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索尼發(fā)布高分辨率短波紅外圖像傳感器提升弱光成像性能

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-11-30 09:49 ? 次閱讀

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,索尼半導(dǎo)體解決方案公司(英文簡(jiǎn)稱:SSS)宣布即將推出用于工業(yè)設(shè)備的短波紅外(SWIR)圖像傳感器:IMX992,其有效像素高達(dá)532萬。

短波紅外圖像傳感器IMX992:左圖是內(nèi)置電熱冷卻裝置的陶瓷封裝(PGA)形式;右圖是陶瓷封裝(LGA)形式。

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新款短波紅外圖像傳感器采用索尼自研的Cu-Cu(銅-銅)連接技術(shù),實(shí)現(xiàn)了小至3.45μm的像素尺寸。它還具有優(yōu)化的像素結(jié)構(gòu),可有效捕捉光線,實(shí)現(xiàn)從可見光到不可見的短波紅外光波段的寬光譜高清成像(波長(zhǎng):0.4μm至1.7μm)。此外,與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比,新的拍攝模式還可在黑暗環(huán)境中呈現(xiàn)高質(zhì)量的圖像,顯著減少噪點(diǎn)。

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除了IMX992型號(hào),索尼還將推出像素尺寸為3.45μm、有效像素為321萬的IMX993型號(hào),進(jìn)一步豐富短波紅外圖像傳感器的產(chǎn)品矩陣。這些具有高像素?cái)?shù)和高靈敏度的新型短波紅外圖像傳感器將有助于推動(dòng)各類工業(yè)設(shè)備的發(fā)展。

近年來,工業(yè)設(shè)備領(lǐng)域?qū)τ谔岣呱a(chǎn)效率和防止不良品流出工廠的需求不斷增加。這種情況不僅需要感測(cè)可見光的能力,還需要感測(cè)不可見光的能力。索尼短波紅外圖像傳感器能夠使用單個(gè)攝像頭實(shí)現(xiàn)從可見光到不可見的短波紅外光范圍內(nèi)絲滑的寬光譜成像,目前已被用于半導(dǎo)體晶圓鍵合和缺陷檢測(cè),以及食品生產(chǎn)中成分和污染物檢測(cè)等各種制造過程中。

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示例:對(duì)果蔬進(jìn)行揀選,檢測(cè)出癟痕和損傷

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示例:穿透樹脂容器對(duì)填充狀況進(jìn)行檢查

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示例:區(qū)分食品中的異物

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示例:對(duì)硅片進(jìn)行穿透拍照

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示例:對(duì)電烙鐵前端的溫度進(jìn)行監(jiān)控

主要特點(diǎn)

■ 小至3.45μm像素尺寸,提供高分辨率成像

在形成光接收單元的光電二極管的銦鎵砷(InGaAs)層和形成讀出電路(ROIC)的硅(Si)層之間使用Cu-Cu連接。這一設(shè)計(jì)使像素間距更小,從而實(shí)現(xiàn)了3.45μm像素尺寸。而這反過來又有助于實(shí)現(xiàn)緊湊的外形,并仍能提供高像素?cái)?shù),即IMX992約達(dá)532萬有效像素,IMX993約達(dá)321萬有效像素。更高的像素?cái)?shù)可以檢測(cè)到更微小的物體或在更大范圍內(nèi)成像,從而在使用短波紅外光的各種檢測(cè)中顯著提高識(shí)別能力和測(cè)量精度。

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不同分辨率的短波紅外圖像對(duì)比:照明波長(zhǎng)1550nm(左圖:其它索尼產(chǎn)品,134萬有效像素;右圖:IMX992,532萬有效像素)

■ 通過切換拍攝模式,在黑暗環(huán)境中也能實(shí)現(xiàn)低噪點(diǎn)成像

新的拍攝模式令低噪點(diǎn)的成像不受環(huán)境亮度的影響。在光線有限的黑暗環(huán)境中,高轉(zhuǎn)換增益(HCG)模式可在引入最小噪聲的情況下,直接放大光電信號(hào),從而相對(duì)減少下游的噪點(diǎn)。這樣能大幅減少暗處噪點(diǎn)的影響,從而提高識(shí)別精度。另一方面,在光線充足的明亮環(huán)境中,低轉(zhuǎn)換增益(LCG)模式可以實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍成像。

此外,啟用雙讀取滾動(dòng)快門(DRRS)可從圖像傳感器輸出兩種不同類型的圖像。然后在相機(jī)上合成這些圖像,從而獲得噪點(diǎn)顯著減少的圖像。

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黑暗環(huán)境下的圖像質(zhì)量和噪點(diǎn)對(duì)比:照明波長(zhǎng)1450nm(左圖:其它索尼產(chǎn)品,134萬有效像素;中圖:IMX992,選擇HCG模式;右圖:IMX992,選擇HCG模式,啟用DRRS)

■ 優(yōu)化像素結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)寬波長(zhǎng)范圍高靈敏度的成像

索尼短波紅外圖像傳感器在頂部采用了更薄的銦磷(InP)層,避免了其吸收可見光,令可見光到達(dá)下面的銦鎵砷(InGaAs)層,甚至在可見波長(zhǎng)下也能實(shí)現(xiàn)高量子效率。新產(chǎn)品通過優(yōu)化像素結(jié)構(gòu),在0.4μm至1.7μm的寬波長(zhǎng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了更均勻的靈敏度,從而提高了量子效率。將不同波長(zhǎng)之間的圖像質(zhì)量差異縮小化,使圖像傳感器能夠用于各類工業(yè)應(yīng)用,并有助于提高檢測(cè)、識(shí)別和測(cè)量應(yīng)用的可靠性。





審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:索尼發(fā)布高分辨率短波紅外圖像傳感器,提升弱光成像性能

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