近日，高工LED獲悉，中國集成電路設備供應商中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微半導體”），已悄然踏上IPO征程。

日前，中國證監(jiān)會上海監(jiān)管局發(fā)布中微半導體輔導備案基本情況表，顯示中微半導體已于2019年1月8日與海通證券、長江證券簽署輔導協議并進行輔導備案。

據《海通證券、長江證券關于中微半導體設備（上海）股份有限公司輔導備案情況報告公示》顯示，中微半導體成立于2004年5月，注冊資本4.81億元，目前無實際控制人。截至該申請?zhí)峤蝗眨形雽w持股5%以上股東包括上海創(chuàng)投20.02%、巽鑫投資19.39%、南昌智微6.37%、置都投資5.48%、中微亞洲5.15%。

資料顯示，中微半導體主要研發(fā)、組裝集成電路設備、泛半導體設備和其他微觀加工設備及環(huán)保設備，包括配套設備和零配件，銷售自產產品。在集成電路刻蝕機領域，中微研制出中國大陸第一臺電介質刻蝕機。

在LED芯片設備領域，為打造具有自主知識產權的“大國重器”，中微半導體著手研發(fā)MOCVD設備，經過近7年的努力，終于在2016年底正式投入市場，打破了美國、德國的設備壟斷局面?！皟H用了一年的時間，我們公司在國內市場占有率達70%，成為全球MOCVD設備領域的兩強之一?！蹦喜形雽w設備公司副總經理周建撫如是說。

中微半導體自主研制的 5 納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證，性能優(yōu)良，將用于全球首條 5 納米制程生產線。目前，中微半導體 的介質刻蝕設備、硅通孔刻蝕設備、 MOCVD 設備等均已成功進入海內外重要客戶供應體系。截至 2017 年底，已有 620 多個中微半導體生產的刻蝕反應臺運行在海內外 39 條先進生產線上。

在全球可量產的最先進晶圓制造7納米生產線上，中微半導體是被驗證合格、實現銷售的全球五大刻蝕設備供應商之一，與泛林、應用材料、東京電子、日立4家美日企業(yè)為7納米芯片生產線供應刻蝕機。

憑借自主創(chuàng)新，中微半導體已申請1200多件國內外專利。因為有大量專利保護，中微半導體在與西方國家企業(yè)的4次知識產權訴訟中，未嘗敗績。今年1月，國家知識產權局專利復審委基于中微提交的證據，認定美國MOCVD設備商Veeco的一件發(fā)明專利無效。此后，中微半導體經歷的第三次訴訟以和解告終--他們和維易科分別在福建和紐約撤訴，握手言和。

眾所周知，集成電路產業(yè)作為高科技行業(yè)，對于人才、資金的需求一直十分旺盛。而更加上游的集成電路設備行業(yè)，國外的技術封鎖相當嚴厲。因此，我國企業(yè)想在此領域有所突破，就需要投入龐大的人力、物力和財力。上市對于中微半導體而言，是維持產品開發(fā)、規(guī)模擴張的必然之路。