基于空間光調(diào)制器LCOS-SLM的激光加工應(yīng)用
濱松LCOS特有的介質(zhì)鏡Dielectric Mirror專利，大大提高了以下三點(diǎn)性能：
1. 對強(qiáng)激光的功率閾值。同時(shí)提高了平均功率和脈沖激光的峰值功率。
2. 光利用率。即LCOS的反射率，介質(zhì)鏡可以使光強(qiáng)的損失降到最低。
3. 調(diào)制精度。主要影響LCOS的表面平整度，見下圖：
50×50點(diǎn)陣圖：
審核編輯黃宇
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