步距角精度是步進(jìn)電動(dòng)機(jī) 的一項(xiàng)重要指標(biāo)。 步進(jìn)電動(dòng)機(jī)研究、 制造和應(yīng)用部門一直關(guān)注使用方便而又有足夠精度的步距精度測試儀器。 原則上 ， 任何一種精密測角儀器都可用來測試步進(jìn) 電動(dòng)機(jī)的步距角及精度 ， 但實(shí)際 ` 應(yīng)用很不方便 ， 也不經(jīng)濟(jì)。 我國正式的步距精度測試儀最早是北京精密機(jī)床研究所研制 ， 70 年代在北京微電機(jī)廠應(yīng)用。 所用的傳感器是有 1 0 8 0 道刻線的光柵盤 ， 線 間距 為 ’2 ， 4 細(xì)分后其測角分辨率為 0 。 5 ` （ 30 ’，） 。 由于光柵盤尺寸較大 ， 該系統(tǒng) 不適用 于 小型 的步進(jìn) 電動(dòng)機(jī)。 由于分辨率不高 ， 也難滿足高分辨率步進(jìn) 電動(dòng)機(jī)精度測試的要求 ， 例如新 的九相 混合 式 步 進(jìn) 電動(dòng) 機(jī) 的 步 距 角 可 以 小到 只 有夕淤 i言童示妻說莉氟戮踢翰豁甲黔臀細(xì)代 ， 西安微 電機(jī)研制所制造和 使用的 步距精度測試儀基本上和上述系統(tǒng)相 同。 還采用過以 多極旋變作 為傳感器 的步距精度測試系統(tǒng)卿。 該系統(tǒng)的分辨率可 以較高 ， 但既使是高精度的多極旋變 ， 運(yùn)行狀態(tài)的實(shí)際精度也難以高出 3’0 。本文介紹的步距精度測試系統(tǒng) （其原理框 圖見圖 1） 的特點(diǎn)在于 ， 它不是采用角位移傳感器 ， 而是采用角速度傳感器 ， 角速度采樣積分后獲得角位移值。 角位移傳感器的分辨率和精度是 固定的 ， 很可能對步距 角較大的電動(dòng)機(jī) 已足夠 了 ， 而對于步距角相 當(dāng)小的電動(dòng)機(jī)就顯得不夠。 采用角速度傳感器時(shí) ， 它的分辨率和 訊號處理環(huán)節(jié)的放大倍數(shù)有關(guān) ， 可以調(diào)節(jié)。 因此既使步距角很小 ， 也同樣可以勝任