在當(dāng)前的制造業(yè)環(huán)境中，無人化和自動化已經(jīng)成為了發(fā)展的主流趨勢，加之在半導(dǎo)體制造業(yè)中，12寸的晶圓盒尺寸大，重量重，人工長期搬運會對身體有損傷，而且人工搬運也會對產(chǎn)品的良品率造成影響，因此，半導(dǎo)體制造廠需要提升自身的自動化水平。

而天車搬運系統(tǒng)作為半導(dǎo)體制造廠中一種重要的自動搬運系統(tǒng)，已被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)中，通過提高物料運輸，降低人力成本和減少污染風(fēng)險，改善整體的生產(chǎn)流程，提升優(yōu)化生產(chǎn)工序。

科智立針對半導(dǎo)體天車設(shè)備的基本情況，基于RFID技術(shù)推出了半導(dǎo)體天車設(shè)備的移動定位解決方案與天車設(shè)備的貨物自動存取解決方案。

半導(dǎo)體天車移動定位解決方案

即應(yīng)用物聯(lián)網(wǎng)RFID技術(shù)，在天車上安裝半導(dǎo)體RFID讀寫器，在行車軌道節(jié)點處粘貼RFID標(biāo)簽。通過RFID讀寫器接收行車軌道站點處的RFID標(biāo)簽，從而獲得天車的行車位置信息，對天車進(jìn)行實時的位置動態(tài)監(jiān)測，并根據(jù)自身所在的位置進(jìn)行線路規(guī)劃與調(diào)度，確保天車的作業(yè)安全距離與運輸效率。半導(dǎo)體RFID讀寫器還可與天車的控制系統(tǒng)相結(jié)合，能夠有效地解決天車的防碰撞問題，實現(xiàn)天車地自動化作業(yè)安全，同步提升安全和生產(chǎn)效率。

半導(dǎo)體天車貨物自動存取解決方案

FOUP晶圓盒上安裝TI載碼體標(biāo)簽，標(biāo)簽內(nèi)錄入著晶圓芯片的所有信息，如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等。當(dāng)天車搬運FOUP晶圓盒時，半導(dǎo)體RFID讀寫器接收來自TI載碼體標(biāo)簽的相關(guān)信息，確保所搬運的FOUP晶圓盒是準(zhǔn)確。在行駛到相應(yīng)的存儲/放置位置時，半導(dǎo)體RFID讀寫器再次識別目的地的標(biāo)簽信息，并將符合的信息的FOUP晶圓盒放到相應(yīng)的位置，同時將拿取到放置時所有的信息上傳到管理系統(tǒng)處，若是產(chǎn)品有瑕疵等不良品的出現(xiàn)，可依據(jù)這些數(shù)據(jù)進(jìn)行產(chǎn)品生產(chǎn)運輸過程的溯源，幫助快速定位到問題點上。

RFID技術(shù)在半導(dǎo)體天車上的優(yōu)勢

高適應(yīng)性：全天候穩(wěn)定運行，不受工業(yè)生產(chǎn)惡劣環(huán)境的影響；

安裝簡單：無需更改現(xiàn)場的設(shè)備布置，不會影響到現(xiàn)場的整體外觀；

易于維護：不存在機械接觸、磨損、滑動等問題，使用壽命較長；

提升效率：自動識別并上傳目標(biāo)信息，減少人工獲取、上傳數(shù)據(jù)的步驟，提升工作效率；

降本增效：提升了自動化程度，減少了人力的投入，降低了生產(chǎn)成本。

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審核編輯 黃宇