本文介紹了半導(dǎo)體中不同的壓力單位及其定義。

在實(shí)際的應(yīng)用中，我們所說的壓力常常指壓強(qiáng)，壓力傳感器實(shí)際測(cè)的是壓強(qiáng)，真空壓力指的也是壓強(qiáng)。那么在半導(dǎo)體里面，表示壓強(qiáng)的單位分別有哪些，有什么區(qū)別呢？

帕 Pa

國際標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)單位，也是應(yīng)用最廣泛的壓強(qiáng)單位。這個(gè)單位是為紀(jì)念法國數(shù)學(xué)家、物理學(xué)家兼哲學(xué)家布萊士·帕斯卡（Blaise Pascal ）而命名。1Pa相當(dāng)于1N/m2。引出的有百帕hPa，千帕kPa，兆帕MPa等。在半導(dǎo)體設(shè)備中，有部分國產(chǎn)設(shè)備采用Pa來表示真空度。

巴 Bar

工程常用單位，1bar相當(dāng)于100000Pa。因?yàn)闇y(cè)量大氣壓引出，規(guī)定一個(gè)大氣壓是1Bar，即每平方厘米受到1公斤的大氣壓力為1巴。也可引出毫巴等單位。在常常用在半導(dǎo)體設(shè)備中表示真空度，高真空（highvacuum，HV）一般定義為 >1E-7mbar。

托 Torr

托的命名是為了紀(jì)念意大利物理學(xué)家托里拆利(EvangelistaTorricelli)，他的首要發(fā)明是水銀氣壓計(jì)。用汞柱表示，1Torr是指“將細(xì)直管內(nèi)的水銀頂高一毫米之壓力”，相當(dāng)于760mm汞柱的壓力，值是大氣壓力的 1/760 。在半導(dǎo)體鍍膜、刻蝕設(shè)備中，常用Torr表示真空度，如5E-5Torr。

PSI

用單位面積英寸上的鎊來表示壓強(qiáng)，美國習(xí)慣使用psi作單位，意為磅力/平方英寸，是一個(gè)英制單位。在半導(dǎo)體設(shè)備中不太能看到psi表示真空度，在MEMS壓力傳感器和控制器中，psi常常作為壓強(qiáng)單位出現(xiàn)表示氣壓或者油壓的大小，特別是美國的器件中。

atm

標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，相當(dāng)于101325Pa。因?yàn)闇y(cè)量大氣壓引出，規(guī)定一個(gè)大氣壓是1atm，一般只用于表示大氣壓強(qiáng)。

在半導(dǎo)體設(shè)備中，壓強(qiáng)單位常常表示真空度，這里給出常見的真空的劃分及應(yīng)用：

粗真空（負(fù)壓）：10E5~10E2Pa，用于真空干燥和浸漬；

低真空：10E2~10E-1Pa，用于熱處理和低壓化學(xué)沉積；

高真空：10E-1~10E-6Pa，用于真空鍵合、物理氣相鍍膜和刻蝕等；

超高真空：＜10E-6Pa，用于表面分析，MBE等特殊鍍膜設(shè)備。

表 不同壓強(qiáng)單位的換算

審核編輯：劉清