激光快速掃描系統(tǒng)在半導(dǎo)體技術(shù)、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、納米科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了越來越多的應(yīng)用，同時(shí)對其性能要求也越來越高，受其體積，掃描頻率，掃描精度、掃描分辨率等諸多因素的影響，出現(xiàn)更多小型化、高速化、精準(zhǔn)化的掃描應(yīng)用場景，壓電偏轉(zhuǎn)鏡以其小體積、高精度、高諧振頻率等優(yōu)勢成為激光快速掃描系統(tǒng)中核心部件。

激光掃描是利用激光束的能量通過反射鏡或透鏡進(jìn)行光路的精確定位和控制，以保證激光束的穩(wěn)定，可大致分為激光成像與激光加工兩種用途。

例如，激光成像，是當(dāng)激光束照射到被掃描物體表面時(shí)，會被物體表面反射或散射，反射光經(jīng)過透鏡或反射鏡的聚焦，然后再次反射回掃描裝置的接收器，將物體表面反射或散射的光信號進(jìn)行收集，然后對接收的光信號進(jìn)行檢測和處理，獲得物體的一些物理特性比如大小、形狀、空間位置、空間方向、顏色、顏色變化、表面紋理、化學(xué)成分等等。

而激光加工，是加工用的激光束通過單個(gè)或多個(gè)透射、反射鏡后，最終落在待加工物的表面，隨著調(diào)節(jié)反射鏡的角度，從而加工不同的位置。

激光掃描原理圖

其中壓電偏轉(zhuǎn)鏡可在掃描裝置中裝載鏡片進(jìn)行光路的精確定位和控制，壓電偏轉(zhuǎn)鏡具有更高的頻率、精度和響應(yīng)速度，且其采用閉環(huán)控制系統(tǒng)具有更高的定位精度，可大幅度提高掃描效率和精度。

芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡

芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動，補(bǔ)償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有很高的運(yùn)動精度和穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。廣泛應(yīng)用于光路調(diào)節(jié)、衛(wèi)星激光通信、激光穩(wěn)定、變形鏡、圖像處理與穩(wěn)定、激光掃描、光束偏轉(zhuǎn)等。

適用于激光快速掃描系統(tǒng)控制的芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡系列

配套控制器

高性能的壓電偏轉(zhuǎn)鏡需要匹配高性能的壓電控制器使用。芯明天根據(jù)不同使用場景可為客戶提供多種結(jié)構(gòu)形式、多種控制方式以及多種型號的壓電控制器，以解決不同應(yīng)用場景精密定位控制的難題。

E70系列壓電控制器

E70系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的壓電陶瓷控制器，可通過串口、USB或網(wǎng)口進(jìn)行數(shù)字通信的三通道壓電控制器。

E80.D3-O壓電控制器

E80.D3-O壓電控制器主要為驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡而研發(fā)設(shè)計(jì)，具有3個(gè)輸出通道，其中第3路為恒壓輸出，適于差分驅(qū)動。它具有兩種形式，可選機(jī)箱封裝式或卡板式。

E80.B3K-I壓電控制器

E80.B3K-I壓電控制器是專為驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡而設(shè)計(jì)，具有3個(gè)輸出通道，其中1通道輸出恒壓，適于差分驅(qū)動。此外，該控制器配備有傳感信號監(jiān)測部分，可反饋體現(xiàn)壓電偏轉(zhuǎn)鏡偏轉(zhuǎn)角度的電壓信號，適于外部閉環(huán)控制。

E80.B3K-J系列板卡式壓電控制器

E80.B3K-J板卡式壓電控制器是一款通過模擬信號控制的、具有恒壓輸出的三通道壓電控制器，它配備有傳感監(jiān)測模塊。

E80.B5S板卡式控制器

它是一款五通道輸出的壓電控制器，專為同時(shí)驅(qū)動兩臺壓電偏轉(zhuǎn)鏡而研發(fā)設(shè)計(jì)。它采用DC28V供電，輸出電壓為-20V~120V（可選 -20V~100V/150V），尺寸僅有222×180×40mm^3，它以板卡式小體積的特點(diǎn)解決了應(yīng)用空間受限的問題，并且E80.B5S使用特殊的元器件，并進(jìn)行多項(xiàng)處理，使其適用于宇航級應(yīng)用。

審核編輯 黃宇