半導(dǎo)體推力測(cè)試機(jī)通過各種夾具的配合完成抗拉、彎曲、壓縮等多種力學(xué)檢測(cè)。夾具是推拉力測(cè)試機(jī)中重要的一個(gè)零件。通過夾具夾持試樣對(duì)試樣進(jìn)行加力，夾具所能承受的試驗(yàn)力的大小是夾具的一個(gè)很重要的指標(biāo)。它決定了夾具結(jié)構(gòu)的大小及夾具操作的勞動(dòng)強(qiáng)度的大小。推拉力測(cè)試機(jī)之所以能做各種試驗(yàn)其重點(diǎn)在于夾具的選擇。
使用原理是什么？
力值測(cè)量：通過力傳感器、放大器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量。常用的測(cè)力傳感器是變形芯片傳感器。
應(yīng)變傳感器是指用應(yīng)變計(jì)、彈性元件和一些附件(由補(bǔ)償元件、防護(hù)罩、接線插座、裝載機(jī)組成)將特定的機(jī)器量轉(zhuǎn)化為電能輸出的裝置。
應(yīng)變芯片的拉力、壓力傳感器在國內(nèi)外各不相同。主要有圓柱力傳感器、運(yùn)動(dòng)傳感器、S雙孔傳感器、交叉光束傳感器等。
從材料力學(xué)可以看出，在小變形條件下，彈性元件上一點(diǎn)的變形與彈性元件的力成正比，與彈性變化成正比。對(duì)于S型傳感器，當(dāng)傳感器起到張力P的作用時(shí)，彈性元件表面會(huì)附著應(yīng)變計(jì)，因此彈性元件的應(yīng)變率與外力P的大小成正比，所以將應(yīng)變計(jì)連接到測(cè)量電路上，就可以通過測(cè)量輸出電壓來測(cè)量力的大小。連接計(jì)算機(jī)用于收集和分析數(shù)據(jù)，進(jìn)入實(shí)驗(yàn)界面后，計(jì)算機(jī)會(huì)不斷收集各種實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)繪制實(shí)驗(yàn)曲線，自動(dòng)查找各實(shí)驗(yàn)參數(shù)和輸出報(bào)告。
半導(dǎo)體推力測(cè)試儀及推力測(cè)試方法包括：套管，套管內(nèi)部為中空，套管的一端設(shè)有與內(nèi)部連通的開口；彈性組件設(shè)置在頂針套內(nèi)；測(cè)試頂針可沿頂針套的軸向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，并可移動(dòng)地設(shè)置在頂針套內(nèi)，測(cè)試頂針具有位于頂針套內(nèi)且可抵靠彈性組件的一端，以及相對(duì)設(shè)置并延伸出頂針套的另一端。測(cè)試頂針的一端擠(壓)壓縮彈性元件當(dāng)測(cè)試頂針的另一端推動(dòng)被測(cè)裝置時(shí)，使測(cè)試頂針的另一端部分或全部縮入頂針套內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)被測(cè)裝置的推力測(cè)試。當(dāng)測(cè)試頂針推動(dòng)被測(cè)器件時(shí)，測(cè)試頂針的另一端壓住彈性元件，彈性元件的彈性與測(cè)試頭對(duì)被測(cè)器件的推力相同。當(dāng)彈性元件的彈性達(dá)到被測(cè)裝置的推力標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，可以判斷被測(cè)裝置的推力合格，從而避免被測(cè)裝置報(bào)廢，節(jié)約檢測(cè)成本。

審核編輯 黃宇