1：工作原理

●壓阻式：電阻應(yīng)變片是主要組成部分，基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)，當(dāng)壓敏電阻受壓后產(chǎn)生電阻變化，通過(guò)放大器放大并采用標(biāo)準(zhǔn)壓力標(biāo)定，即可進(jìn)行壓力檢測(cè)

●

陶瓷壓力傳感器

：基于壓阻效應(yīng)，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片產(chǎn)生微小的形變，電子線路借此測(cè)量傳感器所承受的壓力

●

擴(kuò)散硅壓力傳感器

：工作原理也是基于壓阻效應(yīng)，被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，利用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)

●

藍(lán)寶石壓力傳感器

：利用應(yīng)變電阻式工作原理，采用硅 - 藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件，具有無(wú)與倫比的計(jì)量特性，對(duì)溫度變化不敏感，即使在高溫條件下，也有著很好的工作特性，藍(lán)寶石的抗輻射特性極強(qiáng)，且硅 - 藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件無(wú) p-n 漂移

●

壓電式壓力傳感器

：基于壓電效應(yīng)，某些電介質(zhì)在沿一定方向上受到外力的作用而變形時(shí)，其內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時(shí)在它的兩個(gè)相對(duì)表面上出現(xiàn)正負(fù)相反的電荷。當(dāng)外力去掉后，它又會(huì)恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)。壓電傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量，因?yàn)榻?jīng)過(guò)外力作用后的電荷，只有在回路具有無(wú)限大的輸入阻抗時(shí)才得到保存，所以這決定了壓電傳感器只能夠測(cè)量動(dòng)態(tài)的應(yīng)力

2：特點(diǎn)

●傳統(tǒng)的

壓力傳感器

以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，

半導(dǎo)體壓力傳感器

應(yīng)運(yùn)而生，其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著 MEMS 技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高

審核編輯 黃宇