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通過濕法蝕刻改善InAs工藝報告

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比較器沒遲滯誤觸發(fā)怎么通過外圍參數(shù)改善? 比較器的作用是將兩個輸入的信號進行比較,輸出一個數(shù)字化的結果,用于控制電路的變化。然而,有些時候比較器可能會產生一些不必要的誤觸發(fā),這種情況下需要通過外圍
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印制電路噴淋蝕刻精細線路流體力學模型分析

在精細印制電路制作過程中,噴淋蝕刻是影響產品質量合格率重要的工序之一。現(xiàn)有很多的文章對精細線路的蝕刻做了大量的研究,但是大多數(shù)都只停留在表象的研究中,并沒有從本質上認識噴淋蝕刻中出現(xiàn)的問題。
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2023-10-16 15:04:35553

基于Cl2/BCl3電感偶聯(lián)等離子體的氮化鎵干蝕特性

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2023-10-12 14:11:32244

關于氮化鎵的干蝕刻綜述

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干法刻蝕與濕法刻蝕各有什么利弊?

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Board, RPCB),F(xiàn)PC具有高度的柔性、輕薄、可彎曲、可卷繞等特點,適用于各種復雜的應用場景。FPC通常采用聚酰亞胺(PI)、聚酰胺(PA)、聚酯(PET)等高分子材料作為基材,通過印刷、鍍銅、蝕刻、鉆孔、覆銅、裁切等工藝制成。
2023-06-18 09:31:382037

上海伯東大口徑射頻離子源成功應用于12英寸IBE 離子束蝕刻

均勻性(1 σ)達到 離子束刻蝕屬于干法刻蝕, 其核心部件為離子源. 作為蝕刻機的核心部件,?KRi? 射頻離子源提供大尺寸, 高能量, 低濃度的寬束離子束, 接受客戶定制, 單次工藝時間更長, 滿足
2023-06-15 14:58:47665

利用氧化和“轉化-蝕刻”機制對富鍺SiGe的熱原子層蝕刻 引言

器件尺寸的不斷縮小促使半導體工業(yè)開發(fā)先進的工藝技術。近年來,原子層沉積(ALD)和原子層蝕刻(ALE)已經(jīng)成為小型化的重要加工技術。ALD是一種沉積技術,它基于連續(xù)的、自限性的表面反應。ALE是一種蝕刻技術,允許以逐層的方式從表面去除材料。ALE可以基于利用表面改性和去除步驟的等離子體或熱連續(xù)反應。
2023-06-15 11:05:05526

遠程等離子體選擇性蝕刻的新途徑

為了提供更優(yōu)良的靜電完整性,三維(3D)設計(如全圍柵(GAA)場電子晶體管(FET ))預計將在互補金屬氧化物半導體技術中被采用。3D MOS架構為蝕刻應用帶來了一系列挑戰(zhàn)。雖然平面設備更多地依賴于各向異性蝕刻,但是3D設備在不同材料之間具有高選擇性,需要更多的各向異性蝕刻能力。
2023-06-14 11:03:531779

PCB埋銅工藝來制作PCB電路板的步驟

PCB板材,將銅箔覆蓋在玻璃纖維基板上。 3. 在PCB板材上涂上光敏感涂料,然后將Gerber文件通過曝光機照射到涂層上。 4. 將曝光后的PCB板材放入顯影液中,使未曝光的光敏感涂料被溶解掉,露出銅箔。 5. 將PCB板材放入蝕刻液中,使露出的銅箔被腐蝕掉,形成電路圖形狀。 6. 清洗PCB板材
2023-06-13 19:01:161603

重點闡述濕法刻蝕

光刻工藝后,在硅片或晶圓上形成了光刻膠的圖形,下一步就是刻蝕。
2023-06-08 10:52:353320

載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻是氮化鎵器件制造的一個必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實質上改變蝕刻特性。在小型單個芯片上制造氮化鎵(GaN)設備,通常會導致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

淺談蝕刻工藝開發(fā)的三個階段

納米片工藝流程中最關鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學。優(yōu)化內部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

半導體工藝裝備現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

集成電路前道工藝及對應設備主要分八大類,包括光刻(光刻機)、刻蝕(刻蝕機)、薄膜生長(PVD-物理氣相沉積、CVD-化學氣相沉積等薄膜設備)、擴散(擴散爐)、離子注入(離子注入機)、平坦化(CMP設備)、金屬化(ECD設備)、濕法工藝濕法工藝設備)等。
2023-05-30 10:47:121131

