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華立捷訂購多臺MOCVD設備,增加晶圓尺寸提高產能

MEMS ? 來源:未知 ? 作者:胡薇 ? 2018-09-17 15:42 ? 次閱讀

據麥姆斯咨詢報道,***垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)外延和芯片制造商HLJ Technology(華立捷科技股份有限公司,以下簡稱“華立捷”)已訂購多臺MOCVD設備AIX 2800G4-TM。

該訂單將用于擴大華立捷的晶圓產能,同時將VCSEL的晶圓尺寸從4英寸提高至6英寸。Aixtron表示,其全自動行星式反應器系統(tǒng)將于2018年第四季度以8 x 6英寸的配置供貨。據Aixtron稱,AIX 2800G4-TM被視為包括VCSEL在內的高端激光應用的行業(yè)標準,特別是在3D傳感領域,這是因為行星式反應器提供的工藝性能卓越,可精確控制外延層厚度和均勻性。因此,使用該系統(tǒng)的工廠能在滿足高產量的同時提供高質量的產品

華立捷總經理Larry Lai說道:“為了滿足市場對外延晶圓和芯片級VCSEL的快速增長需求,我們決定將晶圓尺寸提高到6英寸。從2018年第四季度開始,新訂購的兩套Aixtron MOCVD系統(tǒng)將抵達華立捷。2019年第二季度,第一條完整的VCSEL量產線將投入使用?!薄昂芨吲d我們的新合作伙伴華立捷選擇了AIX 2800G4-TM系統(tǒng),這套設備可實現(xiàn)一流的VCSEL外延和芯片制造量產工藝。

期待我們與華立捷的合作,我們將全力協(xié)助華立捷的生產工藝與我們的設備完美匹配?!盇ixtron首席執(zhí)行官Bernd Schulte說。

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原文標題:華立捷訂購多臺Aixtron設備,擴大6英寸VCSEL產能

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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