來源：Silicon Semiconductor

用于半導(dǎo)體加工的高溫解決方案。

Watlow是先進(jìn)熱管理解決方案的提供商，推出了新型ASSURANT HT高溫加熱套，旨在滿足半導(dǎo)體加工的獨(dú)特需求。

當(dāng)今先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝以及新的化學(xué)物質(zhì)和應(yīng)用，需要比以往更高的工作溫度范圍。ASSURANT HT的建議工作溫度高達(dá)350°C，使其成為最苛刻應(yīng)用的完美解決方案。Watlow的玻璃技術(shù)可確保ASSURANT HT在潔凈室和易燃性方面達(dá)到SEMI標(biāo)準(zhǔn)，從而使堵塞和污垢問題成為過去。

Watlow之前發(fā)布的ASSURANT TC加熱器采用PTFE涂層玻璃纖維制成，可最大限度地提高半導(dǎo)體加工應(yīng)用中氣體管線、泵管線、前級管線和排氣管線的熱均勻性和覆蓋范圍。這些解決方案可提供均勻的加熱，使整個加熱線上的溫度分布均勻。ASSURANT加熱器護(hù)套可完全覆蓋生產(chǎn)線，消除導(dǎo)致顆粒堆積的冷點(diǎn)，從而優(yōu)化工藝設(shè)備的正常運(yùn)行時間和芯片產(chǎn)量。

Watlow首席系統(tǒng)設(shè)計師Doug Schaefer表示：“我們很高興向市場推出新的ASSURANT HT，我們的第一代ASSURANT TC是適用于許多應(yīng)用的可靠加熱解決方案，但隨著行業(yè)的發(fā)展，市場需要更高的溫度范圍。通過ASSURANT HT，我們?yōu)榭蛻籼峁┝藷嵝阅艿碾A躍變化，這將有助于他們在氮化鈦等具有挑戰(zhàn)性的工藝上保持領(lǐng)先地位。”

ASSURANT HT與所有現(xiàn)有控制器兼容，使其成為真正的即插即用解決方案，可輕松與現(xiàn)有設(shè)備集成。Watlow在半導(dǎo)體行業(yè)的豐富經(jīng)驗帶來了一系列經(jīng)過徹底測試和驗證的創(chuàng)新突破性產(chǎn)品。

ASSURANT HT的推出標(biāo)志著ASSURANT系列加熱器的新時代，該系列加熱器是專為半導(dǎo)體加工而全新設(shè)計的。

審核編輯 黃宇