硅在氫氧化鈉和四甲基氫氧化銨中的溫度依賴性蝕刻

過去利用堿氫氧化物水溶液研究了硅的取向依賴蝕刻,這是制造硅中微結構的一種非常有用的技術。以10M氫氧化鉀(KOH)為蝕刻劑,研究了單晶硅球和晶片的各向異性蝕刻過程,測量了沿多個矢量方向的蝕刻速率,用單晶球發(fā)現(xiàn)了最慢的蝕刻面。英思特利用這些數(shù)據(jù),提出了一種預測不同方向表面的傾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

石墨烯/硅異質結光電探測器的制備工藝與其伏安特性的關系

通過濕法轉移二維材料與半導體襯底形成異質結是一種常見的制備異質結光電探測器的方法。在濕法轉移制備異質結的過程中,不同的制備工藝細節(jié)對二維材料與半導體形成的異質結的性能有顯著影響。
2023-05-26 10:57:21508

晶格失配對InAs基室溫中波紅外探測器性能的影響

與HgCdTe器件相比,InAs基材料在室溫下其載流子遷移率和俄歇復合系數(shù)均有明顯優(yōu)勢,并且InAs基器件在勢壘層材料上有更多的選擇
2023-05-23 09:31:02509

如何在蝕刻工藝中實施控制?

蝕刻可能是濕制程階段最復雜的工藝,因為有很多因素會影響蝕刻速率。如果不保持這些因素的穩(wěn)定,蝕刻率就會變化,因而影響產品質量。如果希望利用一種自動化方法來維護蝕刻化學,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

熱環(huán)境中結晶硅的蝕刻工藝研究

微電子機械系統(tǒng)(MEMS)是將機械元件和電子電路集成在一個共同的基板上,通過使用微量制造技術來實現(xiàn)尺寸從小于一微米到幾微米的高性能器件。由于現(xiàn)有的表面加工技術,目前大多數(shù)的MEMS器件都是基于硅的。
2023-05-19 10:19:26352

PCB常見的五種蝕刻方式

一般適用于多層印制板的外層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作抗蝕刻 圖形電鍍之金屬抗蝕層如鍍覆金、鎳、錫鉛合金
2023-05-18 16:23:484917

高速硅濕式各向異性蝕刻技術在批量微加工中的應用

蝕刻是微結構制造中采用的主要工藝之一。它分為兩類:濕法蝕刻和干法蝕刻濕法蝕刻進一步細分為兩部分,即各向異性和各向同性蝕刻。硅濕法各向異性蝕刻廣泛用于制造微機電系統(tǒng)(MEMS)的硅體微加工和太陽能電池應用的表面紋理化。
2023-05-18 09:13:12700

硅晶片的酸基蝕刻:傳質和動力學效應

拋光硅晶片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經(jīng)準備好為設備制造。
2023-05-16 10:03:00584

采用光刻膠犧牲層技術改善薄膜電路制備工藝

改善之后的工藝與之前最大的區(qū)別在于使用光刻膠充當濺射的掩膜,在電鍍之前將電路圖形高精度的制備出來,不再進行濕法刻蝕,避免了側腐蝕對線條精度和膜基結合力的影響,同時,基板只浸入丙酮中一次以去除光刻膠,避免了大量溶液的使用
2023-05-16 09:40:351218

簡述晶圓減薄的幾種方法

減薄晶片有四種主要方法,(1)機械研磨,(2)化學機械平面化,(3)濕法蝕刻(4)等離子體干法化學蝕刻(ADP DCE)。四種晶片減薄技術由兩組組成:研磨和蝕刻。為了研磨晶片,將砂輪和水或化學漿液結合起來與晶片反應并使之變薄,而蝕刻則使用化學物質來使基板變薄。
2023-05-09 10:20:06979

PCB工藝設計要考慮的基本問題

  一、PCB工藝設計要考慮的基本問題   PCB的工藝設計非常重要,它關系到所設計的PCB能否高效率、低成本地制造出來。新一代的SMT裝聯(lián)工藝,由于其復雜性,要求設計者從一開始就必須考慮制造
2023-04-25 16:52:12

《炬豐科技-半導體工藝》單晶的濕法蝕刻和紅外吸收

書籍:《炬豐科技-半導體工藝》 文章:單晶的濕法蝕刻和紅外吸收 編號:JFKJ-21-206 作者:炬豐科技 摘要 采用濕法腐蝕、x射線衍射和紅外吸收等方法研究了物理氣相色譜法生長AlN單晶的缺陷
2023-04-23 11:15:00118

PCB制程中的COB工藝是什么呢?

