中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸，良品率接近98%
中科微感金屬氧化物基MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例，晶圓級(jí)萬(wàn)顆批量生產(chǎn)，單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初始阻值和響應(yīng)值一致性偏差逼近5%，良品率接近98%。本量產(chǎn)技術(shù)的突破，為人工智能嗅覺傳感器的普遍應(yīng)用推廣打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，為未來(lái)氣味數(shù)字化應(yīng)用提供了標(biāo)準(zhǔn)化和低成本的硬件解決方案。
隨機(jī)抽取70顆CM-A107S氫氣傳感器（LGA封裝），進(jìn)行空氣中每顆阻值和500 ppm氫氣響應(yīng)值測(cè)試統(tǒng)計(jì)，結(jié)果如下圖所示。
審核編輯：劉清
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原文標(biāo)題：中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸，批量一致性偏差逼近5%，良品率接近98%
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