安捷倫4156A/Agilent4156B半導(dǎo)體參數(shù)分析儀
4156A 是安捷倫的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是用于各種測量功能的多合一工具。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀可以測量和分析多種電子設(shè)備、材料、有源或無源元件、半導(dǎo)體或任何其他類型的電子設(shè)備的電氣特性。工程師使用這臺測試設(shè)備來監(jiān)測不同類型設(shè)備中的電流和電壓響應(yīng)。附加的功能：

高分辨率/準(zhǔn)確度和寬范圍。I：1 fA 至 1 A（20 fA 偏移精度），V：1 μV 至 200 V
采用直流或脈沖模式的全自動 IV 掃描測量，可擴(kuò)展至 6 個(gè) SMU
同步應(yīng)力/測量功能，兩個(gè)高壓脈沖發(fā)生器單元 (±40 V)
時(shí)域測量：60 μS 可變間隔，最多 10,001 個(gè)點(diǎn)
易于使用：類似于曲線跟蹤器的旋鈕掃描，自動分析功能
自動化：內(nèi)置 HP Instrument BASIC、觸發(fā) I/O 功能
Agilent HP 4156A 是下一代精密半導(dǎo)體參數(shù)分析儀。您將獲得最好的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀、可靠性測試儀、功能強(qiáng)大的故障分析工具和自動進(jìn)貨檢測站，所有這些都集成在一臺儀器中。

這個(gè)新系列經(jīng)過明確設(shè)計(jì)，旨在為評估您的亞微米幾何器件提供前所未有的精度和功能。使用一臺靈活的儀器，您可以從材料評估和器件表征一直到最終封裝部件檢查和現(xiàn)場故障分析，提高您的半導(dǎo)體質(zhì)量。

Agilent HP 4156A 提供四個(gè)內(nèi)置電源/監(jiān)控器單元 (SMU)、兩個(gè)電壓源單元 (VSU) 和兩個(gè)電壓監(jiān)控器單元 (VMU)。Agilent HP 4156A 將電流分辨率擴(kuò)展至 1 fA，準(zhǔn)確度擴(kuò)展至 20 fA。Agilent HP 4156A 在每個(gè) SMU 上使用全開爾文遙感。

您可以隨時(shí)添加配備 0 V/1.6 A 接地單元的 Agilent HP 41501A SMU 和脈沖發(fā)生器擴(kuò)展器。擴(kuò)展器接受兩個(gè) 100 mA/100 V SMU 或一個(gè) 1 A/200 V SMU，以及兩個(gè)專門同步的 40 V/200 mA/1 μs 脈沖發(fā)生器。

設(shè)置和測量
Agilent HP 4156A 可以使用許多測量單元（包括 HP 41501A 中的單元）執(zhí)行階梯和脈沖掃描測量以及采樣（時(shí)域）測量，而無需更改連接。此外，您可以輕松地執(zhí)行應(yīng)力測量循環(huán)測試以進(jìn)行可靠性評估，例如熱載流子注入和閃存 EEPROM 測試。

設(shè)置和測量是通過設(shè)置頁面并使用前面板按鍵、鍵盤或 HP-IB（SCPI 命令）填充空白來進(jìn)行的。您還可以使用類似于曲線跟蹤器操作的旋鈕掃描功能即時(shí)測量和查找設(shè)置條件。

顯示和分析
測量和分析結(jié)果顯示在彩色 CRT 上，您可以將四個(gè)圖形存儲器中存儲的圖形疊加起來進(jìn)行比較。許多強(qiáng)大的圖形分析工具可以輕松分析和提取許多參數(shù)，例如 hFE 和 Vth。一旦找到參數(shù)提取條件，就可以使用自動分析功能自動獲取參數(shù)。

輸出和存儲
設(shè)置、測量和分析數(shù)據(jù)可以通過 HP-IB 或串行接口輸出到彩色繪圖儀和打印機(jī)。您還可以將數(shù)據(jù)以 MS-DOS 或 LIF 格式保存到 3 英寸磁盤上。圖形（HP-GL 或 PCL）輸出文件允許您將圖形傳輸?shù)阶烂娉霭孳浖?/p>

重復(fù)和自動化測試
Agilent HP Instrument BASIC 控制器內(nèi)置于 Agilent HP 4156A 中，可以使用外部儀器構(gòu)建自動測量系統(tǒng)，無需控制器。Agilent HP 4156A 可以通過多功能觸發(fā) I/O 功能與外部儀器同步。

審核編輯 黃宇