低溫共燒陶瓷基板制備工藝與高溫共燒多層陶瓷基板類似,其區(qū)別是在Al2O3粉體中混入質(zhì)量分數(shù)30%-50%的低熔點玻璃料,使燒結(jié)溫度降低至850~900℃,因此可以采用導(dǎo)電率較好的金、銀作為電極和布線材料。但另一方面,因為低溫共燒陶瓷基板陶瓷料中含有玻璃相,其綜合熱導(dǎo)率僅為2~3W/(m·℃)。此外,由于低溫共燒陶瓷基板采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)制作金屬線路,有可能因張網(wǎng)問題造成對位誤差;而且多層陶瓷疊壓燒結(jié)時還存在收縮比例差異問題,影響成品率。
這里需要注意的是,在實際生產(chǎn)中,為了提高低溫共燒陶瓷基板導(dǎo)熱性能,可在貼片區(qū)增加導(dǎo)熱孔或?qū)щ娍?,但缺點是會造成成本增加。同時為了拓展陶瓷基板的應(yīng)用領(lǐng)域,一般采用多層疊壓共燒工藝,可以制備出含腔體的多層結(jié)構(gòu)(通常稱為陶瓷管殼而非陶瓷基板),滿足電子器件氣密封裝要求,廣泛應(yīng)用于航空航天等環(huán)境惡劣及光通信等可靠性要求較高的領(lǐng)域。lw
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