PCB制程中的COB工藝是什么呢?
2023-04-23 10:46:59

工業(yè)泵在半導體濕法腐蝕清洗設備中的應用

【摘要】 在半導體濕法工藝中,后道清洗因使用有機藥液而與前道有著明顯區(qū)別。本文主要將以濕法清洗后道工藝幾種常用藥液及設備進行對比研究,論述不同藥液與機臺的清洗原理,清洗特點與清洗局限性?!娟P鍵詞
2023-04-20 11:45:00823

《炬豐科技-半導體工藝》金屬氧化物半導體的制造

半導體工藝 1.CMOS晶體管是在硅片上制造的 ? 2.平版印刷的過程類似于印刷機 ? 3.每一步,不同的材料被存放或蝕刻 ? 4.通過查看頂部和頂部最容易理解文章全部詳情:壹叁叁伍捌零陸肆叁叁叁簡化制造中的晶圓截面的過程 ? 逆變器截面?? 要求pMOS晶體管的機身 ? 逆變器掩模組 晶體管
2023-04-20 11:16:00247

光子晶體用硅中圓柱形納米孔的深反應離子蝕刻

反應離子蝕刻 (RIE)是一種干法蝕刻工藝,與半導體工業(yè)中使用的互補金屬氧化物半導體(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

干法蝕刻濕法蝕刻-差異和應用

干法蝕刻濕法蝕刻之間的爭論是微電子制造商在項目開始時必須解決的首要問題之一。必須考慮許多因素來決定應在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

從頭到尾的半導體技術

濕法蝕刻工藝的原理是使用化學溶液將固體材料轉化為液體化合物。選擇性非常高
2023-04-10 17:26:10453

濕式半導體工藝中的案例研究

半導體行業(yè)的許多工藝步驟都會排放有害廢氣。對于使用非?;顫姷臍怏w的化學氣相沉積或干法蝕刻,所謂的靠近源頭的廢氣使用點處理是常見的做法。相比之下,對于濕法化學工藝,使用中央濕式洗滌器處理廢氣是一種公認
2023-04-06 09:26:48408

多晶硅蝕刻工藝講解

了革命性的變化,這種布局完全不同于90nm節(jié)點。從45nm節(jié)點后,雙重圖形化技術已經(jīng)應用在柵圖形化工藝中。隨著技術節(jié)點的繼續(xù)縮小,MOSFET柵極關鍵尺寸CD繼續(xù)縮小遇到了困難,IC設計人員開始減少柵極之間的間距。
2023-04-03 09:39:402452

氮化鋁單晶的濕法化學蝕刻

清洗過程在半導體制造過程中,在技術上和經(jīng)濟上都起著重要的作用。超薄晶片表面必須實現(xiàn)無顆粒、無金屬雜質、無有機、無水分、無天然氧化物、無表面微粗糙度、無充電、無氫。硅片表面的主要容器可分為顆粒、金屬雜質和有機物三類。
2023-03-31 10:56:19314

低溫蝕刻重新出現(xiàn)_

經(jīng)過多年的研發(fā),隨著該行業(yè)在內存和邏輯方面面臨新的挑戰(zhàn),一種稱為低溫蝕刻的技術正在重新出現(xiàn),成為一種可能的生產選擇。
2023-03-29 10:14:41392

PCB加工的蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過程是一個比較復雜的物理和化學反應的過程,本文就對其最后的一步--蝕刻進行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

新技術使蝕刻半導體更容易

研究表明,半導體的物理特性會根據(jù)其結構而變化,因此半導體晶圓在組裝成芯片之前被蝕刻成可調整其電氣和光學特性以及連接性的結構。
2023-03-28 09:58:34251

使用 ClF 3 H 2遠程等離子體在氧化硅上選擇性蝕刻氮化硅

在濕蝕刻的情況下,隨著SiNx/SiOy層的厚度減小,剩余的SiOy層由于表面張力而坍塌,蝕刻溶液對孔的滲透變得更具挑戰(zhàn)性。
2023-03-27 10:17:49402

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