隨著信息化、智能化、網(wǎng)絡(luò)化的發(fā)展，嵌入式系統(tǒng)得到了前所未有的發(fā)展。由于嵌入式系統(tǒng)具有體積小、性能強、可靠性高等特點，目前廣泛應(yīng)用于工業(yè)控制、控制儀表、通信等各個領(lǐng)域。擴散/氧化控制系統(tǒng)是為擴散氧化爐設(shè)計的控制系統(tǒng)。擴散/氧化爐是集成電路制造的重要的工藝設(shè)備之一。本系統(tǒng)主要由高精度的溫度控制系統(tǒng)、推拉舟控制系統(tǒng)、氣路控制系統(tǒng)組成。本系統(tǒng)為擴散/氧化爐提供高精度的擴散氧化環(huán)境，以生產(chǎn)出高質(zhì)量的半導(dǎo)體產(chǎn)品。

　　本文采用的是ARM處理器S3C2440，它具有工作頻率高、片上資源豐富等特點，可以良好地應(yīng)用于本系統(tǒng)。且系統(tǒng)設(shè)計中移植了嵌入式WinCE，使得控制系統(tǒng)具有實時性強、編程方便、可擴展性強等特點。

　　1 擴散/氧化控制系統(tǒng)的總體設(shè)計

　　如圖1所示，系統(tǒng)的CPU及擴展模塊是以S3C2440為核心的開發(fā)板。在系統(tǒng)中有溫度控制子系統(tǒng)、推拉舟控制子系統(tǒng)、氣路控制子系統(tǒng)。上述3 個子系統(tǒng)為閉環(huán)系統(tǒng)，分別完成對溫度、步進電機、氣體質(zhì)量流量計的檢測和控制。觸摸顯示屏作為人機界面，用于控制和監(jiān)視系統(tǒng)的運行。

　　圖1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖

　　2 控制系統(tǒng)的硬件設(shè)計

　　2.1 ARM微處理器S3C2440

　　本設(shè)計采用三星S3C2440處理器。它的主頻為400 MHz，外擴存儲器NAND Flash為128 MB、SDRAM為64 MB，完全滿足控制系統(tǒng)運行的要求。該處理器片內(nèi)資源有1個LCD控制器（支持TFT帶有觸摸屏的液晶顯示屏）、SDRAM控制器、117位通用I/O口和24位外部中斷源等。本系統(tǒng)觸摸屏為3.5英寸，分辨率240×320，滿足系統(tǒng)要求。

　　2.2 溫度控制子系統(tǒng)硬件設(shè)計

　　溫度控制子系統(tǒng)要求4路溫度采集，其中一路測量環(huán)境溫度，另外3路測量擴散/氧化爐的溫度。系統(tǒng)要求溫度測量范圍為0～1 700℃，全量程分辨率為0.1℃。

　　為滿足系統(tǒng)要求，測量擴散/氧化爐的傳感器可以選用熱電偶。為滿足系統(tǒng)測量精度的要求，同時系統(tǒng)A/D轉(zhuǎn)換的速度要求不是很快，所以采用雙積分型A/D轉(zhuǎn)換器ILC7135。ILC7135精度高、抗干擾性能好、價格低，應(yīng)用十分廣泛。ICL7135其轉(zhuǎn)換數(shù)字范圍為-19 999～+19 999，即分辨率為1/40 000。為了增加測量精度，需要對熱電偶輸入的信號進行濾波。因為本系統(tǒng)主要受工頻信號的干擾，所以濾波過程主要濾掉工頻信號。信號放大時根據(jù)系統(tǒng)的要求可以選用OP07、OP27等高精度的放大器。圖2為ILC7135的A/D轉(zhuǎn)換原理圖。因為S3C2440的引腳高電平為3.3 V，所以此電路與CPU連接時可以使用電平轉(zhuǎn)換芯片SN74ALVCl64245或74LVC4254等。

　　在本系統(tǒng)中使用晶閘管控制的電阻絲給擴散/氧化爐加溫，為了防止市電對系統(tǒng)的影響，必須使用光電隔離器隔離本系統(tǒng)與市電的連接。

　　圖2 ILC7135 A/D轉(zhuǎn)換原理圖

　　2.3 氣路系統(tǒng)和推拉舟系統(tǒng)的硬件設(shè)計

　　在擴散/氧化工藝中，根據(jù)工藝的不同需要通入4種不同種類和質(zhì)量的氣體。所以在氣路控制系統(tǒng)中，需要4路開關(guān)量控制4種不同氣體的通斷，以及4 路模擬量控制氣體質(zhì)量流量計。質(zhì)量流量計能夠輸出4 mA～20 mA或0～5 V的氣體質(zhì)量信號，在控制精度要求不高的系統(tǒng)中，可以不理會質(zhì)量流量計輸出的氣體質(zhì)量信號，為了保證控制精度，可以采集氣體質(zhì)量信號。

　　在4路開關(guān)量控制中，可以使用繼電器控制通斷。

　　在4路模擬量控制氣體質(zhì)量流量計中，需要4路D/A轉(zhuǎn)換。根據(jù)控制精度的要求，選用12位的D/A芯片DAC1230，因為控制信號為電壓信號，所以需要把電流信號轉(zhuǎn)換成電壓信號。圖3即為氣路控制系統(tǒng)D/A轉(zhuǎn)換原理圖。

　　圖3 氣路控制系統(tǒng)D/A轉(zhuǎn)換原理圖

　　在4路氣體質(zhì)量流量測量中，因為氣體質(zhì)量流量計可以輸出4 mA～20 mA或0～5 V兩種信號，所以要求A/D轉(zhuǎn)換芯片轉(zhuǎn)換這兩種信號。根據(jù)控制精度的要求，可以選用12位A/D轉(zhuǎn)換芯片AD574。

　　在擴散/氧化工藝中，推拉舟用于運送半導(dǎo)體芯片，由步進電機驅(qū)動。微處理器S3C2440有4路PWM輸出，可以輸出脈沖給步進電機的驅(qū)動器，控制步進電機的運動。同時需要通用I/O口控制步進電機的正反轉(zhuǎn)。

　　為了精確地獲得推拉舟的當(dāng)前位置，使用位置編碼器記錄推拉舟的運動距離。為了獲得位置編碼器的脈沖，使用8254記錄脈沖數(shù)。CPU掃描讀取8254的數(shù)據(jù)，計算出推拉舟的當(dāng)前位置。