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i-MN:推動(dòng)MEMS外觀檢測系統(tǒng)的主要因素是什么?

MEMS ? 來源:lq ? 2019-04-27 19:18 ? 次閱讀

據(jù)麥姆斯咨詢介紹,Yole發(fā)布的《MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀-2018版》報(bào)告顯示,2018年MEMS傳感器和執(zhí)行器市場規(guī)模達(dá)到了540億美元,市場營收復(fù)合年增長率(CAGR)達(dá)到了15%。而根據(jù)《超越摩爾應(yīng)用的晶圓市場-2018版》報(bào)告,超越摩爾領(lǐng)域有4800萬片等效8英寸晶圓需要進(jìn)行檢測和封裝。這些領(lǐng)域都需要應(yīng)用機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)。為此,Yole旗下 I-Micronews團(tuán)隊(duì)采訪了ViSCO Technologies總裁兼首席執(zhí)行官Hideyuki Adachi,以了解機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)行業(yè)。

電子產(chǎn)業(yè)大趨勢對2023年傳感器和執(zhí)行器市場規(guī)模的影響

i-Micronews團(tuán)隊(duì)(以下簡稱i-MN):請您簡要介紹一下ViSCO Technologies,及其在機(jī)器視覺生態(tài)系統(tǒng)中的位置?

Hideyuki Adachi(以下簡稱HA):ViSCO Technologies是一家總部位于日本東京的機(jī)器視覺系統(tǒng)制造商。ViSCO致力于以“哪種技術(shù)可以取代人眼”為目標(biāo),從事產(chǎn)品開發(fā)。

通過利用高精度圖像處理技術(shù),ViSCO再現(xiàn)了“感性判斷”、“基于經(jīng)驗(yàn)的判斷”和“識別”,使機(jī)器視覺更接近人類的思維方式,從而為制造工藝中的自動(dòng)化檢測做貢獻(xiàn)。

ViSCO不僅提供機(jī)器視覺檢測系統(tǒng),還提供整體解決方案,包括可選的光學(xué)設(shè)備,為處理設(shè)置提供建議,以及實(shí)施后的后續(xù)支持。特別是,ViSCO提供了在生產(chǎn)線上表現(xiàn)卓越的外觀檢測解決方案。

ViSCO目前供應(yīng)的產(chǎn)品包括整套光學(xué)裝置,帶有多款相機(jī)、鏡頭和可選的照明方案,可用于各種高速M(fèi)EMS檢測。ViSCO的解決方案可以在單一步驟中利用多種照明/圖像捕捉模式,有助于節(jié)省空間并提高檢測吞吐量。

i-MN:推動(dòng)MEMS外觀檢測系統(tǒng)的主要因素是什么?

HA:MEMS包含各種可動(dòng)元件并且需要各種檢測工藝。對于不同的檢測工藝通常需要多個(gè)步驟,而在產(chǎn)線中具有縮減檢測過程的需求。ViSCO實(shí)現(xiàn)了這一目標(biāo),提供了整套解決方案,包含外觀檢測視覺控制器、VTV-9000和光學(xué)識別技術(shù)??梢栽谝粋€(gè)步驟進(jìn)行多次檢測,利用高效的圖像采集節(jié)省了空間,檢測吞吐更快。

ViSCO的外觀檢測解決方案已廣泛應(yīng)用于MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器、陀螺儀、加速度計(jì)、體聲波(BAW)濾波器、磁傳感器、發(fā)光二極管LED)等產(chǎn)線,檢測內(nèi)容包括芯片上的裂縫、鍵合位置、引線斷裂或彎曲、多余的膠水或模塑等。

i-MN:MEMS外觀檢測系統(tǒng)需要什么架構(gòu)和性能?

HA:舉例來說,ViSCO專門用于MEMS外觀檢測的帶有兩個(gè)相機(jī)的模塊,可以在一個(gè)步驟對芯片和引線進(jìn)行外觀檢測,實(shí)現(xiàn)大約只需0.1秒的高性能檢測。使用ViSCO的照明技術(shù),即使采用高速快門,也可以捕捉聚焦的圖像。因此,可以檢測運(yùn)動(dòng)中的部件。模塊中的光學(xué)元件專門為MEMS檢測而選擇,為產(chǎn)線部署提供了無障礙銜接。

VTV-9000系列是一種用于外觀檢測的視覺控制器,具有“像人一樣思考”的檢測算法,能夠提供更接近人眼檢查的高精度檢測。VTV-9000系列所有型號均安裝了60多種檢測工具,可為各種工業(yè)產(chǎn)品檢測提供多功能性,同時(shí)具有的高專業(yè)性,可滿足特定應(yīng)用需求。除了MEMS檢測外,VTV-9000系列還可廣泛用于電子元件、藥品和商品的檢測。

i-MN:你們的產(chǎn)品對幀速和分辨率有什么要求嗎?

HA:VTV-9000系列提供從入門到高端的六種型號。終端用戶可以根據(jù)檢測要求選擇相關(guān)的控制器,例如最低缺陷檢測大小或周期。VTV-9000系列還提供廣泛的相機(jī)可供選擇,包括從3.6ms/幀傳輸速率和2M像素或7.6ms/幀傳輸速率和500萬像素的高速相機(jī),到25M或29M像素超高分辨率相機(jī)等。

i-MN:除了相機(jī)和照明硬件,ViSCO還提供機(jī)器視覺系統(tǒng)軟件嗎?

HA:ViSCO為VTV-9000系列提供了支持功能,簡化并提高了產(chǎn)線的可視化。ViSCO提供VTV-QCS軟件對VTV-9000系列的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控,以及檢測結(jié)果管理的集中控制,還有ViSCO數(shù)據(jù)分析儀(VDA)軟件,以生成檢測結(jié)果監(jiān)控的實(shí)時(shí)圖表。

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原文標(biāo)題:MEMS器件檢測是半導(dǎo)體領(lǐng)域機(jī)器視覺應(yīng)用的核心

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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