半導(dǎo)體行業(yè)在芯片制程工藝中，因其不間斷使用有機(jī)溶劑和酸溶液直接產(chǎn)生了大量的有毒有害的廢氣。比如在硅料清洗環(huán)節(jié)，所用的清洗液（酸、堿、有機(jī)溶劑）各不相同，吹干后就會(huì)產(chǎn)生大量氮氧化物（主要為NO、NO2、N2O3、N2O4、N2O5等），在空氣中被氧化成NO2，是一種有毒具有強(qiáng)烈刺激性的紅棕色氣體。

這些廢氣如果沒(méi)有經(jīng)過(guò)處理就排放到外界中，就會(huì)造成環(huán)境污染、生態(tài)破壞甚至危害人體健康，因此需要加強(qiáng)對(duì)這些廢氣的監(jiān)控管理能力，以確保環(huán)境安全。對(duì)此，物通博聯(lián)提供基于工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)的硅料廢氣處理遠(yuǎn)程監(jiān)控物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)方案。

現(xiàn)場(chǎng)設(shè)有酸洗廢氣塔、堿洗廢氣塔、浸泡廢氣塔三套廢氣噴淋塔，同時(shí)配套自動(dòng)加藥系統(tǒng)。因此通過(guò)接入PLC，網(wǎng)關(guān)能夠?qū)崟r(shí)采集氮氧濃度、煙氣流速、煙氣壓力、煙氣溫度、煙氣濕度等數(shù)據(jù)，并通過(guò)5G/4G/WIFI/以太網(wǎng)等方式對(duì)接到云平臺(tái)或本地上位機(jī)中，實(shí)現(xiàn)對(duì)廢氣處理的遠(yuǎn)程監(jiān)控、管理、控制與數(shù)據(jù)分析，確保廢氣治理安全。

實(shí)現(xiàn)功能

1、整合多種傳感器與儀器儀表，以實(shí)現(xiàn)對(duì)廢氣中VOCs含量、排放量以及溫濕度、流速、氣壓等相關(guān)環(huán)境參數(shù)的即時(shí)監(jiān)測(cè)與采集。

2、支持HJ212協(xié)議傳輸，能夠?qū)⒉杉臄?shù)據(jù)傳輸至環(huán)保局平臺(tái)，同時(shí)也支持本地監(jiān)控平臺(tái)的對(duì)接。此外還具備多網(wǎng)絡(luò)備份與斷點(diǎn)續(xù)傳機(jī)制，確保數(shù)據(jù)傳輸?shù)姆€(wěn)定性與可靠性。

3、對(duì)收集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化處理與邊緣計(jì)算，進(jìn)而生成詳盡的報(bào)表與直觀的數(shù)據(jù)可視化界面，助力用戶全面把握VOCs排放狀況，及時(shí)獲取超標(biāo)告警信息。

3、一旦監(jiān)測(cè)到數(shù)據(jù)超標(biāo)，系統(tǒng)便會(huì)立即通過(guò)短信、微信、郵件等多種渠道向相關(guān)管理人員發(fā)送告警信息，以便他們迅速定位問(wèn)題、診斷原因，并采取相應(yīng)的應(yīng)對(duì)措施。

4、該系統(tǒng)能夠與其他環(huán)保設(shè)備（如催化燃燒設(shè)備、風(fēng)機(jī)等）實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程聯(lián)動(dòng)控制。當(dāng)VOCs濃度超標(biāo)并觸發(fā)報(bào)警時(shí)，管理員可以遠(yuǎn)程操控這些設(shè)備的啟停。

審核編輯 黃宇