中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1 3d光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。
3d光學(xué)輪廓儀工作原理
光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌。
3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀，但橫向測(cè)試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中，3D AOI（自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)）是對(duì)傳統(tǒng)精密加工上的升級(jí)，彌補(bǔ)了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改進(jìn)設(shè)備性能以滿足各大電子廠對(duì)質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。3d光學(xué)輪廓儀工作原理是基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的，能以非接觸的方式，無損檢測(cè)精密機(jī)械加工表面，檢測(cè)結(jié)果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示，能直觀地展示了表面紋理特征。
如表面粗糙度的測(cè)量。表面粗糙度跟形狀誤差、波紋度等參數(shù)一樣，是表面微觀幾何特征，它們共同構(gòu)成了物體的表面原始形貌特征。表面二維形貌特征的分析與評(píng)定通常是對(duì)粗糙度參數(shù)進(jìn)行的評(píng)定，通常把小于lmm波距的形貌特征歸結(jié)為表面粗糙度，而波距在1 ~10mm之間的定義為表面波紋度，大于10mm的則屬于目測(cè)可知的宏觀幾何形狀特征。
SuperView W1 3d光學(xué)輪廓儀測(cè)量表面粗糙度步驟很簡單。
1、將樣品放置在載物臺(tái)鏡頭下方；
2、檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài)；
3、使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸，找到樣品表面干涉條紋；
4、完成掃描設(shè)置和命名等操作，點(diǎn)擊開始測(cè)量；
5、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理模塊，點(diǎn)擊校平，平面樣品采用默認(rèn)校平，點(diǎn)擊右下角應(yīng)用保存操作；
6、進(jìn)入分析工具模塊，點(diǎn)擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)、增刪參數(shù)類型；
7、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線；
8、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊提取剖面圖標(biāo)，選擇斜線，沿垂直于紋理方向提取剖面線；
9、進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊參數(shù)分析圖標(biāo)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
在生產(chǎn)中，微觀上的表面形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)價(jià)具有直接的影響，為了能更全面、更真實(shí)地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量，表面三維微觀形貌的測(cè)量就越來越重要。而在3D測(cè)量領(lǐng)域，3d光學(xué)輪廓儀是精度最高的測(cè)量儀器之一，測(cè)量精度可以達(dá)到納米級(jí)。
