該設(shè)備用途：硅片在加工運(yùn)輸過(guò)程中，需要將硅片從一個(gè)花籃內(nèi)，傳送到另一個(gè)花籃內(nèi)，提高導(dǎo)片效率，同時(shí)減少人為污染。

我們?nèi)A林科納研發(fā)的全自動(dòng)晶舟轉(zhuǎn)換器，它是一款用于調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備，主要工作任務(wù)就是對(duì)芯片生產(chǎn)線上的晶圓整個(gè)制造過(guò)程中，對(duì)晶圓分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進(jìn)行下一道程序，而轉(zhuǎn)換器就是將已經(jīng)完成一道工序后的晶圓，通過(guò)分類、合并等后，再送到下一道工序中去，通俗點(diǎn)講就是它就像是一條分揀傳送的紐帶，用于提高整個(gè)芯片生產(chǎn)線的效率。

因?yàn)榫A非常的脆弱，所以合并，轉(zhuǎn)移過(guò)程中，要注意晶圓的完整性，且必須要保持極高的潔凈度，避免在晶圓傳輸過(guò)程中因?yàn)槟Σ恋?，讓晶圓表面出現(xiàn)磨損。

設(shè)備組成有降臺(tái)和污物吹除機(jī)構(gòu)，輸送臺(tái)底部設(shè)有花籃一升降臺(tái)和花籃二升降臺(tái)，花籃一升降臺(tái)的移動(dòng)端上設(shè)有花籃一，花籃二升降臺(tái)的移動(dòng)端上設(shè)有花籃二，花籃一和花籃二分別位于輸送臺(tái)兩端，輸送臺(tái)的臺(tái)體一端開(kāi)設(shè)有用于穿過(guò)花籃一的穿槽。本設(shè)備通過(guò)花籃一升降臺(tái)驅(qū)使花籃一進(jìn)行升降，從而可以配合輸送臺(tái)，將花籃一內(nèi)的硅片導(dǎo)出。通過(guò)花籃二升降臺(tái)驅(qū)使花籃二進(jìn)行升降，從而可以配合輸送臺(tái)，將輸送過(guò)來(lái)的硅片全部裝載到花籃二內(nèi)。通過(guò)污物吹除機(jī)構(gòu)來(lái)清除傳送中的硅片正反兩面的污物。

設(shè)備特征在于：包括平臺(tái)、固定架、分體式推桿和推動(dòng)裝置；平臺(tái)包括初始晶舟放置區(qū)和目的晶舟放置區(qū)；
固定架固定在初始晶舟放置區(qū)遠(yuǎn)離目的晶舟放置區(qū)的一端，分體式推桿頂部與固定架頂部可拆卸式連接，分體式推桿底部可拆卸式連接在推動(dòng)裝置的一端，推動(dòng)裝置另一端固定在平臺(tái)上；
分體式推桿由多個(gè)推桿模塊可拆卸式連接組成，最底層的推桿模塊和最頂層的推桿模塊分別與推動(dòng)裝置和固定架可拆卸式連接，推動(dòng)裝置能夠致使推桿模塊將晶圓由初始晶舟放置區(qū)推送至目的晶舟放置區(qū)。

該設(shè)備可適用于：

----可應(yīng)用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.

----25、50、100、120片花籃規(guī)格可選.

----雙軌道傳輸設(shè)計(jì),獨(dú)立運(yùn)行，互不干涉.

----25花籃導(dǎo)入至50片花籃；25片花籃導(dǎo)入至100片花籃；50片花籃導(dǎo)入至100片花籃； 100片花籃導(dǎo)入100片花籃; 120片花籃導(dǎo)入100片花籃;

----兼容型：機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有兼容性,單側(cè)可以使用不同種類的花籃規(guī)格。例如:左側(cè)機(jī)械機(jī)構(gòu)同時(shí)兼容25片及100片花籃,右側(cè)同時(shí)兼容50片花籃及100片花籃.

----采用PLC控制,取片/ 插片過(guò)程全自動(dòng)；觸摸屏菜單操作,簡(jiǎn)潔明了.

----可選碎片檢測(cè)功能、幾何尺寸檢測(cè).

----可選支持MES接口和遠(yuǎn)程診斷功能.

----可選匹配智能工廠AGV接駁口.

為更好的服務(wù)客戶，我們?nèi)A林科納特別成立了監(jiān)理團(tuán)隊(duì)，團(tuán)隊(duì)成員擁有多年半導(dǎo)體行業(yè)項(xiàng)目實(shí)施、監(jiān)督、控制、檢查經(jīng)驗(yàn)，可對(duì)項(xiàng)目建設(shè)全過(guò)程或分階段進(jìn)行專業(yè)化管理與服務(wù)，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量監(jiān)理，降本增效。利用仿真技術(shù)可對(duì)未來(lái)可能發(fā)生的情況進(jìn)行系統(tǒng)的、科學(xué)的、合理的推算，有效避免造成人力、物力的浪費(fèi)，助科研人員和技術(shù)工作者做出正確的決策，助力工程師應(yīng)對(duì)物理機(jī)械設(shè)計(jì)和耐受性制造中遇到的難題。

審核編輯 黃宇