實(shí)驗(yàn)名稱:基于MEMS工藝柔性基底磁通門傳感器性能測試與分析
本文主要搭建了一套磁通門性能測試系統(tǒng),主要測試設(shè)備有:信號發(fā)生器、功率放大器、磁強(qiáng)計(jì)、電流表、磁通門傳感器、示波器等。
磁通門傳感器測試系統(tǒng):
激勵(lì)信號由任意信號發(fā)生器33220A和功率放大器ATA-4011串聯(lián)產(chǎn)生。任意信號發(fā)生器可產(chǎn)生正弦波、方波、三角波、鋸齒波,也可以通過程序控制產(chǎn)生特殊形狀的波形。功率放大器ATA-4011帶寬可達(dá)到1MHz,最大提供2.82App的電流值,滿足測量需求。
為了測量激勵(lì)電流有效值,在激勵(lì)電路上串聯(lián)一個(gè)電流表,當(dāng)磁通門傳感器作為磁場傳感器時(shí),被測磁場由直流電源激勵(lì)一個(gè)螺線管產(chǎn)生,為了標(biāo)定被測磁場的大小,在螺線管前串聯(lián)一個(gè)電流表測試螺線管電流。
![功率放大器](https://www.aigtek.com/UserFiles/Article/image/6375220257309922359959409.png)
基于MEMS工藝的柔性基底磁通門磁場傳感器
當(dāng)磁通門作為電流傳感器時(shí),將柔性基底磁通門傳感器粘貼在一個(gè)圓柱形的支撐骨架上,使柔性基底傳感器鐵芯兩端緊挨以使磁路閉合,并將被測電流穿過支撐骨架中心。被測電流用直流電源提供,并串聯(lián)一個(gè)電流表用于標(biāo)定被測電流值,在磁通門的感應(yīng)線圈兩端接示波器對輸出信號進(jìn)行分析。
![功率放大器ATA-4011](https://www.aigtek.com/UserFiles/Article/image/6375220260792736801218992.png)
基于MEMS工藝的柔性基底磁通門電流傳感器
![功率放大器ATA-4011](https://www.aigtek.com/UserFiles/Article/image/6375220266867732814259525.png)
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傳感器
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