蔡司三坐標(biāo)硬件的6大優(yōu)勢(shì)
蔡司三坐標(biāo)SPECTRUM型號(hào)是ZEISS目前高性價(jià)比機(jī)型，與蔡司其它機(jī)型一樣具有布局全球的銷售和服務(wù)。以下是三本精密儀器講解的幾個(gè)硬件是蔡司三坐標(biāo)SPECTRUM6大硬件優(yōu)勢(shì)。
1/橫梁陶瓷，膨脹系數(shù)小，對(duì)溫度變化不敏感，更易保持測(cè)量機(jī)的精度。
2/光柵尺，玻璃陶瓷光柵尺，溫度膨脹系數(shù)接近于零（0.2-0.4um/度/米）玻璃陶瓷光柵尺由于膨脹系數(shù)接近于零，不需要溫度補(bǔ)償，穩(wěn)定性更強(qiáng)。
3/光柵尺的安裝方式由于導(dǎo)軌和橋架的溫度膨脹無(wú)法被完全消除，將光柵尺懸浮安裝在一層硅油上，一端固定、一端自由。
蔡司三坐標(biāo)4/導(dǎo)軌，各個(gè)導(dǎo)軌均采用四面環(huán)抱的氣浮軸承，保證機(jī)器運(yùn)行的穩(wěn)定和精度，不會(huì)增加任何徑跳動(dòng)和角擺誤差。
5/測(cè)座配置RDS-C5:全自動(dòng)旋轉(zhuǎn)測(cè)座，在X-Y平面和Z向均可實(shí)現(xiàn)3600旋轉(zhuǎn)，步距角為50，空間旋轉(zhuǎn)位置可達(dá)5184個(gè);集成的RDS-CAA技術(shù)只需通過(guò)12個(gè)角度位置的校準(zhǔn)就可用于其它所有角度的測(cè)量。
6/探頭配置，ZEISS VAST XXT:蔡司自主研發(fā)制造的接觸式掃描探頭，測(cè)力連續(xù)可調(diào);驗(yàn)收時(shí)探針長(zhǎng)度為50mm,探針直徑為3mm。
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