近日，全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)商阿斯麥(ASML)與比利時(shí)微電子研究中心(IMEC)共同宣布，位于荷蘭費(fèi)爾德霍芬的High-NA EUV光刻實(shí)驗(yàn)室正式啟用。

這一里程碑式的事件標(biāo)志著雙方合作研發(fā)的高數(shù)值孔徑(High NA)極紫外(EUV)光刻技術(shù)即將進(jìn)入大批量生產(chǎn)階段，預(yù)計(jì)將在2025至2026年間實(shí)現(xiàn)廣泛應(yīng)用。

該實(shí)驗(yàn)室的核心設(shè)備是一臺(tái)名為TWINSCAN EXE：5000的原型高數(shù)值孔徑EUV掃描儀，以及一系列配套的處理和計(jì)量工具。這些設(shè)備將共同助力未來芯片制造的突破，為行業(yè)帶來前所未有的精度和效率。

IMEC與ASML的合作不僅推動(dòng)了High-NA EUV技術(shù)的研發(fā)，也為領(lǐng)先的芯片制造商和其他相關(guān)供應(yīng)商提供了早期使用這一價(jià)值3.5億歐元先進(jìn)工具的機(jī)會(huì)。這一舉措不僅展示了雙方對(duì)技術(shù)創(chuàng)新的共同追求，也體現(xiàn)了對(duì)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展的深刻洞察。

ASML在周一的聲明中表示，預(yù)計(jì)客戶將在2025年至2026年開始使用這一工具進(jìn)行商業(yè)制造。目前，ASML已經(jīng)向美國英特爾公司出貨了另一臺(tái)測(cè)試機(jī)器，英特爾計(jì)劃在其2025年的14A工藝中使用該設(shè)備。

分析人士認(rèn)為，High-NA EUV技術(shù)的成熟和普及將對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，未來的芯片制造將更加精細(xì)、高效，從而推動(dòng)整個(gè)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。IMEC與ASML的此次合作無疑為這一進(jìn)程注入了強(qiáng)大的動(dòng)力。

對(duì)于行業(yè)而言，High-NA EUV技術(shù)的廣泛應(yīng)用將帶來更高的生產(chǎn)效率和更低的制造成本，進(jìn)一步推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)和創(chuàng)新。同時(shí)，這也將促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，為全球經(jīng)濟(jì)注入新的活力。