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基于MIS納米結(jié)構(gòu)的片上等離子體催化氫氣傳感器介紹

MEMS ? 來(lái)源:MEMS ? 2023-03-30 09:50 ? 次閱讀

氫能源是一種零碳排放的化石燃料替代品。隨著氫經(jīng)濟(jì)的興起,推動(dòng)了氫氣傳感器3A標(biāo)準(zhǔn)的制定,即Accessible(高集成度、易于使用)、Affordable(低制造及使用成本)和Appliable(高精度、快速響應(yīng))。然而,由于氫氣具有高度易燃易爆的特性,因此及時(shí)靈敏的泄漏檢測(cè)至關(guān)重要。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近日,暨南大學(xué)陳沁教授團(tuán)隊(duì)聯(lián)合英國(guó)格拉斯哥大學(xué)David R.S. Cumming教授團(tuán)隊(duì)提出一種基于金屬-絕緣層-半導(dǎo)體(MIS)納米結(jié)構(gòu)的片上等離子體催化氫氣傳感器,可在室溫和零偏置下工作,其濃度檢測(cè)限低至1 ppm。

與其他非等離子體器件相比,該器件的傳感信號(hào)增強(qiáng)了3個(gè)數(shù)量級(jí),響應(yīng)速度提高了1個(gè)數(shù)量級(jí),該性能優(yōu)勢(shì)歸功于氫誘導(dǎo)界面偶極電荷層和等離子體熱電子調(diào)制光電響應(yīng)。這種將等離子體光學(xué)、光電檢測(cè)和光催化集于一體的片上集成技術(shù),為下一代光學(xué)氣體傳感器提供了非常有前景的策略,能夠更好地滿足高靈敏度、低時(shí)延、低成本、高便攜性和靈活性的需求。相關(guān)研究成果已發(fā)表于Light: Science & Applications期刊。

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用于揭示氫分子和熱電子之間相互作用的等離子體催化MIS結(jié)構(gòu)

等離子體傳感是一種新興技術(shù),具有滿足氫氣傳感器3A標(biāo)準(zhǔn)的潛力。由于金屬表面強(qiáng)烈的局域電磁場(chǎng),表面等離子體共振(SPR)和被測(cè)物質(zhì)的相互作用會(huì)導(dǎo)致共振波長(zhǎng)、振幅、相位和偏振產(chǎn)生顯著變化,表現(xiàn)出超高的靈敏度。此外,低成本的納米制備技術(shù),例如納米壓印、納米球光刻和化學(xué)合成已被廣泛用于制造各種等離子體傳感結(jié)構(gòu)。然而,盡管傳感器芯片本身結(jié)構(gòu)緊湊,由于缺乏原位光電轉(zhuǎn)換能力,等離子體傳感器嚴(yán)重依賴于光譜儀和BioCore生物分析傳感系統(tǒng)等復(fù)雜、昂貴的儀器,限制了其在現(xiàn)場(chǎng)和便攜式裝置上的應(yīng)用。

針對(duì)這一問(wèn)題,陳沁教授等研究人員提出一種由鉑-硅納米結(jié)構(gòu)組成的新型氫傳感系統(tǒng),具有等離子體傳感、光電檢測(cè)和光催化三重功能。在等離子體激元激發(fā)下,氫氣在MIS結(jié)構(gòu)上的注入會(huì)導(dǎo)致出現(xiàn)一種與惰性氣體中測(cè)量結(jié)果顯著不同的異常光電I-V特性。在I-V曲線中觀察到的S形扭結(jié)表明,由于扭結(jié)附近形成了偶極電荷層,氫分子對(duì)熱電子收集過(guò)程產(chǎn)生了抑制作用??紤]到界面偶極子和量子隧穿過(guò)程,研究人員建立了耦合光電模擬模型,以揭示其背后的機(jī)制。結(jié)果表明,界面偶極電荷的存在是光電扭結(jié)效應(yīng)的主要決定因素,因?yàn)樗T導(dǎo)了一個(gè)強(qiáng)大的阻擋場(chǎng),阻止了光產(chǎn)生的熱電子隧穿氧化物層。這個(gè)研究結(jié)果為揭示分子、等離子體激元和催化劑之間相互作用的復(fù)雜機(jī)制提供了重要見(jiàn)解。

依賴于氫介導(dǎo)的扭結(jié)效應(yīng),等離子體催化MIS結(jié)構(gòu)可用于實(shí)現(xiàn)具有魯棒性的光電氫氣傳感器。與傳統(tǒng)的基于MIS或金屬-半導(dǎo)體(MS)結(jié)構(gòu)的電化學(xué)氣體傳感器相比,該光電傳感策略具有以下優(yōu)勢(shì):(1)金屬催化劑中熱電子動(dòng)力學(xué)的參與可以促進(jìn)表面氫分子的解離反應(yīng),從而使器件獲得較高的響應(yīng)速度;(2)基于氫調(diào)控光電轉(zhuǎn)換,循環(huán)測(cè)試時(shí)的電流偏移可比暗操作模式高出約1500倍;(3)所提出的傳感器裝置在室溫和零偏置條件下運(yùn)行,能夠?qū)O低的氫含量(ppm級(jí)別)提供可重復(fù)、靈敏的響應(yīng),且無(wú)需電加熱和外部電壓偏置。

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使用量子隧穿模型定量描述氫誘導(dǎo)的S扭結(jié)效應(yīng)

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等離子體催化MIS結(jié)構(gòu)器件的氫傳感性能

這項(xiàng)研究提出的等離子體催化MIS納米結(jié)構(gòu)策略,有望為便攜式和現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)提供具有高靈敏度、高集成度和低成本的3A標(biāo)準(zhǔn)氣體傳感平臺(tái)。

通過(guò)將等離子體熱載流子動(dòng)力學(xué)與界面電結(jié)構(gòu)催化反應(yīng)相結(jié)合,不僅為基礎(chǔ)科學(xué)提供了豐富的研究領(lǐng)域,還對(duì)開(kāi)發(fā)更高效的光催化和生化傳感策略具有重大的實(shí)際意義。





審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:基于MIS納米結(jié)構(gòu)的片上等離子體催化氫氣傳感器,濃度檢測(cè)限低至1 ppm

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