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雙孔懸臂梁應(yīng)變傳感器—稱重實驗

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2009-07-11 14:10:2626

電阻應(yīng)變稱重傳感器蠕變補償研究

電阻應(yīng)變稱重傳感器蠕變補償研究 分析電阻應(yīng)變傳感器蠕變特性,利用其加/卸載和蠕變輸出變化率的不同,判斷蠕變起始點,根據(jù)蠕變過程和
2009-10-16 09:58:263499

大撓度彎曲的三角形懸臂梁MEMS探針設(shè)計

微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對于各種表面探測技術(shù)都非常有用。例如,它們是近場顯微術(shù)的關(guān)鍵元素,在近場顯微術(shù)中,它們在小撓度狀態(tài)下的力學(xué)行為被很好的理解和記錄,這對于結(jié)果的解釋非常重要。
2022-11-21 10:06:56360

上海微系統(tǒng)所研究出諧振懸臂梁MEMS高端芯片

近期,該所傳感技術(shù)國家重點實驗室李昕欣團隊將諧振微懸臂梁集成于透射電鏡(TEM)原位微反應(yīng)芯片中,實現(xiàn)了原位實時的熱力學(xué)/動力學(xué)特性分析與參數(shù)測量,并與TEM窗口觀測成像功能配合,首次實現(xiàn)了電鏡
2020-11-08 10:38:342668

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