系統(tǒng)特性：

ZFT-78-50A是一個經(jīng)濟型的高真空探針臺，它除了有探針臺的基本功能外，還能為測試提供高真空與特殊氣體環(huán)境；它可以提供足夠多的備用接口，可作為光學(xué)，電學(xué)，氣體導(dǎo)入等實驗提供接口。國際通用的接口設(shè)計，讓系統(tǒng)的升級更加容易。該系統(tǒng)是超高真空探針臺，極限真空在1*10-4Pa以上。被測器件的最大尺寸可達到50mm(2inch)。它可以為材料或器件的電學(xué)特性測量、光電特性測量、參數(shù)測量、high Z測量、DC測量、RF測量和微波特性測量提供一個測試平臺。系統(tǒng)的探針、測試電纜、樣品架都有多種類型可供選擇，從而滿足不同應(yīng)用的需要。
系統(tǒng)適用于實驗室級別的精準(zhǔn)電學(xué)特性測量和分析。
半導(dǎo)體特性分析
系統(tǒng)支持脈沖式的半導(dǎo)體特性分析。
適用于材料、熱敏感器件和先進存儲芯片等技術(shù)研究。
與電測產(chǎn)品集成精確、可重復(fù)的脈沖和DC測量于一體的解決方案。
國際通用的真空接口設(shè)計，使未來的擴展與升級更加容易。
變溫范圍從-196℃~400℃
極限真空在1*10-4Pa以上
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體器件：片上參數(shù)測試、晶圓級可靠性、封裝器件的特性分析、C-V、I-V特性分析、易受自加熱效應(yīng)影響的器件和材料的等溫測試 ；
光電器件：半導(dǎo)體激光二極管特性分析 、?收發(fā)模塊DC/CW特性分析?PIN和APD特性分析 ；
科研應(yīng)用：碳納米管特性分析，材料研究，電化學(xué)；
ZFT真空探針臺涵蓋所有標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用：包括C-V、C-t、及C-f量測與分析，支援高與低K介電系數(shù)結(jié)構(gòu)、MOSFET、BJT、二極體、快閃記憶體、光伏特元件、III-V族復(fù)合元件、以及奈米碳管(CNT)元件分析等。
一、基本配置：

?四個針座、真空腔、樣品臺、分子泵機組、顯微鏡、控溫儀、液氮杜瓦、電磁鐵、特斯拉計、電纜管線、和探針等必要附件。
二、主要性能和技術(shù)參數(shù)：
1、針座
★1.1 針座數(shù)量：4個；
★1.2系統(tǒng)漏電：＜300fA；
?1.3 探針臺外部接頭到探針使用三同軸連接;
?1.4調(diào)節(jié)范圍：X ZY方向25mm；
?1.5探針具有50歐姆傳輸電阻設(shè)計，為射頻測試提供良好的阻抗匹配；
?1.6前后端均為國際通用的CF35標(biāo)準(zhǔn)法蘭，信號線的任意更換。
2、樣品臺
★2.1 工作溫度：-196℃ ~ 400℃連續(xù)可調(diào)；
▲2.2 尺寸：50*50 mm；
?2.3 控溫穩(wěn)定性：優(yōu)于0.5℃