種為結(jié)構(gòu)損傷形態(tài)，如形變 、 相變、色變 、 熔化、炸裂 、 薄膜剝層或脫落等。第二種為功能損傷形態(tài)，如熱形變 、 折射率 變化 、透射率變化 、 散射大幅增強等。
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審核編輯 ：李倩