三星明年起擬在芯片制造中利用回收氖氣
據(jù)報道，受俄烏局勢沖擊，氖氣價格飛漲，以韓國為例，2021年其進口價為每升58美元，但2022年已猛增至每升1612美元，漲勢驚人。目前，三星透露計劃在芯片制造中引入回收的氖氣，此舉有望開創(chuàng)業(yè)界新標桿。
據(jù)韓國《朝鮮經濟日報》披露，預計明年起，三星將在芯片生產環(huán)節(jié)啟用回收氖氣，成為全球率先采用該方法的企業(yè)。據(jù)悉，三星已經聯(lián)合當?shù)匾患也牧?a target="_blank">公司研發(fā)設備，以便從激光廢料流中提取氖氣，然后進行提純處理，再投入使用。
預計，明年開始，三星將在光刻環(huán)節(jié)大規(guī)模使用回收氖氣，比例占據(jù)75%。韓國海關總署提供的數(shù)據(jù)顯示，2023年韓國氖氣進口總量預計達102782升，進口總額預期超過1680萬美元（約合人民幣1.21億元）。
氖氣作為稀罕的惰性氣體，卻是光刻工藝的必備原料，常被用于生成激光和轉移電路圖案，還廣泛運用于半導體和顯示屏等領域。
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