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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè)，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

2.8k 內(nèi)容數(shù) 99w+ 瀏覽量 64 粉絲

高端激光干涉測量儀檢測光刻機

型號： SJ6000
品牌： 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 注釋 更多詳細產(chǎn)品信息，請聯(lián)系我們獲取

--- 產(chǎn)品詳情 ---

中圖儀器SJ6000高端激光干涉測量儀可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析。儀器以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

 

國產(chǎn)激光干涉儀品牌,機床激光干涉儀.jpg
SJ6000高端激光干涉測量儀

產(chǎn)品功能

1.可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

2.可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3.可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量；

4.可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；

5.可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

6.具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

7.支持手動或自動進行環(huán)境補償。

 

國產(chǎn)激光干涉儀品牌,機床激光干涉儀.jpg

檢定測長機

 

國產(chǎn)激光干涉儀品牌,機床激光干涉儀.jpg

對機床精度再校準
 

SJ6000高端激光干涉測量儀測量機床直角如機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床、坐標測量機等），是通過比較直線度值從而確定兩個標稱正交坐標軸的非直角度，即在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準直，而不動直線度反射鏡。

 

量程精度（部分）

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m

 

SJ6000高端激光干涉測量儀檢測光刻機

 

 

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