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10.4.3 納米壓?。∟IL)∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書(shū)》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-04-16 15:10 ? 次閱讀

Nanoimprint Lithography

審稿人:中芯國(guó)際集成電路制造有限公司 吳漢明

https://www.smics.com

美國(guó)科天(KAL-Tencor)公司 蕭宏

審稿人:北京大學(xué) 張興 蔡一茂

https://www.pku.edu.cn

10.3 集成電路新材料

第10章 集成電路基礎(chǔ)研究與前沿技術(shù)發(fā)展

《集成電路產(chǎn)業(yè)全書(shū)》下冊(cè)

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