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      面向光刻的設(shè)計(jì)規(guī)則建立及優(yōu)化

      jf_BPGiaoE5 ? 來(lái)源：光刻人的世界 ? 2023-06-14 10:16 ? 次閱讀

      編者按

      中國(guó)科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)院是國(guó)家首批支持建設(shè)的示范性微電子學(xué)院。為了提高學(xué)生對(duì)先進(jìn)光刻技術(shù)的理解，本學(xué)期集成電路學(xué)院開(kāi)設(shè)了《集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)計(jì)優(yōu)化》研討課。在授課過(guò)程中，除教師系統(tǒng)地講授外，學(xué)生還就感興趣的課題做深入調(diào)研。師生共同討論調(diào)研報(bào)告，實(shí)現(xiàn)教學(xué)互動(dòng)。調(diào)研的內(nèi)容涉及光刻工藝、光刻成像理論、SMO、OPC和DTCO技術(shù)。

      考慮到這些內(nèi)容也是目前業(yè)界關(guān)注的實(shí)用技術(shù)，征得教師和學(xué)生的同意，本公眾號(hào)將陸續(xù)展示一些學(xué)生的調(diào)研結(jié)果。這些報(bào)告還很初步，甚至有少許謬誤之處，請(qǐng)業(yè)界專家批評(píng)指正。

      以下為報(bào)告PPT：

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      審核編輯：湯梓紅

      聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫(xiě)或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問(wèn)題，請(qǐng)聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
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      原文標(biāo)題：【Study】面向光刻的設(shè)計(jì)規(guī)則建立及優(yōu)化

      文章出處：【微信號(hào)：光刻人的世界，微信公眾號(hào)：光刻人的世界】歡迎添加關(guān)注！文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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