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本文對(duì)電熱激勵(lì)硅微諧振式傳感器的數(shù)字閉環(huán)控制系統(tǒng)中的相關(guān)檢測(cè)運(yùn)算模塊進(jìn)行設(shè)計(jì)，從理論上分析利用互相關(guān)運(yùn)算原理實(shí)現(xiàn)相關(guān)檢測(cè)的可能性，使用Verilog語(yǔ)言編寫代碼，并經(jīng)過(guò)QuartusⅡ軟件仿真和FPGA開(kāi)發(fā)板的硬件調(diào)試驗(yàn)證。結(jié)果表明：該模塊能夠?qū)崿F(xiàn)相關(guān)檢測(cè)功能，達(dá)到設(shè)計(jì)的要求和性能指標(biāo)。
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